Технические характеристики поста
Быстрота действия по азоту: 290 л/с.
Предельное остаточное давление: 1x10-8 мбар (мм рт.ст.).
Быстрота действия спирального насоса: 15,5 м3/ч.
Предельное давление спирального насоса: 0.01 мбар.
Время выхода на режим: 5.5 мин.
Питание эл/двиг. от сети переменного тока с частотой 50/60 Гц, напряжением, от 110 до 230 В.
Потребляемая мощность: 950 Вт.
Тип высоковакуумного фланца: DN100 ISO-K.
Масса: 50 кг.
Система состоит из:
- Гибридный турбомолекулярный насос TURBOVAC 350i.
- Спиральный насос ESVP-300.
- Система воздушного охлаждения.
- Стойка на колесиках.
- Широкодиапазонный вакуумный датчик MTM9D.
- Cистема управления насосами, включающая контроллер и преобразователь частоты турбомолекулярного насоса.
