Наше предприятие и производимое оборудование сертифицированы по ISO 9001.
     Гарантия: от 1 года. Доставка: по РФ и СНГ. Цены: ниже конкурентов в среднем на 18%

Лабораторные центрифуги для нанесения фоторезиста

 
Компания ЭРСТВАК специализируется в разработке и заводском выпуске различных систем фотолитографии, используемых в производстве полупроводников и плоскопанельных дисплеев (FPD).
 
Компания предлагает на мировом рынке установки и системы совмещения и экспонирования, а также для современных технологий типа «флип-чип» - настольные центрифуги для нанесения фоторезиста, широкий ряд полупроводниковых приборов, оптоэлектронику, СВЧ приборы, дифракционную оптику и многое другое.
 

Центрифуги моделей Spin 150i/200i и Polos 200 Advanced

 
Эти современные приборы предназначены для поштучной обработки подложек диаметром от 5 до 260 мм и квадратных образцов размерами 10x100 - 150x150 мм. Корпус центрифуг выполнен из полипропилена, что позволяет использовать все виды промышленных реактивов.
 
На складе имеются как настольные варианты корпуса, так и встраиваемый вариант - для установки центрифуги непосредственно в столешницу вытяжного шкафа.
 
Кроме нанесения фоторезиста на этих приборах можно проводить проявление, сушку, отмывку и очистку подложек. Возможен вариант оснастки различными дополнительными форсунками и системой мегазвуковой очистки.
 
Управление центрифугой производится при помощи современного сенсорного дисплея, а программное обеспечение допускает осуществлять работу по специальным рецептам. Предусмотрено и сохранение данных на USB-носитель.
 

Таблица технических характеристик моделей Spin 150i/200i и Polos 200 Advanced

 

Параметр

Spin 150i

Spin 200i

Polos 200 Advanced

Диаметр подложки, мм

160

260

260

Скорость вращения, об/мин

1–12 000 ±1

Тип корпуса

Настольный или встраиваемый

Материал корпуса

Полипропилен или политетрафторэтилен

Тип подачи реактива

Ручной или автоматический

Кол-во хим. линий

1-2

1-2

1-6

Мегазвуковая обработка

-

-

+

Отмывка обратной стороны

-

-

+

Удаление краевого валика фоторезиста

-

-

+

Габариты (Ш×В×Г), мм

274×250×451

380×307×559

380×307×559

 
Заказчик может выбрать целый ряд дополнительных опций, в зависимости от понравившейся ему модели:
 
  1. Комплект ручных дозаторов.
  2. Автоматическую систему подачи с ёмкостями для соответствующих реактивов.
  3. Полуавтоматический дозатор.
  4. Вакуумный насос.
  5. Специальные держатели для работы с малых размеров образцами.
  6. Центрирующий инструмент.
  7. Форсунка для отмывки обратной стороны вкладышей.
  8. Форсунка для удаления краевого валика.
  9. Система мегазвуковой очистки.
 

Лабораторные центрифуги

 
Настольные центрифуги различных моделей разработаны специально для эксплуатации их в лабораториях, они спроектированы для нанесения различных жидких материалов на плоские подложки. Толщина слоя колеблется до 100мкм в зависимости от вязкости материала, скорости вращения центрифуги и времени воздействия на объект нанесения.
 
Лабораторные настольные центрифуги (сокращённо ЛНЦ) моделей SPIN-1200T и SPIN-3000D предназначены для нанесения фоторезиста с ручным управлением и оборудованы цветным сенсорным экраном. Пластины используются до 4 - SPIN-1200T и до 6 дюймов - SPIN-3000D.
 
ЛНЦ модель SPIN-3000A предназначена для нанесения фоторезиста с ручным управлением на пластины размером до 8 дюймов.
 
Усовершенствованная модель SPIN-3000T с автоматическим дозирующим устройством предназначена для выполнения аналогичных процессов, что и предыдущая ЛНЦ. У неё есть одно сопло для дозирования фоторезиста, насос для его подачи и канистру, вакуумный насос для прижима.
 
Модель SPIN-3000TD имеет уже 3 автоматические дозирующие устройства: сопло для дозировки проявителя, сопло для подачи деионизованной (D.I.) воды и сопло для подачи азота (N2). Имеется насос для подачи реагентов и канистру для проявителя, используются пластины размером до 8 дюймов.
 
Все вышеперечисленные модели имеют аналогичные особенности - могут функционировать для нанесения довольно различных материалов: фоторезист, полиимиды, металлическая органика, легирующие примеси, а также большинство органических веществ и жидкостей, применяемых в производстве.
 

Таблица технических характеристик

 

Центрифуги

Модель

SPIN-1200T

SPIN-3000D

SPIN-3000A

SPIN-3000T

SPIN-3000TD

Размер подложки

до 4 дюймов

до 6 дюймов

до 8 дюймов

до 8 дюймов

Скорость вращения

300 - 10000

300 - 8000

 об/мин ± 1%

100 - 8000 об/мин ±0,1%

300 - 8000 об/мин ±1%

Управление

Цветной touch screen дисплей

20 рецептов х 50 шагов (цифровое программирование)

10 рецептов х 50 шагов (цифровое программирование)

20 рецептов х 20 шагов (цифровое программирование)

Размер барабана

8 дюймов

10 дюймов

(ацеталь)

12 дюймов (нержавеющая сталь)

12 дюймов (нержавеющая сталь)

Мотор / Корпус

DC сервомотор / Нержавеющая сталь

AC сервомотор / Нержавеющая сталь

DC сервомотор / Нержавеющая сталь

Вакуумный прижим

Анодированный алюминий

Анодированный алюминий

Анодированный алюминий

Электропитание

220 В, 5 А

220 В, 5 А

220 В, 5 А

Ускорение и скорость вращения

Различная (задается)

Различная (задается)

Различная (задается)

Размеры

230 х 340 х 260 мм

390 х 570 х 400 мм

390 x 630x 445 мм

 

SEMI AUTO SPIN-5000А

 
Это модель полуавтоматической напольной установки для нанесения фоторезиста и проявления пластин размером: диаметр до 15 дюймов или квадратные до 500x500 мм.
 
 

Технические характеристики модели

 
Размер подложки: до 15 дюймов или 500Х500 мм.
Скорость вращения: до 4000 об/мин, в зависимости от конфигурации, габаритов и веса образцов.
Управление: цифровое программирование (20 рецептов x 20 шагов).
Мотор / Корпус: AC сервомотор / нержавеющая сталь.
Вакуумный прижим: анодированный алюминий (точная полировка).
Электропитание: 220 В, 20 А.
 
При необходимости заказчик может приобрести дополнительные опции, в зависимости от выбранной им модели:
 
  1. Роботизированная рука с тремя соплами.
  2. Система автоматической подачи фоторезиста и проявителей.
  3. Подвижной модуль нанесения.
  4. Химический кабинет.
  5. Вакуумный насос для подачи реагентов.

 


Почему с нами интересно и выгодно работать

Гарантия качества

Гарантия качества

Мы занимаемся продажей оборудования только от проверенных производителей. Гарантия качества предоставляется непосредственно нашей фирмой.

Честные цены

Честные цены

Низкие цены на поставляемое оборудование обусловлены крупными партиями поставок и налаженными эксклюзивными отношениями с постоянными поставщиками.

Доставка по всей России

Доставка по всей России

Налаженное партнерство с лидерами рынка транспортных услуг: Автотрейдинг, Желдорэкспедиция, Байкал-Сервис, Деловые линии.

Качество консультаций и подбор оборудования

Качество консультаций и подбор оборудования

У нас работают высококвалифицированные специалисты с профильным образованием, это позволяет получить компетентные и качественные консультации.

Гибкая складская программа

Гибкая складская программа

При необходимости мы можем корректировать ее непосредственно под Ваши задачи. Возможность быстрого выкупа оборудования со склада в Москве.

Пунктуальность

Пунктуальность

Слаженная работа логистического отдела и отлаженные системы поставок, позволяют нам всегда поставлять оборудование в запланированный срок.