Наше предприятие и производимое оборудование сертифицированы по ISO 9001.
     Гарантия: от 1 года. Доставка: по РФ и СНГ. Цены: ниже конкурентов в среднем на 18%

Установки плазменной обработки

Установки серии Фемто используются в лабораториях и на опытных производствах и предназначаются для плазмохимической обработки образцов средних и малых размеров.
 
Чтобы заказать установку плазменной обработки, свяжитесь с инженерами компании по телефону или Email: info@erstvak.com
 
 
В малогаборитных установках этой серии можно проводить все основные виды плазменной обрадотки при довольно минимальных затратах, что и привлекает их использование бюджетными лабораториями. Различные вариации материалов камер и типов генераторов позволяют получать конфигурацию, идеально подходящую под конкретоне применение.
 
 
В отличие от серий Zepto и Atto установки Femto оснащены камерой из нержавеющей стали или алюминия (в зависимости от модели), дверцей на петлях, электродом для ионно-реактивного травления, барабаном для обработки сыпучих материалов и микроволновым генератором плазмы с частотой 2,45 ГГц.
 
Основным преимуществом установок этой серии является большое количество вариантов конфигурации при относительно низкой стоимости и довольно малых размеров.
 
Типичные объекты применения:
 
  1. Керамика размером 60х48 мм с очищением перед напылением, микросваркой; удаление остатков ФР.
  2. Полупроводниковые пластины до 3 дюймов, с аналогичными действиями.
  3. R&D и исследования.

 

 

Таблица технических характеристик установок

 

Камера

- круглая камера из нержавеющей стали с крышкой Ø100 мм, глубина 300 мм;

- прямоугольная камера из нержавеющей стали с дверцей 103×103 (В)×285 мм;

- круглая камера из алюминия с крышкой или дверцей Ø95 мм, глубина 280 или 600 мм;

- круглая камера из кварца с крышкой или дверцей Ø95 мм, глубина 280 или 600 мм;

- круглая камера из боросиликатного стекла с крышкой или дверцей Ø95 мм, глубина 280 или 600 мм.

Объем камеры

1,9-6 л

Газовая система

игольчатые клапаны с ротаметрами или цифровые РРГ

Генератор плазмы

- 40/80/100 кГц: 100, 200, 500 и 1000 Вт;

- 13,56 МГц: 50, 100 и 300 Вт;

- 2,45 ГГц: 100 и 300 Вт.

Электрод

- одно- или многоуровневый электрод;

- РИТ-электрод.

Управление

- ручное;

- автоматическое (сенсорный дисплей);

- автоматическое (ПК).

Датчик давления

- пирани;

- баратрон (для работы с коррозионными газами и РИТ-травления).

Загрузка образцов

- поддон из алюминия;

- поддон из нержавеющей стали;

- поддон из боросиликатного стекла;

- поддон из кварца;

- водоохлаждаемый поддон;

- лодочка из кварца для групповой обработки пластин;

- барабан для порошков;

- барабан для объемных образцов;

Вакуумный насос

различные варианты под требования заказчика

Габариты (Ш×В×Г)

345×220×420 мм

 

 


Почему с нами интересно и выгодно работать

Гарантия качества

Гарантия качества

Мы занимаемся продажей оборудования только от проверенных производителей. Гарантия качества предоставляется непосредственно нашей фирмой.

Честные цены

Честные цены

Низкие цены на поставляемое оборудование обусловлены крупными партиями поставок и налаженными эксклюзивными отношениями с постоянными поставщиками.

Доставка по всей России

Доставка по всей России

Налаженное партнерство с лидерами рынка транспортных услуг: Автотрейдинг, Желдорэкспедиция, Байкал-Сервис, Деловые линии.

Качество консультаций и подбор оборудования

Качество консультаций и подбор оборудования

У нас работают высококвалифицированные специалисты с профильным образованием, это позволяет получить компетентные и качественные консультации.

Гибкая складская программа

Гибкая складская программа

При необходимости мы можем корректировать ее непосредственно под Ваши задачи. Возможность быстрого выкупа оборудования со склада в Москве.

Пунктуальность

Пунктуальность

Слаженная работа логистического отдела и отлаженные системы поставок, позволяют нам всегда поставлять оборудование в запланированный срок.