Наше предприятие и производимое оборудование сертифицированы по ISO 9001.
     Гарантия: от 1 года. Доставка: по РФ и СНГ. Цены: ниже конкурентов в среднем на 18%

Стоимость установки: 379 600 USD включая НДС 18%

Срок поставки 120-160 дней.

 

Напылительная установка DaON-1000TE

Напылительные установки DaON спроектированы специально для различных процессов нанесения тонких пленок, имеют сертификат CE. В стандартной комплектации имеют электронно-лучевой источник с 4-мя тиглями и термический источник с 2-мя лодочками. Конструкция комплектация может гибко меняться в зависимости от конкретной задачи и потребностей заказчика. Отличительными особенностями таких установок являются модульная конструкция, свободный доступ к камере и основным узлам. 
 

Основные преимущества:

  1. Доступно напыление практически всех применяемых металлов.
  2. Высокая скорость напыления при отсутствии загрязнения.
  3. Высокоточный контроль, превосходная экономическая эффективность и высокий КПД.
  4. Напыление металлов высокой чистоты, сплавов и других различным материалов.
  5. Нанесение материалов с низким давлением насыщенных паров.
  6. Легкость в управлении и мультизадачность.

 

Состав установки:

  1. Рабочая камера.
  2. Подложкодержатель.
  3. Источники питания и распыления.
  4. Вакуумный модуль.
  5. Измерительный модуль.
  6. Модуль управления.

 

Основная информация

 

Производительность установки:

  1. Подложки размером 2 дюйма 50 мм – 148 штук загрузка.
  2. Подложки размером 3 дюйма 75 мм – 60 штук загрузка.
  3. Подложки размером 4 дюйма 100 мм – 40 штук загрузка.
  4. Подложки размером 8 дюйма 200 мм – 8 штук загрузка.

 

Рабочее давление:

Рабочее давление в процессе – 1х10-6 Торр.

Напыление

  1. Электронно-лучевой испаритель: объем до 25 см3/ 4 источника.
  2. Мощность ионного источника: 10 кВт.
  3. Тепловой источник: резистивный нагреватель/ 2 шт.
  4. Мощность теплового источника: 2 кВт (5 В, 400 А).

 

Равномерность

  1. По температуре: <± 3°С.
  2. По толщине покрытия <± 3% (На 4’’ подложке).

 

Размеры

  1. Габаритные размеры установки (ориентировочно) Ш х Г х В, мм: 1 300 х 800 х 1 800.
  2. Эффективная площадь (зона обслуживания), Ш х Г х В, мм: 2 300 х 1 800 х 2 500.

 

Характеристики системы

 

Блок рабочей камеры

 

Форма: Колпаковая;

Размеры (приблизительно), Ǿ х В, мм: 500 х 600;

Материал: Нержавеющая сталь SUS304;

Экран: нержавеющая сталь;
Подложкодержатель установлен на колпаке;

Источники распыления установлены на дне.

Фланцы:

  1. Колпак – ISO250.
  2. Откачка – ISO200 или ISO250.
  3. Смотровое окно – ISO80.
  4. Низковакуумный датчик – NW25.
  5. Высоковакуумный датчик – NW25.
  6. Вентиляция – NW25.
  7. Дополнительно – CF2,75’’.

 

Примечание:

  1. Уплотнение колпака позволяет работать с заявленным давлением, сохраняя свои свойства – чистую сухую откачку.
  2. Стенки камеры имеют водяное охлаждение.
  3. Конфигурация фланцев камеры могут быть изменены в зависимости от требований заказчика.
  4. Камера немагнитна, поверхность электрополирована.

 

Внешний вид рабочей камеры (изображение может отличаться от оригинала):

 

Подложкодержатель

 

Плоский с регулируемым приводом вращения 0-40 об/мин диаметром до 460 мм. Оснастка для крепления подложек уточняется при заказе. Размер подложек: 50, 75, 100, 150, 200 мм или 60×48мм, образцы произвольной формы, доступны конфигурации под заказ.

 

Нагрев:

  1. Максимальная температура – 650 °С.
  2. Максимальная рабочая температура – 500 °С.
  3. Точность поддержания температуры - <± 3°С.
  4. Галогеновая лампа нагревателя – 110 В, 1 кВт.
  5. ПИД-тепловой контроль с помощью термопар.

 

Вращение: изменяемая скорость вращения до 20 об/мин

Примечание: материал столика – нержавеющая сталь SS304;

Температура контролируется термопарами и SCR-контроллером, питающим лампы нагрева. Но реально максимальная температура зависит от степени черноты образца, расстояния между лампой и образцом, облучаемой поверхности и многих других геометрических факторов, включая угол, под которым лучи падают на поверхность. Температура прямо зависит от теплопроводности образца, облучаемой поверхности и скорости вращения образца.

 

Внешний вид (изображение может отличаться от оригинала):

 

Характеристики источников напыления

 

Термический испаритель:

  1. Нагреватель резистивного типа, до 3-х лодочек.
  2. Двузонный ламповый нагрев до 350°С.
  3. Точность поддержания температуры – 2 °С.
  4. Материал лодочки – вольфрам (опционально доступны другие материалы).
  5. Размер лодочки Ш х Д, мм – 10 х 100 х 2 шт.
  6. Мощность – 2 кВт, 5 В, 400 А.
  7. Пневматическая заслонка.

 

Электронно-лучевой испаритель:

  1. Тигель – объем до 25 см3, до 8 тиглей (объем и количество тиглей уточняется на стадии заказа).
  2. Максимальная мощность – 10 кВт.
  3. Отклонение луча – 180 °.
  4. Размер пятна луча: диаметр 7 мм, тонкий луч.
  5. Пневматическая заслонка, механизм поворота управляются контроллером.
  6. Материал тигля – бескислородная медь.
  7. Система очистки тлеющим разрядом подложек перед нанесением покрытия.

 

Внешний вид (изображение может отличаться от оригинала):

 

Вакуумный модуль

 

Турбомолекулярный вакуумный насос:

  1. Быстрота действия (по азоту) – более 1600 л/с.
  2. Всасывающий патрубок – ISO200 или ISO250.

Опционально доступна безмасляная система откачки на базе криогенного и спирального насосов.

 

Форвакуумный насос:

  1. Быстрота действия – более 600 л/с.
  2. Всасывающий патрубок – NW25.

 

Основной отсечной клапан: пневматический высоковакуумный шиберный затвор ISO200 или ISO250.

Отсечной клапан форвакуумной линии: пневматический угловой клапан NW25.

Линия продувки: угловой клапан, гибкие металлические сильфоны, клапан продувки.

Выхлоп: гибкие сильфоны.

 

Внешний вид (изображение может отличаться от оригинала):

 

Блок измерения

 

Низкий вакуум: диапазон измерений – 7,5х10-4 – 750 Торр (датчики Пирани на форвакуумной линии и на камере);

Высокий вакуум: диапазон измерений – 10-2 – 10-9 Торр (Датчик с холодным катодом);

Толщина:

Кварцевый датчик INFICON.

  1. Разрешающая способность – 0,01 А(Al).
  2. Диапазон измерений – до 500 кА(Al).
  3. Интерфэйс RS-232.

 

Система управления

Система построена на базе промышленного компьютера Siemens. Возможно управление как в автоматическом, так и ручном режиме, также предусмотрена система внутренних блокировок.

 

Функции:

  1. Автоматическое проведение процесса с набором заданных параметров.
  2. Автоматическая откачка камеры.
  3. Автоматическая вентиляция.
  4. Запись параметров в память.
  5. Изменение параметров.
  6. Кнопка аварийной остановки.
  7. Внутренний блокировки для безопасности.
  8. Контроль подложки – вращение и нагрев.
  9. Контроль термического и ионного источника.
  10. Вывод на экран меню установок, процесса и настроек.

 

Блок индикации: 10’’ тачскрин, электропанель, все контроллеры интегрированы в систему.

 

Технологическая схема КИПиА

 

 

Требования к инженерным сетям

 

Электропитание

380 В, 50А, 50 Гц, 3 фазы, заземление.

 

Выхлоп

  1. Выхлоп форвакуумного насоса: давление ~ атм.
  2. Поток> 300 ст. л/мин.
  3. Подключение трубка диаметром 25 мм.

 

Сжатый воздух

  1. Род газа: сжатый воздух или азот.
  2. Чистота: <50 um.
  3. Давление: 4 - 5 бар.
  4. Полная подача: 200 л/мин.

Примечание: установлен регулятор давления, пневматический выключатель, коллектор и электромагнитный клапан.

 

Вода

Водораспределительная система предназначена для охлаждения основных элементов системы: кварцевых датчиков, электронно-лучевой пушки, магнетронов, экранов камеры, дверцы и подложкодержателя.

  1. Чистота: <50 um.
  2. Давление: 3 – 4 бар.
  3. Полное потребление: 20 л/мин (при температуре 20°С).

Примечание: установлен обратный клапан, в системе снабжения установлены перекрывающие клапаны на каждой ветке, установлен регулятор потока воды, распределитель потока.

 

Температура и влажность

  1. Влажность: 40 ~ 70 %.
  2. Температура: 18 ~ 30 °С.

 

Дополнительные опции: перемещение подложкодержателя, регулируемый угол наклона магнетронов, система автономного водоснабжения и множество других вариантов комплектации установки по желанию.

 


 

Стоимость установки: 379 600 USD включая НДС 18%

Срок поставки 120-160 дней.

 


Почему с нами интересно и выгодно работать

Гарантия качества

Гарантия качества

Мы занимаемся продажей оборудования только от проверенных производителей. Гарантия качества предоставляется непосредственно нашей фирмой.

Честные цены

Честные цены

Низкие цены на поставляемое оборудование обусловлены крупными партиями поставок и налаженными эксклюзивными отношениями с постоянными поставщиками.

Доставка по всей России

Доставка по всей России

Налаженное партнерство с лидерами рынка транспортных услуг: Автотрейдинг, Желдорэкспедиция, Байкал-Сервис, Деловые линии.

Качество консультаций и подбор оборудования

Качество консультаций и подбор оборудования

У нас работают высококвалифицированные специалисты с профильным образованием, это позволяет получить компетентные и качественные консультации.

Гибкая складская программа

Гибкая складская программа

При необходимости мы можем корректировать ее непосредственно под Ваши задачи. Возможность быстрого выкупа оборудования со склада в Москве.

Пунктуальность

Пунктуальность

Слаженная работа логистического отдела и отлаженные системы поставок, позволяют нам всегда поставлять оборудование в запланированный срок.