Наше предприятие и производимое оборудование сертифицированы по ISO 9001.
     Гарантия: от 1 года. Доставка: по РФ и СНГ. Цены: ниже конкурентов в среднем на 18%

Стоимость установки: 286 800 USD включая НДС 18%

 

Установка магнетронного напыления FXPVD-6560

Электронно-дуговое испарение или Arc-PVD (катодно-дуговое осаждение) - это напыление методом физического осаждения из газовой фазы испарением материала в электрической дуге. Испаренный материал осаждается на подложке, формируя тонкопленочное покрытие. Данная технология используется для нанесения металлических, керамических и композитных покрытий.

Электронно-дуговое испарение используется для нанесения упрочняющего покрытия для защиты поверхности режущих инструментов и значительного увеличения износостойкости. Данная технология позволяет наносить широкий спектр сверхтвёрдых и нанокомпозитных покрытий, включая TiN, TiAlN, CrN, ZrN, AlCrTiN, TiAlSiN.

 

Общие характеристики

1)    Вакуумная система:

  1. Управление вакуумной системой: ручное и автомат по выбору оператора.
  2. Предельный вакуум: 5х10-4 Па.
  3. Время откачки от атмосферного давления до 9.9×10-3Пa: ≤10 мин.

Примечание: т.к. присутствует газовыделение со стенок камеры и с подложки, то работа насосов продолжается и во время рабочего цикла

2)    Время нанесения:

Время нанесения: ~15-30 мин после откачки, охлаждения и очистки, в данное время не включены время загрузки и выгрузки подложек

Примечание: время напыления зависит от подложек, процесса напыления, материала напыления.

3)    Метод нанесения: ионно-дуговое напыление

4)    Метод управления: программируемый логический контроллер (ПЛК) с сенсорным экраном управления

5)    Вес: 3000 кг (без учета охлаждающей воды и устройств интерфейса)

Эксплуатационные характеристики

Потребляемая мощность ~ 50 кВА

Напряжение 380 В, 3ф, 50 Гц (4 провода для питания +1 провод заземления)

Габариты готовой установки

Описание составных частей установки FXPVD - 6560

Наименование

1

Высоковакуумный турбомолекулярный насос 1600 Turbo Pump:

Производитель: KYKY

Производительность: 1600 л/с

Скорость вращения ротора: 21000 об/мин

Кол-во: 1 шт

Примечание: двойные керамические подшипники; стабильная работа; хорошее ударное сопротивление

 

2

Форвакуумный насос ORV40 Monoblock Pump:

Производитель: KYKY

Производительность: 40 м3/час

Мощность: 1,5 кВт

Кол-во: 1 шт

Примечание: низкие шум и вибрация; высокая надежность; простое в обслуживании

 

3

Поддерживающий насос ORV30 Monoblock Pump:

Производитель: KYKY

Производительность: 30 м3/час

Мощность: 1,5 кВт

Кол-во: 1 шт

Примечание: низкие шум и вибрация; высокая надежность; простое в обслуживании

 

4

Насос Рутса RTO-70 Roots pump

Производитель: KYKY

Производительность: 70 л/с

Мощность: 1,1 кВт

Кол-во: 1 шт

5

Вакуумная камера

Изготавливается под заказ

Габариты: диаметр 650мм, высота 600 мм

Материал: AISI 304 нержавеющая сталь

Фронтальная дверь: 1 шт

Вращающаяся ось(вращающийся вал) карусели: 1 шт

Система нагрева: 1 компл.

Смотровое окно:1 шт

Катодная мишень :4 шт

Карусель для загрузки изделий: 2 шт

Материал карусели для загрузки изделий: AISI 304 нержавеющая сталь

 

 

6

Система вращения карусели

Изготавливается под заказ

Карусель для загрузки изделий свободно вращается вокруг своей оси, как  по часовой так и против часовой стрелки.

Электродвигатель переменного тока управляется инвертором (постепенное ускорение, скорость 0..12 об/мин, вращение по часовой и против часовой стрелки)

*технологическая оснастка согласовывается с заказчиком при заказе

 

7

Система нагрева

 

Максимальная температура нагрева 400

ПИД–контроллер температуры

 

8

Вакуумные клапаны

Материал: AISI 304 нержавеющая сталь

 

9

Комплект вакуумной арматуры

Клапана, прочие переходники, конструктивные элементы

Материал: AISI 304 нержавеющая сталь

 

10

Регулятор расхода газа (РРГ)

Производитель: Seven Star

 

Кол-во: 4 шт

Четырех-канальный РРГ  на поток 600 (размерность  л/ч)-3 шт

РРГ на поток 100 л/ч-1 шт

 

11

Вакуумный блок управления и индикации:

 

Изготавливается под заказ

Кол-во:1 шт

Цифровой блок управления и индикации вакуумной системой

 

12

Блок управления и индикации РРГ:

 

Изготавливается под заказ

Кол-во:1 шт

Цифровой блок управления и индикации РРГ

 

13

Магнетронный источник (катодная мишень):

Изготовитель: Foxin

Кол-во: 4 шт

Охлаждаемый корпус

 

14

Мишень:

Кол-во: 4 шт

Материал: Ti

Габариты: диаметр 100мм, высота 40 мм

 

15

Блок питания магнетрона:

Изготовитель: Yexu

Кол-во: 4 шт

Ток: 200 А

 

16

Блок питания смещения напряжения:

Изготовитель: Yexu

Кол-во: 1 шт

Мощность: 30 кВт

 

 

 

 

17

Система автоматизированного управления вакуумной установкой:

Изготовитель: Mitsubishi

Изготовитель сенсорного экрана: Kunlun Tongtai

Изготовитель остальных электрических узлов: Siemens

18

Вакуумметры:

 

19

Сборка, поставка, пуско-наладка и шеф-монтаж установки.

Исполнитель: ERSTEVAK Ltd.

 

Услуги, включенные в стоимость:

Ввод в эксплуатацию

Обучение персонала

Гарантия 12 месяцев с момента ввода в эксплуатацию, но не более 18 месяцев с даты отгрузки.

 

Эксплуатационная документация на русском языке, в том числе, руководство по эксплуатации

Условия поставки

Монтажные, складские, страховые услуги, таможенное оформление.

 

ИТОГО стоимость установки

286 800,00 долларов США

Технологические процессы, которые заложены в систему управления установкой:

*согласуется на стадии заказа с Заказчиком

 

Чтобы заказать установку нанесения тонких пленок, свяжитесь с инеженерами компании по телефону с 9:00 до 18:00 по Москве или напишите письмо на действующий Email: info@erstvak.com

 


Почему с нами интересно и выгодно работать

Гарантия качества

Гарантия качества

Мы занимаемся продажей оборудования только от проверенных производителей. Гарантия качества предоставляется непосредственно нашей фирмой.

Честные цены

Честные цены

Низкие цены на поставляемое оборудование обусловлены крупными партиями поставок и налаженными эксклюзивными отношениями с постоянными поставщиками.

Доставка по всей России

Доставка по всей России

Налаженное партнерство с лидерами рынка транспортных услуг: Автотрейдинг, Желдорэкспедиция, Байкал-Сервис, Деловые линии.

Качество консультаций и подбор оборудования

Качество консультаций и подбор оборудования

У нас работают высококвалифицированные специалисты с профильным образованием, это позволяет получить компетентные и качественные консультации.

Гибкая складская программа

Гибкая складская программа

При необходимости мы можем корректировать ее непосредственно под Ваши задачи. Возможность быстрого выкупа оборудования со склада в Москве.

Пунктуальность

Пунктуальность

Слаженная работа логистического отдела и отлаженные системы поставок, позволяют нам всегда поставлять оборудование в запланированный срок.