Наше предприятие и производимое оборудование сертифицированы по ISO 9001.
     Гарантия: от 1 года. Доставка: по РФ и СНГ. Цены: ниже конкурентов в среднем на 18%

Стоимость установки: 312 600 USD включая НДС 18%

 

Напылительная установка для прецизионной оптики OptoVac 700

Вакуумная напылительная установка предназначена для нанесения покрытий на оптические детали из любых марок стекла, кристаллов, керамики, металлов. Покрытия могут наноситься однослойные, многослойные, просветляющие, светоделительные, зеркальные, тонкопленочные, износостойкие. Установка OptoVAC 700 является гибкой, многофункциональной напылительной установкой с широким диапазоном возможных опций и комплектаций.
 
 

В состав установки входят:

 
  1. Вакуумная камера из нержавеющей стали с охлаждением;
  2. Электронно-лучевые испарители с заслонками;
  3. Системы оптического контроля наносимого покрытия с механизмом смены контрольных образцов;
  4. Контроллер скорости осаждения и толщины растущей пленки;
  5. Ионно-лучевой источник очистки и ассистирования с блоком управления и питания;
  6. Технологическая оснастка и система вращения;
  7. Система подвижных и неподвижных масок для выравнивания толщины наносимых покрытий по поверхности детали;
  8. Нагреватель деталей;
  9. Силовой каркас;
  10. Высоковакуумный насос;
  11. Пластинчато-роторный насос (безмасляный насос опционально);
  12. Высоковакуумный затвор;
  13. Форвакуумный клапан;
  14. Байпасный клапан;
  15. Активные датчики давления (вакуума);
  16. Защитно-декоративные панели с встроенными замками;
  17. Система управления и питания.
  18. Все узлы установки имеют единую платформу.

 

Типовые характеристики оборудования OptoVAC 700: 

Наименование характеристики

Значение

Предельно остаточное давление в чистой рабочей камере без оснастки, Па

Время достижения давления 1х10-4 Па в камере с момента открытия затвора без прогрева, мин.

Время достижения предельного остаточного давления, мин.

 

1 х 10-5

 

30

30

 

Вакуумная камера из нержавеющей стали:

-диаметр камеры, мм

-количество смотровых окон

-количество стекол в смотровом окне

-заслонки для смотровых окон

-количество отверстий для технологических устройств на дне камеры

-плавный напуск в камеру

 

 

700

3

3

1

 

25

есть

 

Электронно-лучевые испарители PLASMATE:

-количество, шт.

-блок управления лучем, шт.

-блок накала спирали, шт.

-блок питания ЭЛИ высоковольтный, шт.

-заслонка, шт

-угол поворота луча, град.

-максимальная  мощность, кВт

-ускоряющее напряжение, кВ

-максимальный ток катода, А

-максимальный ток эмиссии, А

-размер пятна, мм

 

-вращение тиглей

 

-электронная система сканирования луча по X, Y

-объем тиглей электронно-лучевого испарителя, в том числе

                                                                        однопозиционный

                                                                          двухпозиционный

                                                                         трехпозиционный

 

 

2

1

2

1

2

270

10

от 5 до 9 с возможностью выбора значения в диапазоне

 50

 1

4х4 (сфокусированный)

дискретное и непрерывное

обязательно, есть

 

135 см3– 2 шт;

58 см3   - 2 шт;

35 см3   - 2 шт;

Система оптического контроля (спектровизор) позволяет осуществлять:

-оптический контроль в интервале, нм

-точность контроля характеристики, нм

-наличие механизма смены контрольных образцов

-наличие контроля на отражение и пропускание

-количество свидетелей

(Опционально)

 

 

1200 до 5000

1,0

есть

есть

6 или 12 (по согласованию)

Контроллер скорости осаждения INFICON и толщины растущей пленки:

-количество позиций кварцевого датчика

-расположение узла свидетелей - в центре купола

-контролирует толщину наносимого покрытия и иметь воз-

возможность изменять положение узла контроля по высоте, относительно дна камеры в диапазоне, мм

 

 

 

  2

есть

есть

 

100

Ионно-лучевые источники очистки VEECO и ассистирования с блоками

управления и питания:

-количество источников, шт.

-блок питания источника ассистирования с двумя режимами уп-

равления ручным и автоматическим, и системой защиты от короткого замыкания каждого из выходов

                                                          

источник ассистирования и очистки: ионная пушка

 

-напряжение разряда, В

-разрядный ток,А

-ток пучка, А

-угол расходимости пучка, град

-расход газа, sccm

-энергия ионов, эВ

-диаметр источника, мм

 

 

                   1

 

 

                   1

                   

 

 

200

5

1,5

80

1-40

25-180

140

Технологическая оснастка и система вращения:

-наличие одинарного и планетарного вращения

-система вращения карусели

-скорость вращения куполообразного подложкодержателя, об/мин

-скорость вращения плоского столика, об/мин

-скорость вращения планетарного подложкодержателя, об/мин

-привод вращения карусели

-механизм крепления унифицированный

-устройство загрузки

 

 

 

есть

электрический привод

регулируемая, от 0 до 30

регулируемая, от 0 до 30

регулируемая, от 0 до 10

бесступенчатый

есть

есть

Система подвижных и неподвижных масок для выравнивания

толщины наносимых покрытий по поверхности детали:

-неравномерность нанесения покрытия по куполу, %

-неравномерность нанесения покрытия на сателлите для плане-

тарного механизма,%

-неравномерность нанесения покрытия на плоском столике,%

 

 

 ±2,5

 

±1,5

±2,0

Нагреватель деталей:

-тип нагревателя

-количество блоков нагревателей, шт

-мощность каждого блока, кВт

-расположение нагревателей в камере

-максимальная температура нагрева, град. С

-контроль температуры с выводом информации на экран персонального компьютера (ПК)

-точность поддержания температуры, град.С

-плавное регулирование температуры и скорости нагрева

 

ИК нагрев

4

1,0

верхнее

 350

 

есть

 ±5

есть

Силовой каркас установки может представлять жесткую сварную металлоконструкцию

Вакуумная откачная система KYKY

 

Турбомолекулярный насос или диффузионный:

-скорость откачки по азоту, л/сек

 

3600 для турбины

 

Спиральный безмасляный насос:

-скорость откачки м3/час

 

80

Активные датчики давления (вакуума):

-низковакуумный датчик, шт

-высоковакуумный датчик, шт.

 

                3

                1

Система управления и питания:

-количество режимов функционирования установки

 

 

-свободный выбор контроля толщины покрытия в процессе на-

несения

-в ручном и полуавтоматическом режимах управление через ПК

-возможность подключения ПК к местной локальной сети

-функция технической диагностики состояния установки

-количество мониторов

 

 

три (ручное, полуавтоматическое, автоматическое)

 

 

Система охлаждения замкнутого контура:

-рециркулятор (чиллер)

-охлаждение воды до температуры

 

в комплекте

18 ºС

Максимальный диаметр оптических деталей, устанавливаемых

в рабочую камеру, мм

 500

 

Максимальный вес заготовок, устанавливаемый на подложко-

держателе, кг

 

 200

Количество слоев покрытий, которое можно нанести, шт.

100

Потребляемая мощность, кВт

25

Габаритные размеры, включая выносные элементы, мм (ДхШхВ)

2200х2600х2200

Технологические процессы, которые заложены в систему управления установкой:

*согласуется на стадии заказа с Заказчиком

 

Чтобы заказать установку нанесения тонких пленок, свяжитесь с инеженерами компании по телефону с 9:00 до 18:00 по Москве или напишите письмо на действующий Email: info@erstvak.com

 


Почему с нами интересно и выгодно работать

Гарантия качества

Гарантия качества

Мы занимаемся продажей оборудования только от проверенных производителей. Гарантия качества предоставляется непосредственно нашей фирмой.

Честные цены

Честные цены

Низкие цены на поставляемое оборудование обусловлены крупными партиями поставок и налаженными эксклюзивными отношениями с постоянными поставщиками.

Доставка по всей России

Доставка по всей России

Налаженное партнерство с лидерами рынка транспортных услуг: Автотрейдинг, Желдорэкспедиция, Байкал-Сервис, Деловые линии.

Качество консультаций и подбор оборудования

Качество консультаций и подбор оборудования

У нас работают высококвалифицированные специалисты с профильным образованием, это позволяет получить компетентные и качественные консультации.

Гибкая складская программа

Гибкая складская программа

При необходимости мы можем корректировать ее непосредственно под Ваши задачи. Возможность быстрого выкупа оборудования со склада в Москве.

Пунктуальность

Пунктуальность

Слаженная работа логистического отдела и отлаженные системы поставок, позволяют нам всегда поставлять оборудование в запланированный срок.