Успеть или "как получится"?

Оборудование

Насосы EBARA серии EBT

Получить
Каталог
Картинка EBT
По серии
EBT

Вакуумный насос EBARA EBT800F-СAB-60

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 820
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим: 7
Заказать

Вакуумный насос EBARA EBT800F-BAB-60

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 820
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим: 7
Заказать

Вакуумный насос EBARA EBT2400F-BWB-40

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2400
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим: 5
Заказать

Вакуумный насос EBARA EBT2400F-BWB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2400
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим: 5
Заказать

Вакуумный насос EBARA EBT2400F-BAB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2400
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим: 5
Заказать

Вакуумный насос EBARA EBT1400F-CWB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 1400
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим: 5.5
Заказать

Вакуумный насос EBARA EBT1400F-CAB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 1400
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим: 5.5
Заказать

Вакуумный насос EBARA EBT1400F-BWB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 1400
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим: 5.5
Заказать
Показать еще
1 2 3 ... 6

ERSTEVAK Ltd. - официальный представитель компании EBARA

Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.

Серия EBT представлена турбомолекулярными насосами с керамическими подшипниками с консистентной смазкой.

Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и могут быть использованы в условиях частого напуска атмосферы (шлюзовые камеры). В конструкции применена интегрированная молекулярная ступень.

Насос Ebara серии EBT

Особенности и преимущества

  • Любая ориентация при установке.
  • Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
  • Непревзойдённая надежность.
  • Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
  • Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
  • Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
  • Низкое энергопотребление.
  • Опционально коррозионностойкое исполнение.
  • Водяное или воздушное охлаждение.
  • Компактные размеры.
  • Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Области применения

  • Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
  • Плазмохимическое травление.
  • Производство оптических элементов
  • Вакуумные печи.
  • Производство композитных материалов.
  • Научно-исследовательские установки.

Технические характеристики

Характеристики моделей EBT70F EBT220F EBT240F EBT350F EBT450F
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 75 (45) 220 (100) 240 (160) 330 (210) 450 (240)
Предельное остаточное давление, Па 10-7 10-6 5x10-7 10-6 10-6
Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108 108 108
Размер фланцев (вход/выход) NW63/KF16 NW100/KF25 NW100/KF25 NW100/KF25 NW160/KF25
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин 25 80 80 80 80
Время запуска, мин 2-2,5 1-1,2 5,5-7,5 2-2,5 2-2,5
Время остановки, мин 20-25 2,5-3,5 45-50 5-6,5 5-6,5
Масса, кг 5 8 10,5 6 10
Характеристики моделей EBT800F EBT1100F EBT1400F EBT2400F
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 820 (650) 1100 (720) 1400 (750) 2400 (1100)
Предельное остаточное давление, Па 10-6 10-6 10-6 10-6
Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108 108
Размер фланцев (вход/выход) NW160/KF40 NW200/KF40 NW200/KF40 NW250/KF40
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин 250 250 250 500
Время запуска, мин 7-9  7-9 5,5-7
5-7
Время остановки, мин 27-32 27-32 15-18 15-18
Масса, кг 27  27 29
47

О компании EBARA

Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.

Скачать каталог

Скачать

WhatsApp