Оборудование

Насосы EBARA серии EMT

Картинка EMT
Серия:
EMT

Вакуумный насос EBARA EMT900M-CAB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим: <5
Заказать
Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим: <5

Вакуумный насос EBARA EMT1300MU-CWB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Время выхода на режим: 5
Заказать
Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Время выхода на режим: 5

Вакуумный насос EBARA EMT1300MU-CAB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Время выхода на режим: 5
Заказать
Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Время выхода на режим: 5

Вакуумный насос EBARA EMT900MU-CWB

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Время выхода на режим: 5
Заказать
Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Время выхода на режим: 5

Вакуумный насос EBARA EMT2400M-IBWС

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим: <5
Заказать
Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим: <5

Вакуумный насос EBARA EMT1300M-IBWС

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим: <5
Заказать
Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 1300
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим: <5

Вакуумный насос EBARA EMT900M-IBWС

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим: <5
Заказать
Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 900
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим: <5

Вакуумный насос EBARA EMT420M-IBWС

Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим: <3
Заказать
Тип: Турбомолекулярный
Производитель: Ebara
Скорость откачки по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим: <3
Показать еще
1 2 3 ... 6

Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.

Турбомолекулярные насосы EBARA серий EMT и EMT-K

Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K - а наиболее энергоэффективными насосами с низким уровнем вибраций. В конструкции применен магнитный подвес, который обеспечивает полностью безмасляный вакуум.

В серии EMT представлены насосы как со встроенным, так и с внешним контроллером. Все насосы этой серии могут быть укомплектованы терморегулятором для снижения скорости конденсации отходов технологического процесса и предотвращения пагубного воздействия примесей газа на части насоса.

Серия EMT с внешним контроллером

Области применения

  • Полупроводниковая и микроэлектронная промышленности.
  • Производство FDli.
  • Плазмохимическое травление.
  • Производство оптических элементов.
  • Вакуумные печи.
  • Имитаторы космического пространства.
  • Производство композитных материалов.
  • Научно-исследовательские установки.
  • Технологические процессы, где абсолютно недопустимо наличие масла.

Особенности и преимущества

  • Полностью магнитный подвес.
  • Любая ориентация при установке.
  • Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
  • Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
  • Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры .
  • Низкое энергопотребление.
  • Опционально коррозионностойкое исполнение.
  • Водяное или воздушное охлаждение.
  • Компактные размеры.
  • Возможность контроля оборотов ротора.
  • Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Непревзойдённая надежность:

  1. Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
  2. Гарантия на магнитный подшипник 7 лет.

Насосы с магнитным подвесом и внешним контроллером EMT

Турбомолекулярный насос Ebara серии EMT

Насосы EMT имеют внешний контроллер ETC011M и выполняются как с водяным, так и с воздушным охлаждением.

Технические характеристики EBARA серии EMT

Таблица 1. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT с магнитным подвесом и внешним контроллером - технические характеристики.

Характеристики моделей EMT390M EMT420M EMT900M EMT1300M EMT2400M EMT3260M
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 340 (290) 400 (300) 900 (1050) 1300 (1200) 2400 (1100) 3200 (2700)
Предельное остаточное давление, Па 10-6 10-6 10-6 10-6 10-6 10-6
Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108 108 108 108
Максимальный газовый поток по азоту (аргону), Па*л/c 3680(1290) 3680(1290) 5520(2760) 5520(2760) 5520(3680) 5520(3680)
Скорость вращения ротора об/мин 40800 48000 33600 33600 33600 33600
Размер фланцев (вход/выход) NW100/NW25 NW160/NW25 NW160/NW25 NW200/NW40 NW250/NW40 NW320/NW40
Допустимое выходное давление, Па 400 400 500 500 200 400
Длительность запуска, мин 2-3 2-3 4-5 4-5 4-5 4-5
Длительность остановки, мин 4-5 4-5 4-5 4-5 4-5 4-5
Масса, кг 14 14 34 34 45 80

Насосы с магнитным подвесом и встроенным контроллером

Турбомолекулярный насос Ebara серии EMT-K

Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.

Технические характеристики EBARA серии EMT-K

Таблица 2. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K с магнитным подвесом и встроенным контроллером - технические характеристики.

Характеристики моделей EMT2200MK EMT3300MK EMT4200MK
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 2200 (1800) 3200(2700) 4200(2800)
Предельное остаточное давление, Па 10-6 10-6 10-6
Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108
Размер фланцев (вход/выход) ISO-B250/NW40(NW50) ISO-B320/NW40 ISO-B350/NW40-50
Допустимое выходное давление, Па 400 400 160
Максимальный газовый поток по азоту Па*л/c 4400 4000 2500
Длительность запуска, мин 7-10 10-12 12-14
Масса, кг 63 69 75

Внимание. Насосы EMT-K поставляются только с фланцем ISO-B и водяным охлаждением. Могут быть выполнены в стандартном - литера B, коррозионно-стойком исполнении - литера C.

О компании EBARA

Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.

Скачать каталог

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время клиентов!
Введите символы с картинки*
WhatsApp