Оборудование

Насосы EBARA серии ESA

Картинка ESA

Вакуумный насос EBARA ESA 25D

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 180
Предельное остаточное давление, мбар: 0.04
Мощность электродвигателя, кВт: 3.7
Заказать
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 180
Предельное остаточное давление, мбар: 0.04
Мощность электродвигателя, кВт: 3.7

Вакуумный насос EBARA ESA 70WD

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 420
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0027
Мощность электродвигателя, кВт: 7.4
Заказать
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 420
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0027
Мощность электродвигателя, кВт: 7.4

Вакуумный насос EBARA ESA 100W-D

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 600
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0013
Мощность электродвигателя, кВт: 7.4
Заказать
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 600
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0013
Мощность электродвигателя, кВт: 7.4

Вакуумный насос EBARA ESA 80W-D

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 504
Предельное остаточное давление, мбар: 0.074
Мощность электродвигателя, кВт: 7.4
Заказать
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 504
Предельное остаточное давление, мбар: 0.074
Мощность электродвигателя, кВт: 7.4

Вакуумный насос EBARA ESA 700W

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 4800
Предельное остаточное давление, мбар: 0.074
Мощность электродвигателя, кВт: 7.4
Заказать
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 4800
Предельное остаточное давление, мбар: 0.074
Мощность электродвигателя, кВт: 7.4

Вакуумный насос EBARA ESA 500W

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 2820
Предельное остаточное давление, мбар: 0.01
Мощность электродвигателя, кВт: 5.1
Заказать
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 2820
Предельное остаточное давление, мбар: 0.01
Мощность электродвигателя, кВт: 5.1

Вакуумный насос EBARA ESA 300W

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1680
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0053
Мощность электродвигателя, кВт: 6.6
Заказать
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1680
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0053
Мощность электродвигателя, кВт: 6.6

Вакуумный насос EBARA ESA 200W

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1200
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0053
Мощность электродвигателя, кВт: 3.2
Заказать
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Скорость откачки, м3/час: 1200
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0053
Мощность электродвигателя, кВт: 3.2

Вакуумные насосы серии ESA идеально подходят для откачки камер больших объемов в таких областях, как производство LCD дисплеев, PV батарей, CVD, PVD, SEM и MEMS технологий.

Основной насос дополнен двухроторным насосом РУТС для повышения скорости откачки. На насосах установлена интеллектуальная система управления вращением роторов, что позволяет регулировать скорость откачки и повысить энергоэффективность работы насоса.

Особенности и преимущества

  • Высокая скорость откачки в широком диапазоне давлений.
  • Использование эффективных двигателей постоянного тока.
  • Возможность работы насоса при высоких температурах.
  • Низкое потребление электроэнергии, азота, охлаждающей воды.

Технические характеристики

Характеристики моделей ESA25D ESA70WD ESA200W ESA300W ESA500W
Быстрота действия, м3 150 420 1200 1800 3000
Предельное остаточное давление, Па 2 0,27 0,53 0,53 1
Потребляемая мощность (макс/ при pост), кВт 3,7/2,6 5,9/3,6 7,5/3,4 12,5/7,3 24,1/6,7
Размер фланцев (вход/выход) KF50/KF50 KF50/KF50 ISO100/NW40 ISO100/NW40 ISO100/NW50
Расход азота на продувку, л/мин 11-13 14-16 10 5 6
Габаритные размеры, мм Длина 1074 985 920 1100  
Ширина 394 400 400 620  
Высота 520 770 760 905  
Масса, кг 240 300 410 700 750

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время клиентов!
Введите символы с картинки*
WhatsApp