Оборудование

Насосы EBARA серии EST

Получить
Картинка EST

Вакуумный насос EBARA EST500WN

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.004
Мощность, кВт: 4.6
Заказать

Вакуумный насос EBARA EST300WN

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.004
Мощность, кВт: 4.5
Заказать

Вакуумный насос EBARA EST200WN

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.004
Мощность, кВт: 3.2
Заказать

Вакуумный насос EBARA EST100WN

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.0053
Мощность, кВт: 3.2
Заказать

Вакуумный насос EBARA EST25N

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.27
Мощность, кВт: 3
Заказать

Вакуумный насос EBARA EST10N

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.27
Мощность, кВт: 2.3
Заказать

Насосы серии EST являются передовыми винтовыми насосами, специально сконструированными для работы в тяжелых условиях. Подходят для откачки химически активных и конденсируемых газов, а также умеренно запылённых сред.

Обладают прекрасной характеристикой производительности и высокой стабильностью при откачке больших газовых объемов. Применяются в CVD технологиях, химическом и ионно-плазменном травлении подложек, установках удаления фоторезиста.

Особенности и преимущества

Насосы EBARA EST.jpg
  • Широкий диапазон скорости откачки для различных применений.
  • Применение высокоэффективных двигателей постоянного тока.
  • Применение надёжных систем контроля работы.

Применение

  • CVD-процессы и процессы травления.
  • Откачка камер больших объёмов.

Технические характеристики

Характеристики моделей EST10N EST25N EST100WN EST200WN EST300WN EST500WN
Быстрота действия, м3 60 150 600 1200 1800 3000
Предельное остаточное давление, Па 2,67 2,67 0,4 0,4 0,4 0,4
Потребляемая мощность (макс/ при pост), кВт 3,5/2,3 5,5/3,0 7,7/3,8 7,8/3,9 9,5/4,5 11,3/4,6
Размер (вход/выход) NW40/NW40 NW40/NW40 NW50/NW40 ISO100/NW40 ISO160/NW40 ISO160/NW40
Водяное охлаждение, л/мин 5-8 5-8 5-8 5-8 5-8 5-8
Расход азота на продувку, л/мин 8-11 8-10 14-17 14-17 14-17 16-18
Габаритные размеры, мм Длина 1100 990 990 990 990  
Ширина 410 410 410 410 520  
Высота 532 501 851 851 873  
Масса, кг 260 300 420 450 500 550

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp