Оборудование
Получить
Картинка EV-M

Вакуумный насос EBARA EV-M1205N

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.005
Мощность, кВт: 5.3
Заказать

Вакуумный насос EBARA EV-M802N

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.005
Мощность, кВт: 2.8
Заказать

Вакуумный насос EBARA EV-M102N-BE-HN

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.005
Мощность, кВт: 1.8
Заказать

Вакуумный насос EBARA EV-M502N-BE

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.005
Мощность, кВт: 2.1
Заказать

Вакуумный насос EBARA EV-M502N-B

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.005
Мощность, кВт: 2.1
Заказать

Вакуумный насос EBARA EV-M502N

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.005
Мощность, кВт: 2.1
Заказать

Вакуумный насос EBARA EV-M302N-BE

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.005
Мощность, кВт: 2.3
Заказать

Вакуумный насос EBARA EV-M302N-B

Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар: 0.005
Мощность, кВт: 2.3
Заказать
Показать еще
1 2 3

Серия EV-M сконструирована для откачки большого объема выделяющихся при технологическом процессе побочных продуктов, образующихся при изготовлении полупроводников, жидких кристаллов и солнечных батарей. В данной серии используются передовые технологии для создания оптимального баланса между химической стойкостью и энергоэффективностью. Данная серия представляет собой последнее поколение насосов, в которых минимизировано время простоя на техническое обслуживание и операционные издержки.

Серия сухих вакуумных насосов EV-M служит для откачки агрессивных сред NF3, HF, Cl2 SiH2Cl2 и других.

Преимущества и особенности

Насосы EBARA EVM.jpg
  • Интеллектуальная система управления.
  • Низкое потребление электроэнергии.
  • Сниженные габаритные размеры.
  • Датчик протечки воды.

Применение

  • Травление металлов.
  • CVD-технологии.

Технические характеристики

Характеристики моделей EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N
Быстрота действия, м3 108 600 1200 1620 3000
Предельное остаточное давление, Па 5 5 5 5 5
Размер фланцев (вход/выход) NW40/NW40 ISO100/NW40 ISO100/NW40 ISO100/NW40 ISO160/NW40
Потребляемая мощность (максимальная/при предельном остаточном давл.), кВт 2,2/1,2 3,8/1,8 4,4/1,9 4,7/2,5 5,7/2,1
Водяное охлаждение, л/мин 3-8 3-8 3,5-8 4-8 5-8
Расход азота на продувку, л/мин 15-18 15-18 15-18 15-18 16-20
Габаритные размеры, мм Длина 820 810 870 961  
Ширина 370 380 380 380  
Высота 620 922 922 1000  
Масса, кг 170 320 360 400 500

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp