Серия EV-M сконструирована для откачки большого объема выделяющихся при технологическом процессе побочных продуктов, образующихся при изготовлении полупроводников, жидких кристаллов и солнечных батарей. В данной серии используются передовые технологии для создания оптимального баланса между химической стойкостью и энергоэффективностью. Данная серия представляет собой последнее поколение насосов, в которых минимизировано время простоя на техническое обслуживание и операционные издержки.
Серия сухих вакуумных насосов EV-M служит для откачки агрессивных сред NF3, HF, Cl2 SiH2Cl2 и других.
Преимущества и особенности
- Интеллектуальная система управления.
- Низкое потребление электроэнергии.
- Сниженные габаритные размеры.
- Датчик протечки воды.
Применение
- Травление металлов.
- CVD-технологии.
Технические характеристики
| Характеристики моделей | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | |
| Быстрота действия, м3/ч | 108 | 600 | 1200 | 1620 | 3000 | |
| Предельное остаточное давление, Па | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | |
| Размер фланцев (вход/выход) | NW40/NW40 | ISO100/NW40 | ISO100/NW40 | ISO100/NW40 | ISO160/NW40 | |
| Потребляемая мощность (максимальная/при предельном остаточном давл.), кВт | 2,2/1,2 | 3,8/1,8 | 4,4/1,9 | 4,7/2,5 | 5,7/2,1 | |
| Водяное охлаждение, л/мин | 3-8 | 3-8 | 3,5-8 | 4-8 | 5-8 | |
| Расход азота на продувку, л/мин | 15-18 | 15-18 | 15-18 | 15-18 | 16-20 | |
| Габаритные размеры, мм | Длина | 820 | 810 | 870 | 961 | |
| Ширина | 370 | 380 | 380 | 380 | ||
| Высота | 620 | 922 | 922 | 1000 | ||
| Масса, кг | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | |