Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Время охлаждения, мин: 220
Присоединительный фланец: ISO800
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Время охлаждения, мин: 180
Присоединительный фланец: UVG720
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Время охлаждения, мин: 150
Присоединительный фланец: ISO630
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Время охлаждения, мин: 180
Присоединительный фланец: UVG, ISO550
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Время охлаждения, мин: 150
Присоединительный фланец: ANSI, UVG, ISO500
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Время охлаждения, мин: 120
Присоединительный фланец: ANSI, UVG, ISO400
Описание
Криогенные вакуумные насосы серии CryoVac EV-CTP предназначены для создания высокого вакуума за счет адсорбционного способа откачки (внутри насоса расположен криокулер с рабочей температурой 10К). Они обеспечивают эффективную откачку газовых сред в широком диапазоне давлений, сочетая преимущества турбомолекулярных и криосорбционных технологий.
Области применения
- Производство полупроводников, интегральных схем и дисплеев (LCD/LED/OLED), нанесение покрытий на полупроводники, рост тонких плёнок, ионная имплантация, солнечные панели, оптоэлектронные устройства
- Вакуумное напыление: покрытие оптических линз, защитные покрытия, напыление на стекло
- Научные исследования: моделирование космических условий, вакуумные стенды, вакуумные печи, вакуумные системы ускорителей, приборы для анализа материалов
Особенности и преимущества
- Высокое остаточное давление — до 10−7 Па
- Высокая скорость откачки, особенно по воздуху и водяному пару
- Полностью безмасляная система откачки
- Простота управления и длительный срок службы
- Не требуют форвакуумного насоса во время работы
- Требуют периодической регенерации
Технические характеристики
|
CryoVac EV-CTP |
200 |
200W |
250 |
250W |
320 |
320W |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Скорость откачки, N2, л/с |
1700 |
1500 |
2400 |
2400 |
4000 |
4000 |
|
Скорость откачки, H2, л/с |
2700 |
2200 |
3600 |
3600 |
6000 |
6000 |
|
Скорость откачки, Ar, л/с |
1400 |
1200 |
2000 |
2000 |
3300 |
3300 |
|
Скорость откачки, H2O, л/с |
4000 |
4000 |
6900 |
6900 |
11000 |
11000 |
|
Емкость по Ar, SL |
1000 |
1000 |
2000 |
2000 |
3100 |
3100 |
|
Емкость по H2, SL |
17 |
12 |
16 |
16 |
20 |
20 |
|
Максимальная пропускная |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1500 |
1500 |
|
Предельная пропускная |
150 |
300 |
||||
|
Остаточное давление, Па |
10-7 |
|||||
|
Присоединительный фланец |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
|
Масса, кг |
20 |
19 |
30 |
28 |
40 |
40 |
|
Время охлаждения, мин, 50 Гц |
100 |
100 |
110 |
110 |
120 |
120 |
|
Межсервисный интервал, ч |
16 000 |
|||||
|
CryoVac EV-CTP |
400 |
500 |
550 |
630 |
720 |
800 |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Скорость откачки, N2, л/с |
6000 |
10000 |
17000 |
18000 |
21000 |
28000 |
|
Скорость откачки, H2, л/с |
10000 |
18000 |
25000 |
30000 |
39000 |
46000 |
|
Скорость откачки, Ar, л/с |
5000 |
8400 |
14000 |
14500 |
19000 |
23500 |
|
Скорость откачки, H2O, л/с |
16000 |
29000 |
39000 |
46000 |
57000 |
71000 |
|
Емкость по Ar, SL |
4300 |
5800 |
8100 |
8200 |
8400 |
8500 |
|
Емкость по H2, SL |
24 |
46 |
85 |
120 |
130 |
150 |
|
Максимальная пропускная |
1500 |
1700 |
1700 |
2000 |
2000 |
2000 |
|
Предельная пропускная |
300 |
500 |
- |
- |
- |
- |
|
Остаточное давление, Па |
10-7 |
|||||
|
Присоединительный фланец |
ANSI/UVG/ |
ANSI/UVG/ |
UVG/ISO550 |
ISO630 |
UVG720 |
ISO800 |
|
Масса, кг |
70 |
104 |
120 |
190 |
210 |
255 |
|
Время охлаждения, мин, 50 Гц |
120 |
150 |
180 |
150 |
180 |
220 |
|
Межсервисный интервал, ч |
16 000 |
|||||