Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Присоединительный фланец: UVG, ISO500
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Присоединительный фланец: ANSI, UVG, ISO400
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Присоединительный фланец: CF, ANSI, UVG, ISO320
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Присоединительный фланец: CF, ANSI, UVG, ISO320
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Присоединительный фланец: CF, ANSI, UVG, ISO320
Производитель: ERSTVAK Ltd.
Остаточное давление, Па: 10⁻⁷
Присоединительный фланец: CF, ANSI, UVG, ISO250
Описание
Криогенные насосы серии ICTP представляет собой полностью автоматизированную систему вакуумной откачки с функциями:
- работы в автоматическом режиме
- быстрой регенерации
- полной регенерации
- дистанционного мониторинга и управления с помощью интерфейса последовательной связи
Насосы данной серии обеспечивают достижение предельного остаточного давления до 10⁻⁷ Па в откачиваемом объеме. Реализуют принцип чистой откачки за счет криоконденсации и адсорбции на поверхностях, охлажденных до температур ~10-20 K.
Серия разработана специально для полупроводниковой промышленности и других высокотехнологичных отраслей, где требуются сверхчистый вакуум, высокая степень автоматизации и управления.
Особенности и преимущества
- Функция автоматической регенерации
- Функция полной регенерации
- Функция автоматической быстрой (частичной) регенерации
- Автоматический контроль вакуума в крионасосе
- Автоматическая компенсация тепловой нагрузки при низких температурах посредством встроенного частотного преобразователя криокулера
- Возможность работы нескольких насосов от одного компрессора
- Повышенная энергоэффективность без снижения производительности
Технические характеристики
|
CryoVac EV-ICTP |
200 |
200W |
250 |
250W |
250W |
|---|---|---|---|---|---|
|
Скорость откачки, N2, л/с |
1500 |
1500 |
2400 |
2400 |
2200 |
|
Скорость откачки, H2, л/с |
2500 |
2200 |
3600 |
3600 |
7000 |
|
Скорость откачки, Ar, л/с |
1200 |
1200 |
2000 |
2000 |
1800 |
|
Скорость откачки, H2O, л/с |
4000 |
4000 |
6500 |
6500 |
6500 |
|
Емкость по Ar, SL |
1000 |
1000 |
2000 |
2000 |
— |
|
Емкость по H2, SL |
12 |
12 |
16 |
16 |
24 |
|
Максимальная пропускная способность, Ar, Па·л/с |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1000 |
|
Предельная пропускная способность, Ar, торр·л |
150 |
||||
|
Остаточное давление, Па |
10-7 |
||||
|
Присоединительный фланец |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
|
Масса, кг |
32 |
30 |
35 |
32 |
32 |
|
Время полной регенерации, мин |
90 |
90 |
115 |
115 |
115 |
|
Время быстрой регенерации, мин |
35 |
35 |
50 |
50 |
50 |
|
Межсервисный интервал, ч |
16 000 |
||||
|
CryoVac EV-ICTP |
320 |
320W |
320W |
400 |
500 |
|---|---|---|---|---|---|
|
Скорость откачки, N2, л/с |
4000 |
4000 |
3600 |
6000 |
10 000 |
|
Скорость откачки, H2, л/с |
6000 |
6000 |
13 000 |
12 000 |
18 0000 |
|
Скорость откачки, Ar, л/с |
3300 |
3300 |
3000 |
5000 |
8400 |
|
Скорость откачки, H2O, л/с |
11 000 |
11 000 |
11 000 |
17 500 |
30 000 |
|
Емкость по Ar, SL |
3100 |
3100 |
- |
4300 |
6000 |
|
Емкость по H2, SL |
20 |
20 |
40 |
42 |
46 |
|
Максимальная пропускная способность, Ar, Па·л/с |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1700 |
|
Предельная пропускная способность, Ar, Торр·л |
300 |
600 |
|||
|
Остаточное давление, Па |
10-7 |
||||
|
Присоединительный фланец |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
CF/ANSI/ |
ANSI/UVG/ |
UVG/ISO500 |
|
Масса, кг |
48 |
45 |
45 |
77 |
80 |
|
Время полной регенерации, мин |
150 |
150 |
150 |
180 |
200 |
|
Время быстрой регенерации, мин |
75 |
75 |
75 |
90 |
- |
|
Межсервисный интервал, ч |
16 000 |
||||
Модели с индексом "W" — облегчённые версии (на 2-5 кг легче стандартных)