Датчик INFICON Crystal 12 автоматически меняет кристаллы, не прерывая ваш процесс, в случае, если он работает совместно с контроллером осаждения тонких пленок INFICON IC6. Каждый раз, когда кристалл становится нестабильным или выходит из строя, IC6 подает сигнал на карусель датчика Crystal 12, чтобы немедленно повернуть новый кристалл в нужное положение для непрерывного контроля скорости осаждения. Чтобы еще больше минимизировать время простоя, кристаллы можно предварительно загрузить во вторую дополнительную карусель, которую затем можно быстро и легко заменить использованные кристаллы, что минимизирует время простоя системы.
Особенности
- Вмещает 12 кристаллов. Имеет надежное автоматическое переключение, для максимального увеличения времени безотказной работы;
- Легко снимаемая карусель позволяет быстро заменить все 12 кристаллов;
- Стабильная температура кристалла, поскольку переключение кристаллов осуществляется с помощью пневматического привода (в конкурирующих устройствах используются двигатели, генерирующие тепло);
- Легко снимаемый защитный экран защищает кристаллы и карусель от накопления осаждаемого материала, сводя к минимуму необходимость снимать для обслуживания весь датчик;
- Опционально: дополнительный комплект монтажных стоек для установки метрического оборудования;
Характеристики
|
Тип |
Датчик Crystal 12 |
|---|---|
|
Максимальная температура прогрева без воды |
130°C |
|
Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды |
300° C |
|
Размеры (максимальные габариты) |
4.0 дюйм. (102 мм) диаметр. x 3.3 дюйм. (84 мм) высота 4.75 дюйм. |
|
Длина трубок воды, воздуха |
Стандартно 30 дюйм. (762 мм) |
|
Замена кристаллов |
Загрузка спереди |
|
Монтаж |
Шесть резьбовых отверстий # 4-40 на задней части корпуса датчика, шесть резьбовых отверстий # 4-40 на внешней окружности. Три резьбовых отверстия # 6-32 с дополнительным монтажным комплектом (IPN 750-670-G1). |
|
Масса |
4.92 фунт. (2.23 кг) |
|
Требования к установке |
|
|
Вакуумный ввод |
Кол-во (1) 2-3/4 дюйма ConFlat с одним коаксиальным вводом, 2 ввода воды, 1 ввод воздуха, IPN 750-685-G1, или, Кол-во (1) 750-685-G2, с одним коаксиальным вводом, 3 ввода с компрессионными фитингами Ultra-Torr или Кол-во (1) болт 1 дюйм с одним коаксиальным вводом, 2 ввода воды, 1 ввод воздуха IPN 750-030-G1 |
|
Монтаж |
Пользователь должен предоставить монтажное крепление, способное выдержать вес Crystal12, а также обеспечить простое снятие и замену с минимальным изменением точного положения. Для этой цели можно приобрести дополнительный комплект монтажных стоек IPN 750-670-G1. |
|
Подключение воды и воздуха |
Заказчик должен обеспечить герметичные паяные соединения или разъемы под водяные и воздушные трубки. Воздушный клапан в сборе, IPN 750-420-G1 (не входит в комплект), с ограничивающей диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливается пользователем. (Диафрагма входит в комплект аксессуаров Crystal12.) |
|
Средства обеспечения |
Минимальный расход воды 150-200 см3/мин, 30 °C макс. (Не позволяйте воде замерзать). Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. 80–90 PSIG (5,5–6,2 бар) [550 кПа - 620 кПа]. Максимальная длина трубопровода 1/8 дюйма между головкой датчика и электромагнитным клапаном составляет 2 метра. |
|
Материалы |
|
|
Пластина, защитный экран, механические детали, корпус и карусель |
Нержавеющая сталь 304 |
|
Пружины, электрические контакты |
Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием, нержавеющая сталь 302 с золотым покрытием |
|
Водяные и воздушные трубки |
нержавеющая сталь 304, 0.125 дюйм. (3.2 мм) внешн.диаметр. x .016 дюйм. (0.4 мм) Толщина стенки x 30 дюйм. Длина (762 мм) бесшовные трубы из нержавеющей стали |
|
Разъем |
Нержавеющая сталь |
|
Изоляторы |
Тефлон |
|
Кабели |
Сталь с тефлоновой изоляцией и медным покрытием |
|
Кристалл |
0.550 дюйм. (13.97 мм) диаметр |
|
1-дюймовый болт и фитинг Ultra-Torr (компрессионный фитинг): |
|
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий, VITON® |
|
Температура |
Условия эксплуатации: до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без |
|
Монтаж |
Отверстие диаметром 1.015 дюйм. ±0.010 дюйм. |
|
Сварной фланец CF 40: |
|
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий |
|
Температура |
Условия эксплуатации до 450 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без |
|
Монтаж |
Сопрягается с фланцами ConFlat 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма. |
Артикул
Аксессуары
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
750-420-G1 |
Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонками и многокристальными датчиками) |
Запасные части
|
Датчик Crystal 12 |
||
|
750-276-P3 |
Крышка привода |
|
|
750-644-G1 |
Корпус |
|
|
750-658-G1 |
Защитный экран |
|
|
750-286-P2 |
Пневматический привод |
|
|
750-291-P1 |
Фиксатор |
|
|
750-294-P2 |
Стопор трещотки |
|
|
750-293-P2 |
Трещотка |
|
|
750-256-P2 |
Пружина растяжения |
|
|
750-252-P2 |
Подставка под пружину |
|
|
750-649-G1 |
Электрическое разъем |
|
|
750-295-G1 |
Собачка и привод |
|
|
750-258-P2 |
Подшипник вала |
|
|
070-0779 |
Подшипник |
|
|
750-652-G1 |
Карусель |
|
|
750-650-P1 |
Пластина с отверстием (без установочного штифта) |
|
|
070-1253 |
Установочный штифт |
|
|
750-651-P1 |
Поддержка цепи резисторов |
|
|
750-655-P1 |
Резисторный сетевой изолятор |
|
|
750-642-G1 |
Цепь резисторов |
|
|
750-661-P1 |
Контактный терминал (компонент карусели) |
|
|
750-656-P1 |
Изолятор кристалла (компонент карусели) |
|
|
321-038-P6 |
Листовая пружина (компонент карусели) |
|
|
750-657-P1 |
Заземление листовой пружины |
|
|
750-671-P1 |
Торсионная пружина |
|
|
750-626-P1 |
Пружина крышки распылительной головки |
|
|
750-647-P1 |
Шпиндель |
|
|
070-1268 |
Подшипник шпинделя (компонент шпинделя) |
|
|
070-1254 |
Стопорная Е-образная шайба (компонент шпинделя) |
|
|
750-660-P1 |
Центрирующий винт (компонент шпинделя) |
|
|
007-126 |
0.125 дюйм. x 30 дюйм. (3.175 мм x 762 мм) бесшовные трубы |
|
|
070-201 |
#4 Шайба Гровера |
|
|
084-004 |
#4-40 X .187 Болт с внутренним шестигранником |
|
|
070-398 |
Стопорное кольцо |
|
|
070-0867 |
Прокладка вала |
|
|
070-170 |
#2 Шайба Гровера |
|
|
070-177 |
#4-40 X 3.12 Болт с шестигранной головкой |
|
|
080-038 |
#0-80 x .375 Винт с круглой головкой Phillips |
|
|
082-032 |
#2 Внутренняя шайба Гровера |
|
|
082-045 |
#2-56 x .187 Винт Phillips |
|
|
084-054 |
#4 шайба Гровера |
|
|
082-022 |
#2 Плоская шайба |
|
|
082-024 |
#2-56 x .250 Болт с внутренним шестигранником |
|
|
750-292-P2 |
Проставка фиксатора |
|
|
080-013 |
#0-80 Разрезная шайба |
|
|
080-007-P1 |
#0-80 x .170 Плоская шайба |
|
|
080-009-P1 |
#0-80 X .188 Болт с внутренним шестигранником |
|
|
084-048 |
#4-40 x .250 Винт с плоской головкой |
|
|
750-665-P1 |
#2-56 Винт с буртиком торсионной пружины |
|
|
084-093 |
#4-40 x 1.125 Болт с внутренним шестигранником |
|
|
086-084-P2 |
#6-21 x 1/8 установочный винт |
|
|
086-041 |
#6 Плоская шайба |
|
|
086-038 |
#6 Шайба Гровера |
|
|
086-036 |
#6-32 x 3/8 болт с внутренним шестигранником |
|
|
Вакуумные кабели |
||
|---|---|---|
|
321-039-G12 |
Вакуумный кабель, 15.2 см (6 дюйм.) |
|
|
007-252 |
Вакуумный кабель, 30.5 см (12 дюйм.) |
|
|
321-039-G11 |
Вакуумный кабель, 61.0 см (24 дюйм.) |
|
|
007-044 |
Вакуумный кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.) |
|
|
007-059 |
Вакуумный кабель, 91.4 см (36 дюйм.) |
|
|
007-061 |
Вакуумный кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
|
321-039-G13 |
Вакуумный кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
|
321-039-G14 |
Вакуумный кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
|
321-039-G15 |
Вакуумный кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU |
|
|
321-039-G16 |
Вакуумный кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU |
|