Успеть или "как получится"?

Оборудование

Датчик INFICON Crystal 12

Получить
Картинка Crystal 12

INFICON Crystal 12

Датчик INFICON Crystal 12 автоматически меняет кристаллы, не прерывая ваш процесс, в случае, если он работает совместно с контроллером осаждения тонких пленок INFICON IC6. Каждый раз, когда кристалл становится нестабильным или выходит из строя, IC6 подает сигнал на карусель датчика Crystal 12, чтобы немедленно повернуть новый кристалл в нужное положение для непрерывного контроля скорости осаждения. Чтобы еще больше минимизировать время простоя, кристаллы можно предварительно загрузить во вторую дополнительную карусель, которую затем можно быстро и легко заменить использованные кристаллы, что минимизирует время простоя системы.

Особенности

  • Вмещает 12 кристаллов. Имеет надежное автоматическое переключение, для максимального увеличения времени безотказной работы;
  • Легко снимаемая карусель позволяет быстро заменить все 12 кристаллов;
  • Стабильная температура кристалла, поскольку переключение кристаллов осуществляется с помощью пневматического привода (в конкурирующих устройствах используются двигатели, генерирующие тепло);
  • Легко снимаемый защитный экран защищает кристаллы и карусель от накопления осаждаемого материала, сводя к минимуму необходимость снимать для обслуживания весь датчик;
  • Опционально: дополнительный комплект монтажных стоек для установки метрического оборудования;

Характеристики

Тип

Датчик Crystal 12

Максимальная температура прогрева без воды

130°C

Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды

300° C

Размеры (максимальные габариты)

4.0 дюйм. (102 мм) диаметр. x 3.3 дюйм. (84 мм) высота 4.75 дюйм.

(121 мм) диаметр. x 3.46 дюйм. (88 мм) с опциональными монтажными стойками

Длина трубок воды, воздуха

Стандартно 30 дюйм. (762 мм)

Замена кристаллов

Загрузка спереди

Монтаж

Шесть резьбовых отверстий # 4-40 на задней части корпуса датчика, шесть резьбовых отверстий # 4-40 на внешней окружности. Три резьбовых отверстия # 6-32 с дополнительным монтажным комплектом (IPN 750-670-G1).

Масса

4.92 фунт. (2.23 кг)

Требования к установке

Вакуумный ввод

Кол-во (1) 2-3/4 дюйма ConFlat с одним коаксиальным вводом, 2 ввода воды, 1 ввод воздуха, IPN 750-685-G1,

или,

Кол-во (1) 750-685-G2, с одним коаксиальным вводом, 3 ввода с компрессионными фитингами Ultra-Torr

или

Кол-во (1) болт 1 дюйм с одним коаксиальным вводом, 2 ввода воды, 1 ввод воздуха IPN 750-030-G1

Монтаж

Пользователь должен предоставить монтажное крепление, способное выдержать вес Crystal12, а также обеспечить простое снятие и замену с минимальным изменением точного положения. Для этой цели можно приобрести дополнительный комплект монтажных стоек IPN 750-670-G1.

Подключение воды и воздуха

Заказчик должен обеспечить герметичные паяные соединения или разъемы под водяные и воздушные трубки. Воздушный клапан в сборе, IPN 750-420-G1 (не входит в комплект), с ограничивающей диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливается пользователем. (Диафрагма входит в комплект аксессуаров Crystal12.)

Средства обеспечения

Минимальный расход воды 150-200 см3/мин, 30 °C макс. (Не позволяйте воде замерзать). Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. 80–90 PSIG (5,5–6,2 бар) [550 кПа - 620 кПа]. Максимальная длина трубопровода 1/8 дюйма между головкой датчика и электромагнитным клапаном составляет 2 метра.

Материалы

Пластина, защитный экран, механические детали, корпус и карусель

Нержавеющая сталь 304

Пружины, электрические контакты

Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием, нержавеющая сталь 302 с золотым покрытием

Водяные и воздушные трубки

нержавеющая сталь 304, 0.125 дюйм. (3.2 мм) внешн.диаметр. x .016 дюйм. (0.4 мм) Толщина стенки x 30 дюйм. Длина (762 мм) бесшовные трубы из нержавеющей стали

Разъем

Нержавеющая сталь

Изоляторы

Тефлон

Кабели

Сталь с тефлоновой изоляцией и медным покрытием

Кристалл

0.550 дюйм. (13.97 мм) диаметр

1-дюймовый болт и фитинг Ultra-Torr (компрессионный фитинг):

Материалы

Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий, VITON®

Температура

Условия эксплуатации: до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без

Монтаж

Отверстие диаметром 1.015 дюйм. ±0.010 дюйм.

Сварной фланец CF 40:

Материалы

Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий

Температура

Условия эксплуатации до 450 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без

Монтаж

Сопрягается с фланцами ConFlat 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма.

 

Артикул

Артикул

Аксессуары

Каталожный номер

Описание

750-420-G1

Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонками и многокристальными датчиками)

Запасные части

Датчик Crystal 12

750-276-P3

Крышка привода

750-644-G1

Корпус

750-658-G1

Защитный экран

750-286-P2

Пневматический привод

750-291-P1

Фиксатор

750-294-P2

Стопор трещотки

750-293-P2

Трещотка

750-256-P2

Пружина растяжения

750-252-P2

Подставка под пружину

750-649-G1

Электрическое разъем

750-295-G1

Собачка и привод

750-258-P2

Подшипник вала

070-0779

Подшипник

750-652-G1

Карусель

750-650-P1

Пластина с отверстием (без установочного штифта)

070-1253

Установочный штифт

750-651-P1

Поддержка цепи резисторов

750-655-P1

Резисторный сетевой изолятор

750-642-G1

Цепь резисторов

750-661-P1

Контактный терминал (компонент карусели)

750-656-P1

Изолятор кристалла (компонент карусели)

321-038-P6

Листовая пружина (компонент карусели)

750-657-P1

Заземление листовой пружины

750-671-P1

Торсионная пружина

750-626-P1

Пружина крышки распылительной головки

750-647-P1

Шпиндель

070-1268

Подшипник шпинделя (компонент шпинделя)

070-1254

Стопорная Е-образная шайба (компонент шпинделя)

750-660-P1

Центрирующий винт (компонент шпинделя)

007-126

0.125 дюйм. x 30 дюйм. (3.175 мм x 762 мм) бесшовные трубы

070-201

#4 Шайба Гровера

084-004

#4-40 X .187 Болт с внутренним шестигранником

070-398

Стопорное кольцо

070-0867

Прокладка вала

070-170

#2 Шайба Гровера

070-177

#4-40 X 3.12 Болт с шестигранной головкой

080-038

#0-80 x .375 Винт с круглой головкой Phillips

082-032

#2 Внутренняя шайба Гровера

082-045

#2-56 x .187 Винт Phillips

084-054

#4 шайба Гровера

082-022

#2 Плоская шайба

082-024

#2-56 x .250 Болт с внутренним шестигранником

750-292-P2

Проставка фиксатора

080-013

#0-80 Разрезная шайба

080-007-P1

#0-80 x .170 Плоская шайба

080-009-P1

#0-80 X .188 Болт с внутренним шестигранником

084-048

#4-40 x .250 Винт с плоской головкой

750-665-P1

#2-56 Винт с буртиком торсионной пружины

084-093

#4-40 x 1.125 Болт с внутренним шестигранником

086-084-P2

#6-21 x 1/8 установочный винт

086-041

#6 Плоская шайба

086-038

#6 Шайба Гровера

086-036

#6-32 x 3/8 болт с внутренним шестигранником

Вакуумные кабели

 

321-039-G12

Вакуумный кабель, 15.2 см (6 дюйм.)

007-252

Вакуумный кабель, 30.5 см (12 дюйм.)

321-039-G11

Вакуумный кабель, 61.0 см (24 дюйм.)

007-044

Вакуумный кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.)

007-059

Вакуумный кабель, 91.4 см (36 дюйм.)

007-061

Вакуумный кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G13

Вакуумный кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G14

Вакуумный кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G15

Вакуумный кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU

321-039-G16

Вакуумный кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU

WhatsApp