Датчик INFICON Crystal Six имеет 6 кварцевых кристаллов, что увеличивает время работы и позволяет контролировать длительные процессы, будь то создание OLED экранов, молекулярно-пучковая эпитаксия, нанесение толстых оптических покрытий или другие длительные процессы.
При использовании с контроллером тонких пленок, INFICON CrystalSix автоматически поворачивает новый кристалл в рабочее положение, когда текущий кристалл выходит из строя или становится непригодным. Кристаллы автоматически заменяются без прерывания процесса для непрерывного наблюдения скорости осаждения.
Смена кристалла осуществляется с помощью пневматического привода. Мотор с пневматическим приводом обеспечивает лучшую термическую стабильность кристаллов, чем аналогичные приводы, использующие электродвигатели, генерирующие тепло. Трубки водяного охлаждения диаметром 1/8 дюйма обеспечивают термическую стойкость сенсорной головки.
При использовании с определенными контроллерами INFICON для нанесения тонких пленок датчик обеспечивает обратную связь по положению, поэтому различные кристаллы можно использовать с конкретными материалами.
Особенности
- Вмещает 6 кристаллов с надежным автоматическим переключением для максимального увеличения времени безотказной работы;
- Стабильная температура кристалла, поскольку переключение кристаллов осуществляется с помощью пневматического привода (в устройствах конкурентов используются двигатели, вырабатывающие тепло);
- Трубки 1/8 дюйма сохраняют термическую стабильность и позволяют легко размещать датчик;
- Опционально: дополнительная заслонка кристалла.
Характеристики
|
Тип |
Датчик Crystal Six |
|---|---|
|
Артикул |
750-446-G1 (только датчик без вакуумного ввода) |
|
Максимальная температура прогрева без воды |
130°C |
|
Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды |
400° C |
|
Длина трубок для воды, воздуха и коаксиального кабеля |
Стандартно: 30 дюймов (76 см) |
|
Способ замены кристаллов |
Загрузка спереди, требуется инструмент для извлечения (входит в комплект) |
|
Монтаж |
Шесть резьбовых отверстий #4-40 на задней стороне корпуса датчика. |
|
Размер (максимальные габариты) |
3.8 дюйм. (9.7 см) DIA x 2.0 дюйм. (5.1 см) высота |
|
Требования к установке |
|
|
Ввод |
Кол-во (1) 2¾ дюйма ConFlat с одним коаксиальным вводом, двумя вводами воды, одним воздушным вводом IPN 750-685-G1,или, Кол-во (1) 750-685-G2, с одним коаксиальным вводом, три трубки с компрессионными фитингами Ultra-Torr или, Кол-во (1) болт 1 дюйм с одним коаксиальным вводом, два ввода воды, один воздух IPN 750-030-G1 |
|
Прочее |
Заказчик должен обеспечить герметичные паяные соединения или разъемы под водяные и воздушные трубки. Воздушный клапан в сборе, IPN 750-420-G1 (не входит в комплект), с ограничивающей диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливается пользователем. (Диафрагма входит в комплект аксессуаров CrystalSix.) |
|
Средства обеспечения |
|
|
Минимальный поток воды |
150-200 см3/мин, 30 °C макс. (Не допускать замерзания воды). Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. |
|
Регулируемая подача воздуха |
80–90 PSIG (5,5–6,2 бар) [550 кПа - 620 кПа]. Максимальная длина трубопровода 1/8 дюйма между головкой датчика и электромагнитным клапаном составляет 2 метра. |
|
Материалы |
|
|
Пластина, держатели, защита, механические детали |
Нержавеющая сталь 304 |
|
Пружины, электрические контакты |
Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием, Инконель с золотым покрытием , нержавеющая сталь 303 |
|
Водяные и воздушные трубки |
Нержавеющая сталь 304, 0.125 дюйм. (0.32 см) O.D. x 0.016 дюйм. (0.04 см) - толщина стенки. Длина: 30 дюйм. (76 см) бесшовные трубы из нержавеющей стали |
|
Разъем (Microdot) |
Нержавеющая сталь |
|
Изоляторы |
>99% Al2O3 |
|
Кабели |
Медь с тефлоновой изоляцией |
|
Кристалл |
Диаметр 0.550 дюйм. |
|
Корпус и карусель |
2024 T351 Алюминий |
Запасные части
|
Артикул |
Описание |
|---|---|
|
007-007 |
Пружина стопорная (для держателя кристаллов) |
|
007-023 |
Керамический фиксатор |
|
070-0170 |
#2 шайба Гровера (часть теплозащитного экрана) |
|
070-0398 |
Стопорное кольцо (крепит подшипник, расположенный рядом с собачкой и штоком привода) |
|
070-0777 |
Пружина сжатия (на валу карусели) |
|
070-0778 |
Шариковый подшипник (под каруселью) |
|
070-0779 |
Подшипник |
|
070-0870 |
Шайба тефлоновая (на валу карусели) |
|
070-0877 |
Прокладка шайбы (часть теплозащитного экрана) |
|
070-0879 |
Подшипник (в центре сварного узла верхней пластины) |
|
073-114 |
Провод 0,022 дюйма x 1,06 дюйма (крепится к стопорному штифту теплозащитного экрана) |
|
082-026 |
# 2-56 Гайка (деталь теплозащитного экрана) |
|
750-048-P1 |
Стопорная пружина для корпусов распылительных головок 007-048 и 751-619-G1 |
|
750-175-P1 |
Изолятор (под листовой рессорой) |
|
750-188-P3 |
Листовая рессора |
|
750-249-P2 |
Стопорный штифт (часть теплозащитного экрана) |
|
750-250-G1 |
Защитный экран от осаждения, CrystalSix Датчик |
|
750-256-P2 |
Пружина на растяжение |
|
750-257-P3 |
Гофрированная пружина 4.40 дюйма (11.2 см) |
|
750-261-G1 |
Карусель в сборе (включая резистивная цепь и электрические контакты) |
|
750-262-G1 |
Держатель кристалла |
|
750-265-G1 |
Сварной узел верхней пластины |
|
750-276-P2 |
Крышка привода |
|
750-278-P2 |
Линия охлаждения |
|
750-286-P2 |
Пневматический привод |
|
750-290-P3 |
Электрические контакты карусели (набор из восьми) |
|
750-291-P1 |
Фиксатор |
|
750-293-P2 |
Трещотка |
|
750-294-P2 |
Стопор трещотки |
|
750-295-G1 |
Собачка и привод |
|
750-336-G1 |
Резистивная цепь в сборе |
|
750-338-P1 |
Изолятор контактов (под электрическими контактами карусели) |
|
Вакуумные кабели |
|
|
321-039-G12 |
Вакуумный кабель, 15.2 см (6 дюйм.) |
|
007-252 |
Вакуумный кабель, 30.5 см (12 дюйм.) |
|
321-039-G11 |
Вакуумный кабель, 61.0 см (24 дюйм.) |
|
007-044 |
Вакуумный кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.) |
|
007-059 |
Вакуумный кабель, 91.4 см (36 дюйм.) |
|
007-061 |
Вакуумный кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
321-039-G13 |
Вакуумный кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
321-039-G14 |
Вакуумный кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
321-039-G15 |
Вакуумный кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU |
|
321-039-G16 |
Вакуумный кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU |