Успеть или "как получится"?

Оборудование

Датчик INFICON Crystal Six

Получить
Картинка Crystal Six

Crystal Six

Датчик INFICON Crystal Six имеет 6 кварцевых кристаллов, что увеличивает время работы и позволяет контролировать длительные процессы, будь то создание OLED экранов, молекулярно-пучковая эпитаксия, нанесение толстых оптических покрытий или другие длительные процессы.

При использовании с контроллером тонких пленок, INFICON CrystalSix автоматически поворачивает новый кристалл в рабочее положение, когда текущий кристалл выходит из строя или становится непригодным. Кристаллы автоматически заменяются без прерывания процесса для непрерывного наблюдения скорости осаждения.

Смена кристалла осуществляется с помощью пневматического привода. Мотор с пневматическим приводом обеспечивает лучшую термическую стабильность кристаллов, чем аналогичные приводы, использующие электродвигатели, генерирующие тепло. Трубки водяного охлаждения диаметром 1/8 дюйма обеспечивают термическую стойкость сенсорной головки.

При использовании с определенными контроллерами INFICON для нанесения тонких пленок датчик обеспечивает обратную связь по положению, поэтому различные кристаллы можно использовать с конкретными материалами.

 

Особенности

  • Вмещает 6 кристаллов с надежным автоматическим переключением для максимального увеличения времени безотказной работы;
  • Стабильная температура кристалла, поскольку переключение кристаллов осуществляется с помощью пневматического привода (в устройствах конкурентов используются двигатели, вырабатывающие тепло);
  • Трубки 1/8 дюйма сохраняют термическую стабильность и позволяют легко размещать датчик;
  • Опционально: дополнительная заслонка кристалла.

Характеристики

Тип

Датчик Crystal Six

Артикул

750-446-G1 (только датчик без вакуумного ввода)

Максимальная температура прогрева без воды

130°C

Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды

400° C

Длина трубок для воды, воздуха и коаксиального кабеля

Стандартно: 30 дюймов (76 см)

Способ замены кристаллов

Загрузка спереди, требуется инструмент для извлечения (входит в комплект)

Монтаж

Шесть резьбовых отверстий #4-40 на задней стороне корпуса датчика.

Размер (максимальные габариты)

3.8 дюйм. (9.7 см) DIA x 2.0 дюйм. (5.1 см) высота

Требования к установке

Ввод

Кол-во (1) 2¾ дюйма ConFlat с одним коаксиальным вводом, двумя вводами воды, одним воздушным вводом IPN 750-685-G1,или, Кол-во (1) 750-685-G2, с одним коаксиальным вводом, три трубки с компрессионными фитингами Ultra-Torr

или,

Кол-во (1) болт 1 дюйм с одним коаксиальным вводом, два ввода воды, один воздух IPN 750-030-G1

Прочее

Заказчик должен обеспечить герметичные паяные соединения или разъемы под водяные и воздушные трубки.

Воздушный клапан в сборе, IPN 750-420-G1 (не входит в комплект), с ограничивающей диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливается пользователем. (Диафрагма входит в комплект аксессуаров CrystalSix.)

Средства обеспечения

Минимальный поток воды

150-200 см3/мин, 30 °C макс. (Не допускать замерзания воды).

Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением.

Регулируемая подача воздуха

80–90 PSIG (5,5–6,2 бар) [550 кПа - 620 кПа]. Максимальная длина трубопровода 1/8 дюйма между головкой датчика и электромагнитным клапаном составляет 2 метра.

Материалы

Пластина, держатели, защита, механические детали

Нержавеющая сталь 304

Пружины, электрические контакты

Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием, Инконель с золотым покрытием , нержавеющая сталь 303

Водяные и воздушные трубки

Нержавеющая сталь 304, 0.125 дюйм. (0.32 см) O.D. x 0.016 дюйм. (0.04 см) - толщина стенки. Длина: 30 дюйм. (76 см) бесшовные трубы из нержавеющей стали

Разъем (Microdot)

Нержавеющая сталь

Изоляторы

>99% Al2O3

Кабели

Медь с тефлоновой изоляцией

Кристалл

Диаметр 0.550 дюйм.

Корпус и карусель

2024 T351 Алюминий

Запасные части

Артикул

Описание

007-007

Пружина стопорная (для держателя кристаллов)

007-023

Керамический фиксатор

070-0170

#2 шайба Гровера (часть теплозащитного экрана)

070-0398

Стопорное кольцо (крепит подшипник, расположенный рядом с собачкой и штоком привода)

070-0777

Пружина сжатия (на валу карусели)

070-0778

Шариковый подшипник (под каруселью)

070-0779

Подшипник

070-0870

Шайба тефлоновая (на валу карусели)

070-0877

Прокладка шайбы (часть теплозащитного экрана)

070-0879

Подшипник (в центре сварного узла верхней пластины)

073-114

Провод 0,022 дюйма x 1,06 дюйма (крепится к стопорному штифту теплозащитного экрана)

082-026

# 2-56 Гайка (деталь теплозащитного экрана)

750-048-P1

Стопорная пружина для корпусов распылительных головок 007-048 и 751-619-G1

750-175-P1

Изолятор (под листовой рессорой)

750-188-P3

Листовая рессора

750-249-P2

Стопорный штифт (часть теплозащитного экрана)

750-250-G1

Защитный экран от осаждения, CrystalSix Датчик

750-256-P2

Пружина на растяжение

750-257-P3

Гофрированная пружина 4.40 дюйма (11.2 см)

750-261-G1

Карусель в сборе (включая резистивная цепь и электрические контакты)

750-262-G1

Держатель кристалла

750-265-G1

Сварной узел верхней пластины

750-276-P2

Крышка привода

750-278-P2

Линия охлаждения

750-286-P2

Пневматический привод

750-290-P3

Электрические контакты карусели (набор из восьми)

750-291-P1

Фиксатор

750-293-P2

Трещотка

750-294-P2

Стопор трещотки

750-295-G1

Собачка и привод

750-336-G1

Резистивная цепь в сборе

750-338-P1

Изолятор контактов (под электрическими контактами карусели)

Вакуумные кабели

 

321-039-G12

Вакуумный кабель, 15.2 см (6 дюйм.)

007-252

Вакуумный кабель, 30.5 см (12 дюйм.)

321-039-G11

Вакуумный кабель, 61.0 см (24 дюйм.)

007-044

Вакуумный кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.)

007-059

Вакуумный кабель, 91.4 см (36 дюйм.)

007-061

Вакуумный кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G13

Вакуумный кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G14

Вакуумный кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G15

Вакуумный кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU

321-039-G16

Вакуумный кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU

WhatsApp