Датчик распыления INFICON специально разработан для использования в любых процессах распыления. Корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиевой меди с золотым покрытием для максимальной эффективности охлаждения. Магнит, встроенный в головку датчика, снижает чрезмерный нагрев от энергичных свободных электронов, отклоняя их внешним магнитным полем. Конструкция держателя кристалла с загрузкой сзади позволяет легко заменять кристалл без необходимости извлечения сенсорной головки из системы.
Особенности
- Позолоченные корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиевой меди для максимальной эффективности охлаждения
- Магнит для отклонения свободных электронов от кристалла
- Простая установка с помощью гибких водяных трубок
- Кристалл вставляется сзади, что обеспечивает легкую замену
Характеристики
|
Тип |
Датчик распыления |
|---|---|
|
Артикул |
750-618-G1 |
|
Максимальная температура прогрева без воды |
105°C |
|
Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды |
400° C |
|
Размер (максимальные габариты) |
1.36 дюйм. OD x 0.69 дюйм. высота (3.45 см x 1.75 см) |
|
Длина трубок воды, воздуха и коаксиального кабеля |
Стандартно: 30 дюймов (76.2 см) |
|
Замена кристаллов |
Загрузка сзади |
|
Требования к установке |
|
|
Ввод |
2 ввода воды с коаксиальным разъемом 2¾ дюйм. ConFlat® Фланец – IPN 002-043 Болт 1 дюйм – IPN 002-042 |
|
Дополнительно |
1) Заказчик должен обеспечить герметичные паяные соединения или разъемы под водяные трубки. 2) XIU или осциллятор, предназначенный для взаимодействия с конкретным контроллером осаждения. |
|
Расход воды |
Минимальный расход воды 750 см3/мин, макс 30 °C (Не допускать замерзания). Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. В случае, если трубка проходит через криогенный кран и поток воды остановлен, необходимо слить воду из трубок. |
|
Материалы |
|
|
Корпус и держатель |
Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием |
|
Пружины, электрические контакты |
Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием |
|
Трубки охлаждения |
Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием, 0.125 дюйм. (0.32 см) - внешний диаметр |
|
Разъем |
Нержавеющая сталь 304 |
|
Изоляторы |
99% Al2O3 |
|
Кабели |
Медь с тефлоновой изоляцией |
|
Припой |
Сплавы серебра и индия (без кадмия) |
|
Кристалл |
0.550 дюйм. (1.4 см) Диаметр |
|
Магнит |
Сплав ALNICO 5 |
|
Опционально: заслонка в сборе 750-005-G1 Характеристики: |
|
|
Рабочая температура |
130° C |
|
1-дюймовый болт и фитинг Ultra-Torr (компрессионный фитинг): |
|
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий, VITON® |
|
Температура |
Условия эксплуатации: до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без |
|
Монтаж |
Отверстие диаметром 1,015 ± 0,010 дюйма |
|
Сварной фланец CF 40: |
|
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий |
|
Температура |
Условия эксплуатации до 450 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без |
|
Монтаж |
Сопрягается с фланцами ConFlat 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма. |
Аксессуары
|
Наименование |
Описание |
|---|---|
|
Вакуумный ввод для датчиков QCM |
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
750-005-G1 |
Пневматическая заслонка для датчика распыления (только заслонка в сборе, датчик в комплект не входит) |
|
750-420-G1 |
Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонками и многокристальными датчиками) |
Запасные части
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
007-023 |
Керамический фиксатор |
|
007-049 |
Держатель кристалла, датчик распыления |
|
007-007 |
Пружина стопорная (для держателя кристаллов) |
|
007-047 |
Крышка распылительной головки с водяными трубками |
|
007-009 |
Магнит для крышки распылительной головки |
|
070-0440 |
Стопорное кольцо (установлено на валу заслонки в сборе) |
|
070-0442 |
Стопорное кольцо (установлено на валу заслонки в сборе) |
|
070-0441 |
Рокладка (установлена на валу заслонки в сборе) |
|
082-044 |
Тефлоновый крепеж (для листовой пружины) |
|
082-029-P1 |
2-56 x 1/8 дюйм. установочный винт корпуса распылительной головки 750-619-G1 |
|
750-009-P2 |
Поворотная крышка (устанавливается на вал заслонки в сборе) |
|
750-046-G2 |
Заслонка в сборе для сборки пневматической заслонки |
|
750-048-P1 |
Стопорная пружина для корпусов распылительных головок 007-048 и 751-619-G1 |
|
750-115-P4 |
Муфта (устанавливается на сильфон) |
|
750-169-P4 |
Сильфон в сборе для пневматической заслонки |
|
750-174-P2 |
Коаксиальный кабель (мама) |
|
750-175-P1 |
Изолятор (под листовую пружину) |
|
750-188-P3 |
Листовая пружина |
|
008-007 |
ДЕРЖАТЕЛЬ КРИСТАЛЛА |
|
750-619-G1 |
Корпус распылительной головки с коаксиальным разъемом |
|
750-626-P1 |
Пружина для крышки распылительной головки |
|
Вакуумные кабели |
|
|
321-039-G12 |
Вакуумный кабель, 15.2 см (6 дюйм.) |
|
007-252 |
Вакуумный кабель, 30.5 см (12 дюйм.) |
|
321-039-G11 |
Вакуумный кабель, 61.0 см (24 дюйм.) |
|
007-044 |
Вакуумный кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.) |
|
007-059 |
Вакуумный кабель, 91.4 см (36 дюйм.) |
|
007-061 |
Вакуумный кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
321-039-G13 |
Вакуумный кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
321-039-G14 |
Вакуумный кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock |
|
321-039-G15 |
Вакуумный кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU |
|
321-039-G16 |
Вакуумный кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU |