Оборудование
Получить
Картинка Датчик распыления

Датчик распыления INFICON

Датчик распыления INFICON специально разработан для использования в любых процессах распыления. Корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиевой меди с золотым покрытием для максимальной эффективности охлаждения. Магнит, встроенный в головку датчика, снижает чрезмерный нагрев от энергичных свободных электронов, отклоняя их внешним магнитным полем. Конструкция держателя кристалла с загрузкой сзади позволяет легко заменять кристалл без необходимости извлечения сенсорной головки из системы.

Особенности

  • Позолоченные корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиевой меди для максимальной эффективности охлаждения
  • Магнит для отклонения свободных электронов от кристалла
  • Простая установка с помощью гибких водяных трубок
  • Кристалл вставляется сзади, что обеспечивает легкую замену

Характеристики

Тип

Датчик распыления

Артикул

750-618-G1

Максимальная температура прогрева без воды

105°C

Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды

400° C

Размер (максимальные габариты)

1.36 дюйм. OD x 0.69 дюйм. высота (3.45 см x 1.75 см)

Длина трубок воды, воздуха и коаксиального кабеля

Стандартно: 30 дюймов (76.2 см)

Замена кристаллов

Загрузка сзади

Требования к установке

Ввод

2 ввода воды с коаксиальным разъемом

2¾ дюйм. ConFlat® Фланец – IPN 002-043

Болт 1 дюйм – IPN 002-042

Дополнительно

1) Заказчик должен обеспечить герметичные паяные соединения или разъемы под водяные трубки.

2) XIU или осциллятор, предназначенный для взаимодействия с конкретным контроллером осаждения.

Расход воды

Минимальный расход воды 750 см3/мин, макс 30 °C (Не допускать замерзания). Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. В случае, если трубка проходит через криогенный кран и поток воды остановлен, необходимо слить воду из трубок.

Материалы

Корпус и держатель

Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием

Пружины, электрические контакты

Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием

Трубки охлаждения

Бериллиево-медный сплав с золотым покрытием, 0.125 дюйм. (0.32 см) - внешний диаметр

Разъем

Нержавеющая сталь 304

Изоляторы

99% Al2O3

Кабели

Медь с тефлоновой изоляцией

Припой

Сплавы серебра и индия (без кадмия)

Кристалл

0.550 дюйм. (1.4 см) Диаметр

Магнит

Сплав ALNICO 5

Опционально: заслонка в сборе 750-005-G1 Характеристики:

Рабочая температура

130° C

1-дюймовый болт и фитинг Ultra-Torr (компрессионный фитинг):

Материалы

Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий, VITON®

Температура

Условия эксплуатации: до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без

Монтаж

Отверстие диаметром 1,015 ± 0,010 дюйма

Сварной фланец CF 40:

Материалы

Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий

Температура

Условия эксплуатации до 450 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без

Монтаж

Сопрягается с фланцами ConFlat 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма.

Аксессуары

Наименование

Описание

Вакуумный ввод для датчиков QCM

Вакуумный ввод для датчиков QCM

 

Каталожный номер

Описание

750-005-G1

Пневматическая заслонка для датчика распыления (только заслонка в сборе, датчик в комплект не входит)

750-420-G1

Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонками и многокристальными датчиками)

Запасные части

Каталожный номер

Описание

007-023

Керамический фиксатор

007-049

Держатель кристалла, датчик распыления

007-007

Пружина стопорная (для держателя кристаллов)

007-047

Крышка распылительной головки с водяными трубками

007-009

Магнит для крышки распылительной головки

070-0440

Стопорное кольцо (установлено на валу заслонки в сборе)

070-0442

Стопорное кольцо (установлено на валу заслонки в сборе)

070-0441

Рокладка (установлена на валу заслонки в сборе)

082-044

Тефлоновый крепеж (для листовой пружины)

082-029-P1

2-56 x 1/8 дюйм. установочный винт корпуса распылительной головки 750-619-G1

750-009-P2

Поворотная крышка (устанавливается на вал заслонки в сборе)

750-046-G2

Заслонка в сборе для сборки пневматической заслонки

750-048-P1

Стопорная пружина для корпусов распылительных головок 007-048 и 751-619-G1

750-115-P4

Муфта (устанавливается на сильфон)

750-169-P4

Сильфон в сборе для пневматической заслонки

750-174-P2

Коаксиальный кабель (мама)

750-175-P1

Изолятор (под листовую пружину)

750-188-P3

Листовая пружина

008-007

ДЕРЖАТЕЛЬ КРИСТАЛЛА

750-619-G1

Корпус распылительной головки с коаксиальным разъемом

750-626-P1

Пружина для крышки распылительной головки

Вакуумные кабели

 

321-039-G12

Вакуумный кабель, 15.2 см (6 дюйм.)

007-252

Вакуумный кабель, 30.5 см (12 дюйм.)

321-039-G11

Вакуумный кабель, 61.0 см (24 дюйм.)

007-044

Вакуумный кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.)

007-059

Вакуумный кабель, 91.4 см (36 дюйм.)

007-061

Вакуумный кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G13

Вакуумный кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G14

Вакуумный кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock

321-039-G15

Вакуумный кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU

321-039-G16

Вакуумный кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU

 

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp