Успеть или "как получится"?

Оборудование

Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии IC6

Получить
Картинка IC6



Многофункциональный контроллер IC6 обеспечивает наивысшую возможную точность измерений

Контроллер осаждения тонких пленок IC6 обеспечивает исключительные характеристики, сочетая проверенные технологии контроллеров тонких пленок INFICON с уникальными функциями, разработанными для того, чтобы вы могли добиться максимальной эффективности процесса нанесения тонких пленок. IC6 использует нашу систему измерения частоты ModeLock для обеспечения стабильности измерения скорости и толщины с лучшим разрешением в отрасли: 0,00433 Å/с, каждые 1/10 секунды. Ни один другой контроллер на кварцевом кристалле не обладает такими характеристиками, качеством и функциями, как IC6, что позволяет добиться повторяемости результатов.

IC6

Особенности

  • Технология INFICON ModeLock обеспечивает наиболее стабильные измерения с высочайшим разрешением потолщиной даже при очень низких скоростях
  • Система Auto Z улучшает точность измерения толщины за счет автоматического определения Z-коэффициента по мере нанесения материала
  • Совместное осаждение до шести источников одновременно
  • Цветной ЖК-дисплей позволяет легко рассмотреть, что происходит в вашем процессе
  • Погрешность +/- 0,0035 Гц за 100 мс выборки
  • USB-накопитель для снимков экрана, хранения рецептов и регистрации данных
  • Мощный ввод-вывод с возможностью интеграции в простые или сложные системы (с использованием расширяемых входов (28) и выходов (24 реле, 14 TTL-выходов) и использования логических функций (100 логических операторов)
  • 6 стандартных выходов ЦАП, 6 дополнительных опций для контроля источника, скорости или толщины
  • Может обрабатывать до 50 процессов по 200 слоев в каждом, а процессы могут быть связаны друг с другом максимум до 10 000 слоев
  • Усреднение по нескольким датчикам (до 8 датчиков)
  • Опционально: кабель XIU, длиной 4 метра, позволяет использовать длинные кабели датчиков в вакууме для больших систем.
  • Опционально: протокол связи Ethernet
  • Опционально: программное обеспечение редактора конфигурации IC6 (каталожный номер 781-620-G1) - программное обеспечение для Windows® на основе LabVIEW®, которое позволяет автономно создавать и редактировать файлы конфигурации IC6 и конвертировать файлы конфигурации IC / 5 в формат IC6.
  • Соответствие RoHS

Области применения

  • Высококачественные оптические покрытия

Характеристики

Тип

IC6

Характеристики измерений

Разрешение по частоте

±0.0035 Гц @ 6 MГц

Разрешение / измерение толщины и скорости

±0.00433 Å

Диапазон частот измерения

6.0 до 4.5 MГц (фиксированно)

Точность измерения толщины (2)

0.5%

Интервал измерения

0.10 с

Усреднение по нескольким измерениям

Разрешенные усреднения: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, и 30.0 сек

Особые функции

Auto Z

да

Autotone

да

Совместное осаждение

да (до 6 источников)

Рецепт процесса & управление данными

Материальные программы

32

Количество слоев (на 1 процесс)

200

Процессы

50 (процессы могут быть связаны вместе)

USB-память

да

Запись данных

да

Аппаратные возможности

Одиночный датчик

8

Двойной датчик

4 / 8 ( с реле CrystalTwo®)

CrystalSix

8

Crystal 12

8

Универсальный

8

Количество источников

до 6

Контроль напряжения источников

0 +/-10 В, регулируемый

Выходное разрешение

15 бит во всем диапазоне (от 0 до 10 В)

Позиции тиглей

64

Входы

14 стандартных, до 28 дополнительных; Совместимость логики TTL / CMOS или замыкание на землю

Выходы

8 стандартных, до 24 дополнительных программируемых реле SPST, рассчитанных на 30 В (DC) или 30 В (AC) среднеквадратичное значение или 42 В пиковое при 2,5 А; 14 дополнительных выходов TTL

Выход на регистрируещее устройство (4)

от 0 до +10 В, регулируемый

Логические утверждения

100 полностью программируемых; до 5 действий, 5 событий на утверждение

Стандарт передачи

RS232

Опционально

Ethernet

Дисплей

Разрешение по толщине

1 Å от 0 до 9.999 kÅ

10 Å от 10.00 до 99.99 kÅ

100 Å от 100.0 до 999.9 kÅ

1 kÅ от 1000 до 9999 kÅ

Разрешение по скорости нанесения

0.001 от 0 до 9.999 Å/с если время рейт-фильтра установлено 10 секунд или больше

0.01 от 0 до 99.99 Å/с

0.1 от 100 до 999.9 Å/с

Эксплуатация

Требования к питанию

100 – 230 В (ac) +/- 15%

50 / 60 Гц +/- 3 Гц

Температура эксплуатации

0 до 50°C (32 до 122°F)

Габаритные размеры без учета креплений (Ш x В x Д)

5.25” x 19” x 13” (133 мм x 483 мм x 330 мм)

Масса

23 фунта (10.5 кг)

Артикул

Артикул

Аксессуары

Название

Описание

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной сенсор Easy Rate

Двойной сенсор Easy Rate

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

ALD (АСО) Сенсор

ALD (АСО) Сенсор

Датчик распыления

Датчик распыления

Датчик Crystal Six

Датчик Crystal Six

Одиночный сенсор Easy Rate

Одиночный сенсор Easy Rate

Датчик Crystal 12

Датчик Crystal 12

Поворотный датчик RSH-600

Поворотный датчик RSH-600

 

Каталожный номер

Описание

755-262-G1

Портативный контроллер мощности (для ручного контроля мощности)

779-220-G1

Коммутатор CrystalTwo®, 15.2 см (6 дюйм.) BNC Кабели

779-220-G2

Коммутатор CrystalTwo®, 50.8 см (20 дюйм.) BNC Кабели

Комплект осцилляторов

(Включая осцилятор и кабели)

781-611-G15

XIU PKG с кабелем 4,6 м (15 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3

781-611-G30

XIU PKG с кабелем 9,1 м (30 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3

781-611-G50

XIU PKG с кабелем длиной 15,2 м (50 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3

781-611-G100

XIU PKG с кабелем 30,5 м (100 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3

781-612-G15

4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

781-612-G30

4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

781-612-G50

4м XIU PKG с кабелем XIU 15,2 м (50 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

781-612-G100

4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и кабель BNC (от XIU к коммутатору) 6 дюймов - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

781-613-G15

4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

781-613-G30

4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

781-613-G50

4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15,2 м (50 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

781-613-G100

4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

Только осциллятор

(Кабели в комплект не входят)

781-600-G1

XIU (осциллятор) - Для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 15 до 183 см (от 6 до 72 дюймов) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

781-600-G2

XIU (осциллятор) - для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 3 до 4 м (от 118 до 157 дюймов) - для использования с Cygnus 2 или IC6

Кабели

 

600-1261-P100

Кабель 30,5 (100 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

600-1261-P15

Кабель 4,6 м (15 футов), контроллер Cgynus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

600-1261-P30

Кабель 9,1 м (30 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

600-1261-P50

Кабель длиной 15,2 м (50 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

755-257-G6

Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), XIU для вакуумного ввода

ПО редактора конфигурации

 

781-620-G1

ПО IC6 - программное обеспечение Windows® на базе LabVIEW®, которое позволяет автономно создавать и редактировать файлы конфигурации IC6 и конвертирует файлы конфигурации IC/5 в формат IC6.

WhatsApp