Оборудование

Монитор осаждения тонких пленок INFICON серии IMM-100

Картинка IMM-100

ПРЕВОСХОДНАЯ ПОВТОРЯЕМОСТЬ

Защитите и увеличьте свою прибыль с помощью точного мониторинга скорости и толщины

IMM-100 - это монитор осаждения, созданный с использованием технологии ModeLock, которая обеспечивает максимальную воспроизводимость и однородность измерений с высочайшей точностью, лучшим разрешением и низким уровнем шума.

Благодаря встроенному осциллятору IMM-100 может быть легко интегрирован в систему EtherCAT с минимальными затратами на оборудование и площадь. Этот мощный и точный измерительный монитор обязательно выведет ваш производственный процесс на новый уровень.

Особенности

  • Технология INFICON ModeLock обеспечивает длительный срок службы кристалла и наиболее стабильную, высокую разрешающую способность измерение толщины даже при очень низких скоростях процесса
  • Максимальная эффективность за счет наилучшего возможного измерения толщины QCM
  • Погрешность ± 0,0035 Гц за 100 мс выборки
  • Обмен данными через EtherCAT для бесшовной интеграции в систему;
  • Компактный размер;
  • Экспертная поддержка, возможность обсудить уникальные потребности
  • Соответствие RoHS.

Области применения

  • OLED-процесс

Характеристики

Тип

IMM-100

Артикул

785-600-G1

Измерение

 

Количество входов для датчиков

1

Диапазон частот измерения

6.0 до 4.5 Мгц (фиксированно)

Относительная частотная стабильность

±2 ppm при 0-50°C

Разрешение по частоте

±0.0035 Гц на 6 МГц

Разрешение по скорости и толщине

0.0042 Å (новый кристалл); 0.0076 Å (кристалл @ 4.5 МГц) выборка более 100 мс для плотности материала = 1.0, Z-соотношение = 1.0

Интервал измерения

100 мс

Метод измерения

ModeLock

Работа и размеры

Входное напряжение

24 В (DC)

Рабочая Температура

0 до 50°C (32 до 122°F)

Размеры

222.6 мм (8.76 дюйм.) x 106.1 мм (4.18 дюйм.) x 35.3 мм (1.39 дюйм.)

Масса

0.48 кг (1.05 фунт.)

Тип связи

EtherCAT, 2 разъема RJ45, поддерживает шлейфовый обмен данными. Явный идентификатор устройства через коммутатор

 

Аксессуары

Каталожный номер

Описание

Дополнительные блоки питания

Перечисленные ниже источники питания рассчитаны на входное напряжение от 100 до 249 В (ac), 2 А, от 50 до 60 Гц и выходное напряжение 24 В (dc), 3,34 А, 80 Вт макс.

961-021-G1

Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м)

961-021-G2

Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 15 футов (4,5 м)

961-021-G3

Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 30 футов (9 м)

961-021-G4

Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м)

961-021-G5

Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 15 футов (4,5 м)

961-021-G6

Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 30 футов (9 м)

961-021-G7

Комплект блока питания IL 240 В

961-021-G8

Комплект источника питания IL 4.5 м (удлиненный)

961-021-G9

Комплект источника питания IL 9.0 м (удлиненный)

961-021-G10

Комплект блока питания UK 240 В

961-021-G11

Комплект блока питания UK 4.5 м (удлиненный)

961-021-G12

Комплект блока питания UK 9.0 м (удлиненный)

Опциональные монтажные кронштейны

 

785-202-G1

Монтажный кронштейн с четырьмя амортизирующими ножками, мама-мама, из нержавеющей стали для чистых помещений

785-201-G1

Монтажный кронштейн с четырьмя амортизирующими элементами, папа-мама, черные монтажные ножки из неопрена

Опциональные кабель связи

 

600-1190-P1

Кабель Ethernet 1 м

600-1190-P2

Кабель Ethernet 3 м

600-1190-P4

Кабель Ethernet 4.3 м

600-1190-P8

Кабель Ethernet 7 м

600-1190-P15

Кабель Ethernet 15 м

 

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время клиентов!
Введите символы с картинки*
WhatsApp