ПРЕВОСХОДНАЯ ПОВТОРЯЕМОСТЬ
Защитите и увеличьте свою прибыль с помощью точного мониторинга скорости и толщины
IMM-200 - это монитор осаждения, созданный с использованием технологии ModeLock, которая обеспечивает максимальную воспроизводимость и однородность с высочайшей точностью толщины, лучшим разрешением измерения и низким уровнем шума.
Благодаря встроенному осциллятору IMM-200 может быть легко интегрирован в систему Ethernet с минимальными затратами на оборудование и площадь. Этот мощный и точный измерительный монитор обязательно выведет ваш производственный процесс на новый уровень.
Особенности
- Технология INFICON ModeLock обеспечивает длительный срок службы кристалла и наиболее стабильную, высокую разрешающую способность измерение толщины даже при очень низких скоростях процесса
- Максимальная эффективность за счет наилучшего возможного измерения толщины QCM
- Погрешность ± 0,0035 Гц за 100 мс выборки
- Обмен данными через EtherCAT для бесшовной интеграции в систему;
- Компактный размер;
- Экспертная поддержка, возможность обсудить уникальные потребности
- Соответствие RoHS.
Области применения
- Производство полупроводников;
- OLED-процесс
Характеристики
|
Тип |
IMM-200 |
|---|---|
|
Артикул |
785-602-G1 |
|
Измерение |
|
|
Количество входов для датчиков |
1 |
|
Диапазон частот измерения |
6.0 до 4.5 Мц (фиксированно) |
|
Относительная частотная стабильность |
±2 ppm при 0-50°C |
|
Разрешение по частоте |
±0.0035 Гц на 6 МГц |
|
Разрешение по скорости и толщине |
0.0042 Å (новый кристалл); 0.0076 Å (кристалл @ 4.5 МГц) выборка более 100 мс для плотности материала = 1.0, Z-соотношение = 1.0 |
|
Интервал измерения |
100 мс |
|
Метод измерения |
ModeLock |
|
Работа и размеры |
|
|
Входное напряжение |
24 В (DC) |
|
Рабочая Температура |
0 до 50°C (32 до 122°F) |
|
Размеры |
222.6 мм (8.76 дюйм.) x 106.1 мм (4.18 дюйм.) x 35.3 мм (1.39 дюйм.) |
|
Масса |
0.48 кг (1.05 фунт.) |
|
Тип связи |
Ethernet, 1 разъем RJ45 |
Аксессуары
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
Дополнительные блоки питания |
Перечисленные ниже источники питания рассчитаны на входное напряжение от 100 до 249 В (ac), 2 А, от 50 до 60 Гц и выходное напряжение 24 В (dc), 3,34 А, 80 Вт макс. |
|
961-021-G1 |
Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м) |
|
961-021-G2 |
Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 15 футов (4,5 м) |
|
961-021-G3 |
Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 30 футов (9 м) |
|
961-021-G4 |
Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м) |
|
961-021-G5 |
Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 15 футов (4,5 м) |
|
961-021-G6 |
Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 30 футов (9 м) |
|
961-021-G7 |
Комплект блока питания IL 240 В |
|
961-021-G8 |
Комплект источника питания IL 4.5 м (удлиненный) |
|
961-021-G9 |
Комплект источника питания IL 9.0 м (удлиненный) |
|
961-021-G10 |
Комплект блока питания UK 240 В |
|
961-021-G11 |
Комплект блока питания UK 4.5 м (удлиненный) |
|
961-021-G12 |
Комплект блока питания UK 9.0 м (удлиненный) |
|
Опциональные монтажные кронштейны |
|
|
785-202-G1 |
Монтажный кронштейн с четырьмя амортизирующими ножками, мама-мама, из нержавеющей стали для чистых помещений |
|
785-201-G1 |
Монтажный кронштейн с четырьмя амортизирующими элементами, папа-мама, черные монтажные ножки из неопрена |
|
Опциональные кабель связи |
|
|
600-1190-P1 |
Кабель Ethernet 1 м |
|
600-1190-P2 |
Кабель Ethernet 3 м |
|
600-1190-P4 |
Кабель Ethernet 4.3 м |
|
600-1190-P8 |
Кабель Ethernet 7 м |
|
600-1190-P15 |
Кабель Ethernet 15 м |