Вакуумметры INFICON серии MPG

Модель/Параметры

MPG400 DN 25 ISO-KF

MPG400 DN 40 CF-F

MPG400 DN 40 ISO-KF

MPG401 DN 25 ISO-KF

MPG401 DN 40 CF-F

MPG401 DN 40 ISO-KF

Артикул

351-010

351-012

351-011

351-020

351-022

351-021

Уплотнение

Уплотнение из FPM

Металлическое уплотнение

Диапазон измерений (воздух, N₂), мбар (Торр)

5х10^-9 … 1000 (3.8x10^-9 … 760)

Точность измерений

1х10^-8 … 100 мбар % от показаний ≈±30

Повторяемость измерений

1х10^-8 … 100 мбар % от показаний ≈±5%

Ориентация при монтаже

Любая

Допустимое давление, бар (абс.)

≤10 (ограничивается инертным газом)

Рабочая температура (окр. среды), °C

+5 … +55

Температура хранения, °C

-40 … +65

Макс. температура прогрева, °C

150

Температура катода (Пирани), °C

120

Напряжение питания датчика, В

+15 … +30 постоянного тока

Блок питания с кабелем максимальной длины, В

+16 … +30 постоянного тока

Пульсация, V (p-p)

≤1

Энергопотребление, Вт

≤2

Необходимый предохранитель, AT

≤1

Диапазон напряжения выходного сигнала (сигнала измерений), В

0 … +10.5

Диапазон измерений выходного сигнала (сигнала измерений), В

+1.82 … +8.6

Зависимость напряжение – давление, В на декаду

Логарифмическая функция, 0.6

Сигнал ошибки, В

<0.5 (нет подачи энергии), >9.5 (датчик Пирани, разрушение катода)

Выходное полное сопротивление, Ом

2 x 10

Полное сопротивление нагрузки, кОм

10, защита от короткого замыкания

Время отклика p>10^-6 мбар, мс

<10

Время отклика p=10^-8 мбар, мс

≈1000

Идентификация датчика, кОм

85, по отношению к общему источнику питания

Состояние только Пирани, В

0 (низкое)

Состояние Пирани/холодный катод, В

15 – 30 (высокое)

Светодиодный индикатор

Зеленый - подается высокое напряжение

Электроподключение

Разъем FCC 68 для приборов, 8 контактов, мама

Кабель датчика

8 контактов, экранирование

Длина кабеля, м

≤50 (8х0.14 мм²)

Рабочее напряжение, кВ

≤3.3

Рабочая сила тока, мкА

≤500

Материалы, контактирующие с вакуумом

Нержавеющая сталь, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

Внутренний объем, см³

≈20

Масса c фланцем DN 25 ISO-KF

≈700

≈730

Масса c фланцем DN 40 ISO-KF

≈750

≈750

Масса c фланцем DN 40 CF-F

≈980

≈1010

Фланцы

DN 25 ISO-KF

DN 40 CF-F

DN 40 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 40 CF-F

DN 40 ISO-KF

Степень защиты

IP40

Стандарты соответствия

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

Модель/Параметры

MPG5хх

MAG5хх

Принцип измерения

Пирани и Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)

Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)

Диапазон измерений (воздух, N₂)

1х10^-9 ... 1000 мбар (7.6×10^-10 ... 760 Торр)

1х 10^-9 ... 1х10^-2 мбар

(7.6х10^-10 ... 7.6х10^-3 Торр)

Точность (N₂)

1х10^-8 ... 1x10^-2 мбар % от показаний 30;

1х 10^-2 ... 100 мбар % от показаний 30;

100 ... 1000 мбар % от показаний 50

1х10^-8 ... 1x10^-2 мбар % от показаний 30;

Повторяемость (N₂)

1х10^-8 ...1х10^-2 мбар % от показаний 5;

1х10^-2 ... 100 мбар % от показаний 5

1х10^-8 ...1х10^-2 мбар % от показаний 5;

Ориентация при монтаже

Любая

Допустимое давление, бар (асолютное)

10 (ограничение для инертных газов <55°C)

Рабочая температура (окр. среды), °C

+5 ... +55

Макс. температура прогрева, °C*

≤150

Температура хранения, °C

-40 … +70

Температура катода, °C

120

Относительная влажность 30 дней в году

1х10^-7 … 1х10^-2 мбар % RH ≤95 (без конденсации);

1х10^-8 … 1х10^-2 мбар % RH ≤70 (без конденсации)

Напряжение питания датчика, В**

+14.5 ... +30 постоянного тока

Напряжение питания пульсации, В (p-p)

≤1

Потребляемая мощность, Вт

≤2

Напряжение питания предохранителя, АТ

≤1

Напряжение аналогового выхода, В

0 ... +10.5

Выходное сопротивление, Ом

2х4.7

Импеданс нагрузки, кОм

≥10 (защита от короткого замыкания)

Диапазон измерений 3MAx-xxx-xxxN, В

+1.5 ... +8.5

Диапазон измерений 3MBx-xxx-xxxP, В

+1.398 ... +8.598

Диапазон измерений 3MAx-xxx-xxxQ, В

+0.667 ... +10

Зависимость напряжение – давление 3MAx-xxx-xxxN, В на декаду

1 (логарифмическое)

Зависимость напряжение – давление 3MBx-xxx-xxxP, В на декаду

0.6 (логарифмическое)

Зависимость напряжение – давление 3MAx-xxx-xxxQ, В на декаду

1.33 (логарифмическое)

Время отклика (зависит от давления)

>1x10^-6 мбар 1x10^-6 ... <100 мс;

1x10^-8 мбар ≈1 с

Идентификация датчика, кОм

85

100

Номинальный ток FCC разъем, мА

100

Высокое напряжение FCC разъем ВКЛ, В

+14.5 ... +30 постоянного тока (зависит от напряжения питания)

Высокое напряжение FCC разъем ВЫКЛ, В

0 постоянного тока

Номинальный ток D-sub разъем, мА

100 (коллектор)

Высокое напряжение D-sub разъем ВКЛ, В

0 постоянного тока

Высокое напряжение D-sub разъем ВЫКЛ, В

Открыт

Напряжения питания, В

≤30 постоянного тока

Электрическое подключение 3Мхх-00х-000х

FCC68, 8-пин, мама

Электрическое подключение 3Мхх-00х-010х

D-Sub, 9-пин, папа

Электрическое подключение 3Мхх-0хх-000х

FCC68, 8-пин, мама

Электрическое подключение 3Мхх-0хх-010х

D-Sub, 9-пин, папа

Электрическое подключение 3Мхх-0хх-04хх

D-Sub HD, 15-пин, папа (для версий RS232/485)

Электрическое подключение 3Мхх-ххх-х2Gх

D-Sub HD, 15-пин, папа (для версий EtherCAT)

Кабель для датчика 3Мхх-00х-000х

8-пин, экранированный

Кабель для датчика 3Мхх-0хх-000х

8-пин, экранированный

Кабель для датчика 3Мхх-0хх-010х

9-пин, экранированный

Кабель для датчика 3Мхх-0хх-04хх

15-пин, экранированный (для версий RS232/485 )

Кабель для датчика 3Мхх-ххх-х2Gх

15-пин, экранированный (для версий EtherCAT)

Кабель 50 м

≤50 (8x0.14 мм²)

Кабель 75 м

≤75 (8x0.25 мм²)

Кабель 100 м

≤100 (8x0.34 мм²)

Кабель 300 м

≤300 (8x1.00 мм²)

FCC соединительный кабель, м

≤50 (0.14 мм²/проводник)

Напряжение поджига (в измерительной камере), кВ

≤4.5

Рабочее напряжение (в измерительной камере), Кв

≤3.3

Максимальный ток (в измерительной камере), мкА

≤380

Минимальный ток (в измерительной камере), мКа

≤130

Материал, контактирующий с вакуумом 3Мх0-00х-0х0х

W, Ni сплав, AI2O3, стекло, нерж. сталь

Материал, контактирующий с вакуумом 3Мх3-00х-0х0х

Ni сплав, AI2O3, нерж. сталь

Материал, контактирующий с вакуумом 3Мх0-ххх-0х0х

Ni сплав, Mo, AI2O3, стекло, нерж. сталь

Материал, контактирующий с вакуумом 3Мх3-ххх-хххх

Mo, AI2O3, нерж. сталь

Материал, контактирующий с вакуумом 3Мх0-11х-хххх

Ni сплав, Mo, AI2O3, стекло, Ti, нерж. сталь

Материал, контактирующий с вакуумом 3Мх3-11х-хххх

Mo, AI2O3, Ti, нерж. сталь

Внутренний объем, DN 25 ISO-KF, см³

≈19.9

Внутренний объем, DN 40 ISO-KF, см³

≈20.9

Внутренний объем, DN 40 CF-F, см³

≈25.2

Внутренний объем, DN 40 CF-R, см³

≈25.6

Масса DN 25 ISO-KF, г

<280

Масса DN 40 ISO-KF, г

<320

Масса DN 40 CF-F и CF-R, г

<570

Степень защиты

IP40

Соответствие стандартам CE

EMC: 2014/30/EU (EN 61000-6-2, EN61000-6-3 EN61326-1);

RoHS: 2011/65/EU;

Safety: EN 61010-1

Скорость передачи (RS232C/485C), КБод

9.6 / 19.2 / 38.4 / 57.6

Адрес (RS232C/485C)

2 коммутатора (адрес 00-255)

Цифровые функции

Считывание давления, выбор единиц измерения: торр, мбар, Па, микрон;

Счетчики контролируют состояние датчика, возможность определения поведения в случае ошибки

Разъем для RS232 и RS485

D-sub HD, 15-пин, папа

*- Без электроники
**- Минимальное напряжение блока питания должно быть увеличено пропорционально длине кабеля датчика