Описание
Мембранно-емкостные вакуумметры Пирани серии PCG55x от INFICON сочетают в себе технологию датчика Пирани с преимуществами керамического мембранно-емкостного датчика в одном приборе.
Технология мембранно-емкостного измерения обеспечивает точные и надежные результаты в диапазоне от 10 мбар до атмосферного давления, вне зависимости от типа газа. Серия PCG55x также располагает разнообразными характеристиками, позволяющими получить необходимую конфигурацию оборудования для конкретной производственной задачи.
Особенности
-
Измерения не зависят от типа газа при давлении выше 10 мбар – позволяет безопасно стравливать воздух с любой газовой смесью
-
Высокая точность и воспроизводимость при атмосферном давлении
-
Универсальность ориентации при монтаже
-
Сенсорные блоки для применения в условиях высокой коррозии доступны с вольфрамовой (PCG550), никелевой (PCG552) нитью или с керамическим покрытием (PCG554), что расширяет сферы использования инструмента и перечень газов, допустимых для контакта.
-
Последний протокол EtherCAT Стандарта ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
-
Легко заменяемый сенсорный элемент plug & play с данными калибровки - гарантирует высокую воспроизводимость
-
Выбираемый выходной сигнал для простой интеграции
-
Дополнительно: атмосферные переключатели, дисплей и цифровые интерфейсы
-
Соответствие стандартам: CE, EN, UL, CSA, RoHS
Применение
-
Контроль управления шлюзовыми камерами
-
Контроль форвакуумного давления
-
Контуры безопасности вакуумных систем
-
Измерение и контроль общего вакуума в диапазоне среднего и глубокого вакуума
|
Модель/Параметры |
PCG550 |
PCG552 |
PCG554 |
|
Материал катода |
Вольфрам |
Никель |
Керамическое покрытие |
|
Диапазон измерений, мбар (Торр) |
5х10^-5 … 1500 (3.8х10^-5 … 1125) |
||
|
Точность (N2) |
5х10^-4 … 1х10^-3 % от показаний ±50; 1х10^-3 … 100 мбар (N2) % от показаний ±15; 100 … 950 мбар % от показаний ±5; 950 … 1050 мбар % от показаний ± 2.5 |
||
|
Повторяемость (N2) |
1x10^-3 … 1100 мбар % от показаний ±2 |
||
|
Допустимое давление, бар (абс.) |
≤5 |
||
|
Максимальное давление, бар (абс.) |
≥10 |
||
|
Рабочая температура (окр. среды), °C |
+10 … +50 |
||
|
Температура хранения, °C |
-20 … +65 |
||
|
Макс. температура прогрева на фланце, °C |
≤80 |
||
|
Макс. температура прогрева на фланце на длинном патрубке, °C |
≤250 |
||
|
Напряжение питания, В/А |
+15 … +30 постоянного тока |
||
|
Энергопотребление без интерфейса, Вт |
≤2.5 |
||
|
Энергопотребление Device Net, Вт |
≤3 |
||
|
Энергопотребление Profibus DP, Вт |
≤3 |
||
|
Выходной аналоговый сигнал 3PCx-0xx-xxx0 |
0 … +10.23 |
||
|
Выходной аналоговый сигнал 3PCx-0xx-xxx1 |
0 … +8.68 |
||
|
Выходной аналоговый сигнал 3PCx-0xx-xxx2 |
0 … +5.659 |
||
|
Выходной аналоговый сигнал 3PCx-0xx-xxx3 |
0 … +9.05 |
||
|
Диапазон измерений 3PCx-0xx-xxx0 |
+0.61 … +10.23 |
||
|
Диапазон измерений 3PCx-0xx-xxx1 |
+1.2 … +8.68 |
||
|
Диапазон измерений 3PCx-0xx-xxx2 |
+0.375 … +5.659 |
||
|
Диапазон измерений 3PCx-0xx-xxx3 |
+1.57 … +9.05 |
||
|
Зависимость напряжение – давление 3PCx-0xx-xxx0, В на декаду |
1.286 |
||
|
Зависимость напряжение – давление 3PCx-0xx-xxx1 / -ххх2 / -ххх3, В на декаду |
1 |
||
|
Полное сопротивление нагрузки, кОм |
>10 |
||
|
Реле контурных точек |
2 |
||
|
Диапазон (N2), мбар |
5x10^-5 … 1500 |
||
|
Контакт реле |
Замыкающий, сухой контакт |
||
|
Гистерезис, % от порогового значения |
10 |
||
|
Номинальная нагрузка полупроводниковых реле, В/А |
≤30/≤0.3 |
||
|
Номинальная нагрузка механических реле В/А |
≤30/≤1 |
||
|
Время переключения, мс |
≤30 |
||
|
Электроподключение 3PCx-0xx-x0xх |
FCC, 8 контактов |
||
|
Электроподключение 3PCx-0xx-x1xх |
D-Sub, 9-конт., вилка |
||
|
Электроподключение 3PCx-0xx-x2xх |
D-Sub, 15-конт. HD, вилка |
||
|
Электроподключение 3PCx-0xx-x4xх |
D-Sub, 15-конт. HD с RS485, вилка |
||
|
Длина кабеля, м (фут) |
≤100 (≤330) |
||
|
Длина кабеля при работе с RS232C, м (фут) |
≤30 (≤100) |
||
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, нержавеющая сталь, стекло |
Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, нержавеющая сталь, стекло |
Al2O3, нержавеющая сталь |
|
Внутренний объем при DN 16 ISO-KF, см3 |
4.7 |
||
|
Внутренний объем при DN 16 ISO-KF длинный патрубок, см3 |
14.5 |
||
|
Внутренний объем при DN 16 CF-F, см3 |
8 |
||
|
Внутренний объем при DN 16 CF-R длинный патрубок, см3 |
14 |
||
|
Внутренний объем при DN 25 ISO-KF, 4 VCR, см3 |
5.5 |
||
|
Внутренний объем при 8 VCR, см3 |
7 |
||
|
Внутренний объем при 1/8” NPT, 7/16-20 UNF, см3 |
5.2 |
||
|
Внутренний объем при монтаже на поверхности 29 мм (1.15”), см3 |
4.9 |
||
|
Внутренний объем при 4 VCR 90o, см3 |
7.9 |
||
|
Масса с интерфейсом, г |
115 … 130 |
||
|
Масса без интерфейса, г |
230 … 250 |
||
|
Степень защиты |
IP40 |
||
|
Стандарты |
EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No. 61010-1 |
||