Успеть или "как получится"?

Оборудование

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума INFICON

Получить
Картинка Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

Прогреваемые датчики

Прогреваемые датчики сверхвысокого вакуума INFICON обеспечивают подтвержденную надежность и долговечность, а также лучшую термическую стабильность среди всех сенсорных головок на рынке. Изготовленный из нержавеющей стали 304, молибдена, инконеля, никеля и оксида алюминия, прогреваемый сверхвысоковакуумный датчик выдерживает температуру непрерывного отжига до 450 °C (только для отжига, поток воды необходим для фактического контроля осаждения). Конструкция с фронтальной загрузкой позволяет легко менять кристалл в применениях, в которых недостаточно места для боковой вставки.

Особенности:

  • Высокотемпературная пайка; сварная конструкция;
  • Температура отжига до 450 °C;
  • Заслонка кристалла (опция);
  • Держатель кристалла с загрузкой спереди;
  • Легкая установка;
  • Вакуумный фланец CF40;
  • Не требуется сварка или пайка вакуумного ввода;
  • Длина привариваемого вакуумного ввода указывается заказчиком.

 

Характеристики

Тип

Прогреваемый датчик с заслонкой

Прогреваемый датчик без заслонки

Максимальная температура

  400 °C непрерывно (только для прогрева; для текущего контроля осаждений рекомендуется поток воды)

450 °C непрерывно (только для прогрева; для текущего контроля осаждений рекомендуется поток воды)

Размер сенсорной головки (максимальные габариты)

1.35 дюйм. x 1.38 дюйм. x 1.21 дюйм. высота (34 мм x 35 мм x 31 мм высота)

1.35 дюйм. x 1.38 дюйм. x 0.94 дюйм. высота (34 мм x 35 мм x 24 мм высота)

Замена кристалла

Загрузка спереди, упаковка для легкой замены. Кулачковая рукоятка с фиксатором позволяет легко вынимать кристалл, а также обеспечивает хороший тепловой контакт. Затвор с пневматическим управлением сдвигается в сторону, обеспечивая легкую замену кристаллов.

Загрузка спереди, упаковка для легкой замены. Кулачковая рукоятка с фиксатором позволяет легко вынимать кристалл, а также обеспечивает хороший тепловой контакт.

Монтаж

a) Стандартно - четыре резьбовых отверстия #4-40 на задней части корпуса.

b) Опцилнально— угловой кронштейн; IPN 007-108

Четыре резьбовых отверстия #4-40 на задней части корпуса.

Вакуумный ввод

2¾ дюйма ConFlat®, встроенная в головку сенсора

Водяные, воздушные и коаксиальные трубки - полужесткие, но гибкие (минимальный радиус изгиба 2,0 дюйма [50,8 мм])

2¾ дюйма ConFlat®, встроенная в головку сенсора

Водяные, воздушные и коаксиальные трубки - полужесткие, но гибкие (минимальный радиус изгиба 2,0 дюйма [50,8 мм])

Средства обеспечения

1) Минимальный расход воды 150-200 cм3/мин, 30 °C макс. (Не допускайте замерзания.) (Заказчик должен предусмотреть быстросъемные соединения ?-дюймовых водяных трубок, для легкого снятия во время прогрева.)

2) Фильтрованный, безмасляный воздух с регулируемым давлением до 80 psig (5,5 бар) [552 кПа]

3) Электромагнитный клапан, 750-420-G1, 24 В AC или DC, можно заменить эквивалентным клапаном

Минимальный расход воды 150-200 cм3/мин, 30 °C макс. (Не допускайте замерзания.) (Заказчик должен предусмотреть быстросъемные соединения ?-дюймовых водяных трубок, для легкого снятия во время прогрева.)

Материалы

Корпус и держатель

  Нержавеющая сталь 304

Нержавеющая сталь 304

Пружины

Молибден и инконель X-750

Молибден и инконель X-750

Водяные, воздушные и коаксиальные линии

Воздушные и водяные трубки бесшовные из нержавеющей стали 304: внешний диаметр 0,125 дюйма (3 мм); толщина стенки 0,015 дюйма (0,4 мм)
Диаметр коаксиальных кабелей 0,188 дюйма (5 мм)

 Воздушные и водяные трубки бесшовные из нержавеющей стали 304: внешний диаметр 0,125 дюйма (3 мм); толщина стенки 0,015 дюйма (0,4 мм)
Диаметр коаксиальных кабелей 0,188 дюйма (5 мм)

Остальные механические части

Нержавеющая сталь 304 или 18-8

Нержавеющая сталь 304 или 18-8

Изоляторы

>99% Al2O3 в вакууме; остальное - керамика высокой плотности

>99% Al2O3 в вакууме; остальное - керамика высокой плотности

Провода

1) Ni (в вакууме)

2) Медь с никелевым покрытием (остальное)

1) Ni (в вакууме)

2) Медь с никелевым покрытием (остальное)

Припой

Вакуумный высокотемпературный сплав Ni-Cr

Вакуумный высокотемпературный сплав Ni-Cr

Кристалл

диаметр 0.550 дюйм. (13.97 мм)

диаметр 0.550 дюйм. (13.97 мм)

Артикул

Артикул

Аксессуары

Каталожный номер

Описание

750-420-G1

Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонкой и многокристальными датчиками)

Запасные части

Каталожный номер

Описание

007-007

Пружина стопорная (для держателя кристаллов)

007-064

Керамический фиксатор

007-094

Зажимная пружина

007-095

Рукоятка

007-098

Разъем - мама (включая наконечники и гайку)

007-099

Прогреваемая контактная головка

007-100

Изолятор для BNC

007-103

Изолятор для прогреваемой контактной головки

007-104

BNC корпус

007-147

#4-40 X 3/8 крепеж

007-155

Пайка в сборе - 12 дюйм. (30.5 см)

007-156

Пайка в сборе - 20 дюйм. (50.8 см)

007-157

Пайка в сборе - 30 дюйм. (76.2 см)

007-228

#4-40 X 5/8 крепеж

007-267-P2

Распорка

007-268-P1

Изолирующая втулка

007-269-P1

Изолирующая втулка

008-007

Держатель кристала

059-0084

Прокладка VCR

070-201

#4 шайба Гровера

084-069-P1

#4-40 x 3/16 крепеж

750-018-P3

Разъёмный хомут

750-018-P5

Разъёмный хомут

750-022-G5

Сильфон в сборе - 12 дюйм. (30.5 см)

750-022-G6

Сильфон в сборе - 20 дюйм. (50.8 см)

750-022-G7

Сильфон в сборе - 30 дюйм. (76.2 см)

750-028-G5

Паяный воздуховод в сборе - 12 дюйм. (30.5 см)

750-028-G6

Паяный воздуховод в сборе - 20 дюйм. (50.8 см)

750-028-G7

Паяный воздуховод в сборе - 30 дюйм. (76.2 см)

750-115-P4

Муфта (устанавливается на сильфон)

750-118-P4

Опора привода

750-120-G3

Вал в сборе

750-216-G1

Заслонка в сборе (часть модуля заслонки)

750-218-G1

Держатель кристалла

WhatsApp