Производитель: INFICON
Принцип измерения: По принципу теплопроводности Пирани
Производитель: INFICON
Принцип измерения: По принципу теплопроводности Пирани
Производитель: INFICON
Принцип измерения: По принципу теплопроводности Пирани
Описание
В стандартных датчиках Пирани INFICON PSG500, PSG502-S, PSG510-S и PSG512-S используется самая современная цифровая технология Пирани, представленная на рынке.
Сенсор из нержавеющей стали и компактная конструкция позволяют использовать их в полупроводниковых системах и стандартных вакуумных установках.
PSG5xx
Особенности
-
Простая кнопочная регулировка ATM и HV
-
Прочная и компактная конструкция
-
Алюминиевый корпус
-
Возможность установки в любом положении
-
Чувствительная ячейка из нержавеющей стали с тоководом с металлическим уплотнением
-
Логарифмический выход сигнала для упрощения интеграции
-
Абсолютное избыточное давление 10 бар с резьбовыми соединениями
-
Версия с максимальной температурой прогрева до 250 °C
-
Никелевая нить для коррозионных применений
-
Керамический токовод для агрессивных сред (PSG510 и PSG512)
-
Дополнительные установки
-
Соответствие требованиям RoHS
Применение
-
Контроль высоковакуумных ионизационных манометров
-
Контроль давления в форвакуумной линии
-
Общие измерения давления вакуум в областях низкого и среднего вакуума
PSG55x
Особенности
-
Поставляются с вольфрамовой (PSG550) или никелевой (PSG552) нитью, а также с полностью керамическим покрытием (PSG554) сенсорного блока для высокоагрессивных сред
-
Новейший EtherCAT-протокол Стандарт ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
-
Легкая замена сенсора, калибровка на месте
-
Возможность выбора выходного сигнала и различные варианты исполнения разъемов для упрощения интеграции
-
Возможность установки в любом положении
-
Диагностический порт во всех исполнениях
-
Соответствие стандартам: CE, EN, UL, CSA, RoHS
Применение
-
Вакуумметр для измерений в случае аварийных ситуаций
-
Измерение и контроль общего вакуума в диапазоне от низкого до высокого вакуума
Технические характеристики стандартных датчиков Пирани PSG5xx
|
Модель/ Параметры |
PSG500 |
PSG500-S |
PSG502-S |
PSG510-S |
PSG512-S |
|
Катод |
Вольфрам |
Вольфрам |
Никель |
Вольфрам |
Никель |
|
Принцип измерения |
По принципу теплопроводности Пирани |
||||
|
Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2), мбар |
5х10^-4 - 1000 |
||||
|
Точность (N2) |
1x10^-3 … 100 мбар % от показаний ±15; 5х10^-4 … 1х10^-3 мбар % от показаний ±50; 100 … 1000 мбар % от показаний ±50; |
||||
|
Повторяемость (воздух) |
1х10^-3 … 100 мбар % от показаний ±2 |
||||
|
Диапазон напряжений выходного сигнала, В |
0 … +10.3 |
||||
|
Диапазон измерения выходного сигнала, В |
+1.9 … +10.0 |
||||
|
Зависимость напряжение – давление, В на декаду |
Логарифмическое соотношение 1.286 |
||||
|
Сигнал шибки выходного сигнала, В |
0 … +0.5 (разрушение катода) |
||||
|
Выходное полное сопротивление, Ом |
2х4.7 |
||||
|
Минимальное полное сопротивление нагрузки, кОм |
10, защита от коротких замыканий |
||||
|
Время отклика, мс |
80 |
||||
|
Идентификация датчика, кОм |
27.0, по отношению к общему выходу источника питания |
||||
|
Настройка |
1 выключатель для настройки атмосферы и высокого вакуума |
||||
|
Контрольные точки |
нет |
2 |
2 |
2 |
2 |
|
Диапазон настройки |
|
2х10^-3 … 500 |
2х10^-3 … 500 |
2х10^-3 … 500 |
2х10^-3 … 500 |
|
Гистерезис, % от показаний |
|
На 10% выше нижнего порога |
На 10% выше нижнего порога |
На 10% выше нижнего порога |
На 10% выше нижнего порога |
|
Контакт реле, В/А |
|
30/0.5 плавающий |
30/0.5 плавающий |
30/0.5 плавающий |
30/0.5 плавающий |
|
Время переключения, мс |
|
<20 |
<20 |
<20 |
<20 |
|
Напряжение питания датчика, В |
+14 … +30 постоянного тока |
||||
|
Пульсация, В (p-p) |
≤1 |
||||
|
Потребляемый ток, мА |
<500 (максимальный ток при включении) |
||||
|
Потребляемая мощность, Вт |
≤1 |
||||
|
Электроподключение |
Электронный соединитель FCC 68 / RJ45, 8 конт., вилка |
||||
|
Кабель датчика |
Экранированный 8-жильный |
||||
|
Длина кабеля, м |
≤100 (8x0.14 м2) |
||||
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Стекло, Ni, NiFe. DIN 1.4301/1.4305/1.4435 |
Стекло, Ni, NiFe. DIN 1.4301/1.4305/1.4435 |
Стекло, Ni, NiFe. DIN 1.4301/1.4305/1.4435 |
Al2O3, Ni, DIN 1.3981/1.4305/1.4435 |
Al2O3, Ni, DIN 1.3981/1.4305/1.4435 |
|
Внутренний объем при DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF, см3 (дюйм3) |
1.5 (0.092) |
||||
|
Внутренний объем при DN 16 ISO-KF и DN 16 CF-R длинный патрубок, см3 (дюйм3) |
10 (0.61) |
||||
|
Внутренний объем при 1/8” NPT,4 VCR, 8 VCR, 1/2" патрубок, см3 (дюйм3) |
2 (0.122) |
||||
|
Допустимое давление, бар (абс.) |
10, ограничение для инертных газов |
||||
|
Рабочая температура, °C |
+5 … +60 |
||||
|
Макс. температура прогрева на фланце, °C |
80/250 |
||||
|
Температура хранения, °C |
-20 … +65 |
||||
|
Ориентации на монтаже |
Любая |
||||
|
Степень защиты |
IP40 |
||||
|
Масса при DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF, г |
80 |
||||
|
Масса при DN 16 CF-R, 4 VCR, г |
100 |
||||
|
Масса при 1/8” NPT, 1/2" патрубок, г |
70 |
||||
|
Масса при 8 VCR, DN 16 ISO-KF длинный патрубок, г |
130 |
||||
|
Масса при DN 16 CF-R длинный патрубок, г |
140 |
||||
Технические характеристики стандартных датчиков Пирани PSG55x
|
Модель/ Параметры |
PSG550 |
PSG552 |
PSG554 |
|
Катод |
Вольфрам |
Никель |
Керамическое покрытие |
|
Диапазон измерений, мбар (Торр) |
5х10^-5 … 1000 (3.8х10^-5 … 750) |
||
|
Точность (N2) |
5x10^-4 … 1x10^-3 мбар % от показаний ±50; 1х10^-3 … 100 мбар % от показаний ±15; 100 … 1000 мбар % от показаний ±50 |
||
|
Повторяемость (N2) |
1х10^-3 … 100 мбар % от показаний ±2 |
||
|
Допустимое давление, бар (абс.) |
≤5 |
||
|
Максимальное давление, бар (абс.) |
10 |
||
|
Рабочая температура (окр. среды), °C |
+10 … +50 |
||
|
Температура хранения, °C |
-20 … +65 |
||
|
Макс. температура прогрева на фланце, °C |
≤80 |
||
|
Макс. температура прогрева на фланце на длинном патрубке, °C |
≤250 |
||
|
Напряжение питания, В/А |
+15 … +30 постоянного тока |
||
|
Энергопотребление без интерфейса, Вт |
≤2.5 |
||
|
Энергопотребление Device Net, Вт |
≤3 |
||
|
Энергопотребление Profibus DP, Вт |
≤3 |
||
|
Выходной аналоговый сигнал 3PIx-0xx-xxx0 |
0 … +10 |
||
|
Выходной аналоговый сигнал 3PIx-0xx-xxx1 |
0 … +8.5 |
||
|
Выходной аналоговый сигнал 3PIx-0xx-xxx2 |
0 … +5.529 |
||
|
Выходной аналоговый сигнал 3PIx-0xx-xxx3 |
0 … +8.875 |
||
|
Диапазон измерений 3PIx-0xx-xxx0 |
+0.61 … +10 |
||
|
Диапазон измерений 3PIx-0xx-xxx1 |
+1.2 … +8.5 |
||
|
Диапазон измерений 3PIx-0xx-xxx2 |
+0.375 … +5.659 |
||
|
Диапазон измерений 3PIx-0xx-xxx3 |
+1.57 … +8.875 |
||
|
Зависимость напряжение – давление 3PIx-0xx-xxx0, В на декаду |
1.286 |
||
|
Зависимость напряжение – давление 3PIx-0xx-xxx1 / -ххх2 / -ххх3, В на декаду |
1 |
||
|
Полное сопротивление нагрузки, кОм |
>10 |
||
|
Реле контурных точек |
2 |
||
|
Диапазон (N2), мбар |
5x10^-5 … 1000 |
||
|
Контакт реле |
Замыкающий, сухой контакт |
||
|
Гистерезис, % от порогового значения |
10 |
||
|
Номинальная нагрузка полупроводниковых реле, В/А |
≤30/≤0.3 |
||
|
Номинальная нагрузка механических реле В/А |
≤30/≤1 |
||
|
Время переключения, мс |
≤30 |
||
|
Цифровой интерфейс |
RS232C |
||
|
Электроподключение 3PIx-0xx-x0xх |
FCC, 8 контактов |
||
|
Электроподключение 3PIx-0xx-x1xх |
D-Sub, 9-конт., вилка |
||
|
Электроподключение 3PIx-0xx-x2xх |
D-Sub, 15-конт. HD, вилка |
||
|
Электроподключение 3PIx-0xx-x4xх |
D-Sub, 15-конт. HD с RS485, вилка |
||
|
Длина кабеля, м (фут) |
≤100 (≤330) |
||
|
Длина кабеля при работе с RS232C, м (фут) |
≤30 (≤100) |
||
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
W, Ni, NiFe, стекло, SnAg, нержавеющая сталь |
Ni, NiFe, стекло, SnAg, нержавеющая сталь |
Al2O3, нержавеющая сталь |
|
Внутренний объем при DN 16 ISO-KF, см3 |
4.7 |
||
|
Внутренний объем при DN 16 ISO-KF длинный патрубок, см3 |
14.5 |
||
|
Внутренний объем при DN 16 CF-F, см3 |
8 |
||
|
Внутренний объем при DN 16 CF-R длинный патрубок, см3 |
14 |
||
|
Внутренний объем при DN 25 ISO-KF, 4 VCR, см3 |
5.5 |
||
|
Внутренний объем при 8 VCR, см3 |
7 |
||
|
Внутренний объем при 1/8” NPT, 7/16-20 UNF, см3 |
5.2 |
||
|
Внутренний объем при монтаже на поверхности 29 мм (1.15”), см3 |
4.9 |
||
|
Внутренний объем при 4 VCR 90o, см3 |
7.9 |
||
|
Масса с интерфейсом, г |
115 … 130 |
||
|
Масса без интерфейса, г |
230 … 250 |
||
|
Степень защиты |
IP40 |
||
|
Стандарты |
EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No. 61010-1 |
||