Высокоточный контроль последовательного или одновременного осаждения
Благодаря передовым технологиям, улучшенному дисплею и доступной цене серия INFICON SQC-310 предоставляет вам функции, которых нет в контроллерах конкурентов. И вы можете выбрать идеальную модель для ваших целей: для последовательного (SQC-310) или одновременного (SQC-310C) осаждения.
Особенности
- Яркий цветной ЖК-дисплей.
- Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально)
- Простая настройка и управление с помощью меню «Быстрая настройка», 6 кнопок и удобный переключатель для настройки параметров.
- Программа для Windows® для разработки, тестирования и загрузки процессов, а также для записи данных прибора на ваш компьютер, анализа процесса и контроля качества
- Точное управление процессом, особенно при низких скоростях осаждения, с разрешением ± 0,03 Гц при 10 считываниях в секунду
- Память для хранения до 100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок
Характеристики
|
Тип |
SQC-310 |
SQC-310C |
|---|---|---|
|
Измерение |
||
|
QCM входы |
2 (4 опционально) |
4 |
|
Диапазон частот измерения |
1.0 -6.5 МГц |
1.0 -6.5 МГц |
|
Разрешение по частоте |
± 0.012 Гц |
± 0.012 Гц |
|
Толщина и разрешение по скорости/ |
±0.015 Å |
±0.015 Å |
|
Стабильность по частоте |
± 2 ppm При 0 до 50C |
± 2 ppm При 0 до 50C |
|
Интервал измерения |
0.10 до 1.0 с (регулировка) |
0.10 до 1.0 с (регулировка) |
|
Отображение скорости |
0.01 Å/сек |
0.01 Å/сек |
|
Управление |
||
|
Память |
100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок |
100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок |
|
Выходы управления |
2 (4 опционально) |
4 |
|
Выходной сигнал |
± 0 до 10 В (DC), 15 бит |
± 0 до 10 В (DC), 15 бит |
|
Цифровые входы / реле |
8/8 (16/16 опционально) |
16/16 |
|
Цифровые входы |
5 В (DC) без изоляции |
5 В (DC) без изоляции |
|
Реле |
SPST Form 1A, 30В, 2A макс. |
SPST Form 1A, 30В, 2A макс. |
|
Интерфейсы |
Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально) |
Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально) |
|
Удаленный контроль питания |
Опционально (IPN 782-900-017) |
Опционально (IPN 782-900-017) |
|
Дисплей |
||
|
Тип |
Цветной ЖК-экран с активной матрицей 1/4 VGA 320 x 240 |
Цветной ЖК-экран с активной матрицей 1/4 VGA 320 x 240 |
|
Графики |
Скорость, отклонение, мощность или числовой полноэкранный режим |
Скорость, отклонение, мощность или числовой полноэкранный режим |
|
Основные |
||
|
Питание |
100-240 В (AC), 50/60 Гц, 25 Вт |
100-240 В (AC), 50/60 Гц, 25 Вт |
|
Соответствие стандартам |
CE, RoHS |
CE, RoHS |
|
ПО Windows |
Идет в комплекте |
Идет в комплекте |
Артикул
Аксессуары
|
Название |
Описание |
|---|---|
|
Одиночный датчик с загрузкой спереди |
|
|
Двойной датчик с загрузкой cпереди |
|
|
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной сенсор Easy Rate |
|
|
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума |
|
|
ALD (АСО) Сенсор |
|
|
Датчик распыления |
|
|
Датчик Crystal Six |
|
|
Одиночный сенсор Easy Rate |
|
|
Датчик Crystal 12 |
|
|
Поворотный датчик RSH-600 |
Аксессуары и расходные материалы
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
782-900-017 |
Ручной регулятор мощности, спиральный кабель 10 футов (3 м) |
|
782-900-007 |
Full Rack Extender - установка одного SQC-310 или Composer Elite в 19-дюймовую стойку (включая заглушку) |
|
782-900-016 |
Адаптер для стойки - установка двух контроллеров SQC-310 в 19-дюймовую стойку |
|
782-502-097-G1 |
Опциональная плата Ethernet |
|
782-502-096-G2 |
Опциональная плата USB |
|
Осцилляторы |
|
|
783-500-109-10 |
Комплект "Осциллятор 3 м (10 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC длиной 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC длиной 3 м (10 футов) |
|
783-500-109-25 |
Комплект "Осциллятор 7,6 м (25 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 7,6 м (25 футов) |
|
783-500-109-50 |
Комплект "Осциллятор 15,2 м (50 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 15,2 м (50 футов) |
|
783-500-109-75 |
Комплект "Осциллятор 22,8 м (75 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 22,8 м (75 футов) |
|
Кабели |
|
|
782-902-011 |
Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), папа/мама |
|
782-902-012-10 |
Кабель BNC, 3 м (10 футов), папа/папа |
|
782-902-012-25 |
Кабель BNC 7,6 м (25 футов), папа/папа |
|
782-902-012-50 |
Кабель BNC длиной 15,2 м (50 футов), папа/папа |
|
782-902-012-75 |
Кабель BNC длиной 22,8 м (75 футов), папа/папа |