Оборудование

Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии SQC-310

Получить
Картинка SQC-310

Высокоточный контроль последовательного или одновременного осаждения

Благодаря передовым технологиям, улучшенному дисплею и доступной цене серия INFICON SQC-310 предоставляет вам функции, которых нет в контроллерах конкурентов. И вы можете выбрать идеальную модель для ваших целей: для последовательного (SQC-310) или одновременного (SQC-310C) осаждения.

Особенности

    • Яркий цветной ЖК-дисплей.
    • Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально)
    • Простая настройка и управление с помощью меню «Быстрая настройка», 6 кнопок и удобный переключатель для настройки параметров.
    • Программа для Windows® для разработки, тестирования и загрузки процессов, а также для записи данных прибора на ваш компьютер, анализа процесса и контроля качества
    • Точное управление процессом, особенно при низких скоростях осаждения, с разрешением ± 0,03 Гц при 10 считываниях в секунду
    • Память для хранения до 100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок

Характеристики

Тип

SQC-310

SQC-310C

Измерение

QCM входы

2 (4 опционально)

4

Диапазон частот измерения

1.0 -6.5 МГц

1.0 -6.5 МГц

Разрешение по частоте

± 0.012 Гц

± 0.012 Гц

Толщина и разрешение по скорости/

±0.015 Å

±0.015 Å

Стабильность по частоте

± 2 ppm

При 0 до 50C

± 2 ppm

При 0 до 50C

Интервал измерения

0.10 до 1.0 с (регулировка)

0.10 до 1.0 с (регулировка)

Отображение скорости

0.01 Å/сек

0.01 Å/сек

Управление

Память

100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок

100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок

Выходы управления

2 (4 опционально)

4

Выходной сигнал

± 0 до 10 В (DC), 15 бит

± 0 до 10 В (DC), 15 бит

Цифровые входы / реле

8/8 (16/16 опционально)

16/16

Цифровые входы

5 В (DC) без изоляции

5 В (DC) без изоляции

Реле

SPST Form 1A, 30В, 2A макс.

SPST Form 1A, 30В, 2A макс.

Интерфейсы

Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально)

Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально)

Удаленный контроль питания

Опционально (IPN 782-900-017)

Опционально (IPN 782-900-017)

Дисплей

Тип

Цветной ЖК-экран с активной матрицей 1/4 VGA 320 x 240

Цветной ЖК-экран с активной матрицей 1/4 VGA 320 x 240

Графики

 Скорость, отклонение, мощность или числовой полноэкранный режим

Скорость, отклонение, мощность или числовой полноэкранный режим

Основные

Питание

100-240 В (AC), 50/60 Гц, 25 Вт

100-240 В (AC), 50/60 Гц, 25 Вт

Соответствие стандартам

CE, RoHS

CE, RoHS

ПО Windows

Идет в комплекте

Идет в комплекте

Артикул

Артикул

Аксессуары

Название

Описание

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной сенсор Easy Rate

Двойной сенсор Easy Rate

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

ALD (АСО) Сенсор

ALD (АСО) Сенсор

Датчик распыления

Датчик распыления

Датчик Crystal Six

Датчик Crystal Six

Одиночный сенсор Easy Rate

Одиночный сенсор Easy Rate

Датчик Crystal 12

Датчик Crystal 12

Поворотный датчик RSH-600

Поворотный датчик RSH-600

Аксессуары и расходные материалы

Каталожный номер

Описание

782-900-017

Ручной регулятор мощности, спиральный кабель 10 футов (3 м)

782-900-007

Full Rack Extender - установка одного SQC-310 или Composer Elite в 19-дюймовую стойку (включая заглушку)

782-900-016

Адаптер для стойки - установка двух контроллеров SQC-310 в 19-дюймовую стойку

782-502-097-G1

Опциональная плата Ethernet

782-502-096-G2

Опциональная плата USB

Осцилляторы

783-500-109-10

Комплект "Осциллятор 3 м (10 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC длиной 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC длиной 3 м (10 футов)

783-500-109-25

Комплект "Осциллятор 7,6 м (25 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 7,6 м (25 футов)

783-500-109-50

Комплект "Осциллятор 15,2 м (50 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 15,2 м (50 футов)

783-500-109-75

Комплект "Осциллятор 22,8 м (75 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 22,8 м (75 футов)

Кабели

782-902-011

Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), папа/мама

782-902-012-10

Кабель BNC, 3 м (10 футов), папа/папа

782-902-012-25

Кабель BNC 7,6 м (25 футов), папа/папа

782-902-012-50

Кабель BNC длиной 15,2 м (50 футов), папа/папа

782-902-012-75

Кабель BNC длиной 22,8 м (75 футов), папа/папа

 

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp