Оборудование

Монитор осаждения тонких пленок INFICON серии SQM-160

Получить
Картинка SQM-160

В SQM-160 используется проверенная технология кварцевых датчиков INFICON для измерения скорости и толщины в процессах нанесения тонких пленок.
Входы для сенсоров могут быть назначены для различных материалов, усреднены для точного контроля осаждения в больших системах или сконфигурированы для двойного сенсора. Режим выбора скорости позволяет датчику с заслонкой продлить срок службы в высокоскоростных процессах. Показания скорости нанесения пленки 0,1 Å/с или 0,01 Å/с выбираются пользователем. Четыре релейных выхода позволяют SQM-160 управлять заслонками датчика, управлять временем сигнала и уставками по толщине, а также контролировать состояние кристалла. Цифровые входы позволяют внешним сигналам запускать / останавливать и обнулять показания.

SQM-160

Особенности

  • Два измерительных канала в стандартной комплектации, четыре дополнительных – опционально;
  • Аналоговые выходы для записи измерений;
  • Опция высокого разрешения: 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду;
  • Стандарт RS-232, опционально USB или Ethernet

Характеристики 

Тип

SQM-160 Стандарьное разрешение

SQM-160 Высокое разрешение

Входы датчика QCM

Стандартно: 2; опционально: 4

Стандартно: 2; опционально: 4

Диапазон частот измерения

Регулировка:
1.0 МГц мин
6.5 МГц макс

Регулировка:
1.0 МГц мин
6.5 МГц макс

Частотное разрешение

± 0.30 Гц

± 0.03 Гц

Разрешение по скорости и толщине

± 0.37 Å

± 0.037 Å

Интервал измерения

0.10 до 2.0 с

0.10 до 2.0 с

Фильтр измерений

1 до 20 считываний

1 до 20 считываний

Хранение пленок в памяти

99

99

Аналоговые выходы

Два выхода 0 до 5 В DC, скорость и толщина

Два выхода 0 до 5 В DC, скорость и толщина

Цифровые входы/выходы

Четыре входа, четыре релейных выхода

Четыре входа, четыре релейных выхода

Коммуникационные интерфейсы

Стандартно: RS-232;

Опционально: USB или Ethernet

Стандартно: RS-232;

Опционально: USB или Ethernet

Питание

100-120/200-240 В AC, 50/60 Гц, 20 Вт

100-120/200-240 В AC, 50/60 Гц, 20 Вт

Соответствие стандартам ЕС

1 класс оборудования,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

1 класс оборудования,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Корпус / Монтаж

1/2-стойки, 3-1/2" высота,

89 x 213 x 197 мм (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

1/2-стойки, 3-1/2" высота,

89 x 213 x 197 мм (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

Масса

2.7 кг (6 фунты)

2.7 кг (6 фунты)

ПО Windows (в комплекте поставки)

Обеспечивает удаленную настройку и работу,

функции регистрации данных - см. образец

скриншот справа.

Обеспечивает удаленную настройку и работу,

функции регистрации данных - см. образец

скриншот справа.

Артикул

Артикул

Аксессуары

Название

Описание

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной сенсор Easy Rate

Двойной сенсор Easy Rate

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

Датчик распыления

Датчик распыления

Одиночный сенсор Easy Rate

Одиночный сенсор Easy Rate

Каталожный номер

Описание

782-900-008

19 дюйм. Комплект для монтажа в стойку для одного прибора SQM-160 или CI-100

782-900-014

Комплект для монтажа в стойку 19 дюймов для двух приборов SQM-160 или CI-100

782-502-096-G1

Опциональная карта USB

782-502-097-G1

Опциональная карта Ethernet

Комплект осцилляторов

(Включая осцилятор и кабели)

783-500-109-10

Комплект "Осциллятор 3 м (10 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC длиной 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC длиной 3 м (10 футов)

783-500-109-25

Комплект "Осциллятор 7,6 м (25 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 7,6 м (25 футов)

783-500-109-50

Комплект "Осциллятор 15,2 м (50 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 15,2 м (50 футов)

783-500-109-75

Комплект "Осциллятор 22,8 м (75 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 22,8 м (75 футов)

Только осциллятор

(Кабели в комплект не входят)

783-500-013

OSC-100 только осциллятор (без кабелей)

Кабели

 

782-902-011

Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), папа/мама

782-902-012-10

Кабель BNC, 3 м (10 футов), папа/папа

782-902-012-25

Кабель BNC 7,6 м (25 футов), папа/папа

782-902-012-50

Кабель BNC длиной 15,2 м (50 футов), папа/папа

782-902-012-75

Кабель BNC длиной 22,8 м (75 футов), папа/папа

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp