В SQM-160 используется проверенная технология кварцевых датчиков INFICON для измерения скорости и толщины в процессах нанесения тонких пленок.
Входы для сенсоров могут быть назначены для различных материалов, усреднены для точного контроля осаждения в больших системах или сконфигурированы для двойного сенсора. Режим выбора скорости позволяет датчику с заслонкой продлить срок службы в высокоскоростных процессах. Показания скорости нанесения пленки 0,1 Å/с или 0,01 Å/с выбираются пользователем. Четыре релейных выхода позволяют SQM-160 управлять заслонками датчика, управлять временем сигнала и уставками по толщине, а также контролировать состояние кристалла. Цифровые входы позволяют внешним сигналам запускать / останавливать и обнулять показания.
Особенности
- Два измерительных канала в стандартной комплектации, четыре дополнительных – опционально;
- Аналоговые выходы для записи измерений;
- Опция высокого разрешения: 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду;
- Стандарт RS-232, опционально USB или Ethernet
Характеристики
|
Тип |
SQM-160 Стандарьное разрешение |
SQM-160 Высокое разрешение |
|---|---|---|
|
Входы датчика QCM |
Стандартно: 2; опционально: 4 |
Стандартно: 2; опционально: 4 |
|
Диапазон частот измерения |
Регулировка: |
Регулировка: |
|
Частотное разрешение |
± 0.30 Гц |
± 0.03 Гц |
|
Разрешение по скорости и толщине |
± 0.37 Å |
± 0.037 Å |
|
Интервал измерения |
0.10 до 2.0 с |
0.10 до 2.0 с |
|
Фильтр измерений |
1 до 20 считываний |
1 до 20 считываний |
|
Хранение пленок в памяти |
99 |
99 |
|
Аналоговые выходы |
Два выхода 0 до 5 В DC, скорость и толщина |
Два выхода 0 до 5 В DC, скорость и толщина |
|
Цифровые входы/выходы |
Четыре входа, четыре релейных выхода |
Четыре входа, четыре релейных выхода |
|
Коммуникационные интерфейсы |
Стандартно: RS-232; Опционально: USB или Ethernet |
Стандартно: RS-232; Опционально: USB или Ethernet |
|
Питание |
100-120/200-240 В AC, 50/60 Гц, 20 Вт |
100-120/200-240 В AC, 50/60 Гц, 20 Вт |
|
Соответствие стандартам ЕС |
1 класс оборудования, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD |
1 класс оборудования, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD |
|
Корпус / Монтаж |
1/2-стойки, 3-1/2" высота, 89 x 213 x 197 мм (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") |
1/2-стойки, 3-1/2" высота, 89 x 213 x 197 мм (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4") |
|
Масса |
2.7 кг (6 фунты) |
2.7 кг (6 фунты) |
|
ПО Windows (в комплекте поставки) |
Обеспечивает удаленную настройку и работу, функции регистрации данных - см. образец скриншот справа. |
Обеспечивает удаленную настройку и работу, функции регистрации данных - см. образец скриншот справа. |
Артикул
Аксессуары
|
Название |
Описание |
|---|---|
|
Одиночный датчик с загрузкой спереди |
|
|
Двойной датчик с загрузкой cпереди |
|
|
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной сенсор Easy Rate |
|
|
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума |
|
|
Датчик распыления |
|
|
Одиночный сенсор Easy Rate |
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
782-900-008 |
19 дюйм. Комплект для монтажа в стойку для одного прибора SQM-160 или CI-100 |
|
782-900-014 |
Комплект для монтажа в стойку 19 дюймов для двух приборов SQM-160 или CI-100 |
|
782-502-096-G1 |
Опциональная карта USB |
|
782-502-097-G1 |
Опциональная карта Ethernet |
|
Комплект осцилляторов |
(Включая осцилятор и кабели) |
|
783-500-109-10 |
Комплект "Осциллятор 3 м (10 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC длиной 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC длиной 3 м (10 футов) |
|
783-500-109-25 |
Комплект "Осциллятор 7,6 м (25 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 7,6 м (25 футов) |
|
783-500-109-50 |
Комплект "Осциллятор 15,2 м (50 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 15,2 м (50 футов) |
|
783-500-109-75 |
Комплект "Осциллятор 22,8 м (75 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 22,8 м (75 футов) |
|
Только осциллятор |
(Кабели в комплект не входят) |
|
783-500-013 |
OSC-100 только осциллятор (без кабелей) |
|
Кабели |
|
|
782-902-011 |
Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), папа/мама |
|
782-902-012-10 |
Кабель BNC, 3 м (10 футов), папа/папа |
|
782-902-012-25 |
Кабель BNC 7,6 м (25 футов), папа/папа |
|
782-902-012-50 |
Кабель BNC длиной 15,2 м (50 футов), папа/папа |
|
782-902-012-75 |
Кабель BNC длиной 22,8 м (75 футов), папа/папа |