ПРОСТАЯ РАБОТА ВО МНОГИХ ПРИМЕНЕНИЯХ
STM-2XM - это двухканальный монитор скорости роста покрытия и толщины, который сочетает в себе высокую точность, гибкость программирования и простоту эксплуатации по доступной цене.
STM-2XM имеет пять режимов работы, позволяющих управлять процессами от простых до сложных. Например, используйте простой режим для контроля одного датчика или используйте режим для контроля "совместного осаждения" от нескольких источников. Независимый режим позволяет STM-2XM функционировать как два отдельных устройства (монитора).
Два входа для датчиков позволяют использовать два одиночных или один двойной кварцевый датчик. Производится 10 измерений в секунду при разрешении 0,037 Å на 1 измерение (плотность 1).
STM-2XM имеет 8 программируемых цифровых входов, 8 программируемых цифровых выходов и 4 аналоговых выхода, обеспечивающие интеграцию более дорогих приборов.
Настраиваемые параметры включают: задержку срабатывания затвора, мониторинг времени, мощности и частоты дискретизации. Используйте все эти функции для получения наиболее точных показаний и максимального срока службы кристалла.
Управляйте и контролируйте STM-2XM через простой интерфейс на передней панели, либо с помощью прилагаемого программного обеспечения LabVIEW.
STM-2XM имеет высококонтрастный ЖК-дисплей и интуитивно понятную систему управления. ЖК-дисплей может отображать накопленную массу или толщину покрытия.
Особенности
- Два канала измерения
- 4 аналоговых выхода для скорости, отклонения скорости или толщины
- 8 программируемых цифровых входов
- 8 программируемых цифровых выходов
- Высокая точность при 10 показаниях в секунду
- Отображение массы или толщины
- Возможности мониторинга совместного осаждения
Области применения
- Процессы с одинарным / двойным датчиком
- Процессы совместного осажденния
Характеристики
Тип |
STM-2XM |
---|---|
Артикул |
STM-2XM-G2 |
Входы датчиков |
2 |
Диапазон частот измерения |
6.0 до 5.0 МГц (фиксированно) |
Разрешение по частоте |
±0.03 МГц при 6 МГц |
Относительная частотная стабильность |
±2 ppm |
Разрешение / измерение толщины и скорости роста покрытия |
± 0,037 Å при оснастке / плотности = 100/1, основная частота = 6 МГц |
Интервал измерения |
0.10 c |
Хранение пленок в памяти |
15 |
Режим отображения |
Толщина/Масса |
Цифровые входы |
8 |
Цифровые выходы |
8 |
Аналоговые выходы |
4 |
Характеристика аналогового выхода |
0 до +/-10 В, 10 мА |
Характеристика реле |
до 48 В (DC) • В (AC), 2A |
Питание |
120/240, 50/60 Гц, 2.5 ВА |
Аксессуары
Наименование |
Описание |
---|---|
Одиночный сенсор Easy Rate |
|
Одиночный датчик с загрузкой спереди |
|
Двойной датчик с загрузкой cпереди |
|
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом |
|
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом |
|
Двойной сенсор Easy Rate |
|
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума |
|
ALD (АСО) Сенсор |
|
Датчик распыления |
Каталожный номер |
Описание |
---|---|
783-014-008 |
Комплект для монтажа в стойку - для одного прибора STM-2XM 48,3 см (19 дюймов). |
783-014-009 |
Комплект для монтажа в стойку - для двух инструментов STM-2XM 48,3 см (19 дюймов). |
Комплекты осцилляторов |
(Включая осциллятор и кабели) |
783-500-109-10 |
Комплект "Осциллятор 3 м (10 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC длиной 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC длиной 3 м (10 футов) |
783-500-109-25 |
Комплект "Осциллятор 7,6 м (25 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 7,6 м (25 футов) |
783-500-109-50 |
Комплект "Осциллятор 15,2 м (50 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 15,2 м (50 футов) |
783-500-109-75 |
Комплект "Осциллятор 22,8 м (75 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 22,8 м (75 футов) |
Только осциллятор |
(Кабели в комплект не входят) |
783-500-013 |
OSC-100 только осциллятор (без кабелей) |
Кабели |
|
782-902-011 |
Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), папа/мама |
782-902-012-10 |
Кабель BNC, 3 м (10 футов), папа/папа |
782-902-012-25 |
Кабель BNC 7,6 м (25 футов), папа/папа |
782-902-012-50 |
Кабель BNC длиной 15,2 м (50 футов), папа/папа |
782-902-012-75 |
Кабель BNC длиной 22,8 м (75 футов), папа/папа |