Оборудование

Двухканальный монитор осаждения тонких пленок INFICON серии STM-2XM

Картинка STM-2XM

ПРОСТАЯ РАБОТА ВО МНОГИХ ПРИМЕНЕНИЯХ

STM-2XM


STM-2XM - это двухканальный монитор скорости роста покрытия и толщины, который сочетает в себе высокую точность, гибкость программирования и простоту эксплуатации по доступной цене.

STM-2XM имеет пять режимов работы, позволяющих управлять процессами от простых до сложных. Например, используйте простой режим для контроля одного датчика или используйте режим для контроля "совместного осаждения" от нескольких источников. Независимый режим позволяет STM-2XM функционировать как два отдельных устройства (монитора).

Два входа для датчиков позволяют использовать два одиночных или один двойной кварцевый датчик. Производится 10 измерений в секунду при разрешении 0,037 Å на 1 измерение (плотность 1).

STM-2XM имеет 8 программируемых цифровых входов, 8 программируемых цифровых выходов и 4 аналоговых выхода, обеспечивающие интеграцию более дорогих приборов.

Настраиваемые параметры включают: задержку срабатывания затвора, мониторинг времени, мощности и частоты дискретизации. Используйте все эти функции для получения наиболее точных показаний и максимального срока службы кристалла.

Управляйте и контролируйте STM-2XM через простой интерфейс на передней панели, либо с помощью прилагаемого программного обеспечения LabVIEW.


STM-2XM имеет высококонтрастный ЖК-дисплей и интуитивно понятную систему управления. ЖК-дисплей может отображать накопленную массу или толщину покрытия.

Особенности

  • Два канала измерения
  • 4 аналоговых выхода для скорости, отклонения скорости или толщины
  • 8 программируемых цифровых входов
  • 8 программируемых цифровых выходов
  • Высокая точность при 10 показаниях в секунду
  • Отображение массы или толщины
  • Возможности мониторинга совместного осаждения

Области применения 

  • Процессы с одинарным / двойным датчиком
  • Процессы совместного осажденния

Характеристики

Тип

STM-2XM

Артикул

STM-2XM-G2

Входы датчиков

2

Диапазон частот измерения

6.0 до 5.0 МГц (фиксированно)

Разрешение по частоте

±0.03 МГц при 6 МГц

Относительная частотная стабильность

±2 ppm

Разрешение / измерение толщины и скорости роста покрытия

± 0,037 Å при оснастке / плотности = 100/1, основная частота = 6 МГц

Интервал измерения

0.10 c

Хранение пленок в памяти

15

Режим отображения

Толщина/Масса

Цифровые входы

8

Цифровые выходы

8

Аналоговые выходы

4

Характеристика аналогового выхода

0 до +/-10 В, 10 мА

Характеристика реле

до 48 В (DC) • В (AC), 2A

Питание

120/240, 50/60 Гц, 2.5 ВА

 

Аксессуары

Наименование

Описание

Одиночный сенсор Easy Rate

Одиночный сенсор Easy Rate

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной сенсор Easy Rate

Двойной сенсор Easy Rate

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

ALD (АСО) Сенсор

ALD (АСО) Сенсор

Датчик распыления

Датчик распыления

Каталожный номер

Описание

783-014-008

Комплект для монтажа в стойку - для одного прибора STM-2XM 48,3 см (19 дюймов).

783-014-009

Комплект для монтажа в стойку - для двух инструментов STM-2XM 48,3 см (19 дюймов).

Комплекты осцилляторов

(Включая осциллятор и кабели)

783-500-109-10

Комплект "Осциллятор 3 м (10 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC длиной 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC длиной 3 м (10 футов)

783-500-109-25

Комплект "Осциллятор 7,6 м (25 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 7,6 м (25 футов)

783-500-109-50

Комплект "Осциллятор 15,2 м (50 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 15,2 м (50 футов)

783-500-109-75

Комплект "Осциллятор 22,8 м (75 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 22,8 м (75 футов)

Только осциллятор

(Кабели в комплект не входят)

783-500-013

OSC-100 только осциллятор (без кабелей)

Кабели

 

782-902-011

Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), папа/мама

782-902-012-10

Кабель BNC, 3 м (10 футов), папа/папа

782-902-012-25

Кабель BNC 7,6 м (25 футов), папа/папа

782-902-012-50

Кабель BNC длиной 15,2 м (50 футов), папа/папа

782-902-012-75

Кабель BNC длиной 22,8 м (75 футов), папа/папа

 

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время клиентов!
Введите символы с картинки*
WhatsApp