Успеть или "как получится"?

Оборудование

Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии XTC/3

Получить
Картинка XTC/3

Улучшенный контроль скорости для одного или нескольких слоев


Контроллер напыления тонких пленок XTC/3 обеспечивает высокоточный контроль скорости осаждения и толщины покрытия, возможность нанесения практически любого количества слоев, простоту установки и чрезвычайно высокую надежность для обеспечения высокой производительности.

Вне зависимости от ваших потребностей, будь это производство, исследование или разработка Вам подойдет контроллер INFICON XTC / 3.

Особенности

  • Доступны модели для нанесения однослойных и многослойных покрытий.
  • Запатентованная технология ModeLock снижает погрешности в измерении толщины пленки, вызванные скачкообразным изменением мод.
  • Поддерживает INFICON Crystal 12 ® , Crystal Six ® и автоматическое переключение кристаллов с двумя датчиками для максимальной производительности .
  • Многоуровневая модель XTC/3M поддерживает до 99 процессов, 999 слоев, 32 пленки, 2 датчика и два источника.
  • Однослойная модель XTC/3S поддерживает до 9 пленок, 2 датчика и два источника
  • Легко читаемые графические TFT LCD дисплеи
  • Пленкам и процессам можно присвоить уникальные имена для легкого поиска.
  • Доступно Ethernet-соединение
  • Автономное (компьютер не требуется) или дополнительное программное обеспечение Windows ® для работы с ПК
  • Замена Plug-and-play для контроллеров INFICON XTC/2 (ограничено функциями XTC/2 и набором команд)

Области применения

  • Высококачественные оптические покрытия

Хактеристики

Тип

XTC3/S

XTC3/M

Разрешение по частоте

±0.028 Гц на 6 MГц

±0.028 Гц на 6 MГц

Диапазон частот измерения

6.0 до 5.0 MГц (фиксированно)

6.0 до 5.0 MГц (фиксированно)

Интервал измерения

0.25 секунды

0.25 секунды

Толщина и разрешающая способность по скорость / Измерение (1)

±0.034 Å

±0.034 Å

Технология измерения

ModeLock

ModeLock

Количество процессов

1

99

Количество слоев

1

999

Количество прогамм (или пленок)

9

32

Количество входов датчиков

2

2

Поддержка датчиков CrystalSix / Crystal 12

Да

Да

Поддержка коммутатора XTAL 2

Да

Да

Количество выходов источника/td>

2

2

Компьютерные коммуникации

RS232 стандартно, Ethernet TCP/IP опционально

RS232 стандартно, Ethernet TCP/IP опционально

Макс. скорость передачи дагнных RS232

115.2 KBaud

115.2 KBaud

Автоматическое реле (кристалл)

Да

Да

Количество реле

12, Не назначается по событию

12, Назначается по событию

Количество программируемых функций реле

1

1

Функции на реле

1

1

Напряжение на реле

30 В (DC) или 30 В (AC) (среднеквадратичное значение) или 42 В в пике при 2,5 А

30 В (DC) или 30 В (AC) (среднеквадратичное значение) или 42 В в пике при 2,5 А

Количество входов

8 TTL, 24 В (DC) Макс

8 TTL, 24 В (DC) Макс

Количество программируемых функций ввода

1, Не назначается по событию

1, Назначается по событию

Количество выходов для записывающего устройства

1

1

Ручной контроллер питания / ручной контроллер

Да

Да

Вытяжной вентилятор

Нет

Нет

Режим тестирования

Да

Да

Задержка затвора

Да

Да

Вторичный инструмент

Да

Да

Размеры корпуса

пол стойки, высота 2U

пол стойки, высота 2U

Разрешение по скорости и толщине

0.1 Å/с от 0.0 до 99.9 Å/с,
1 Å/с от 100 до 999 Å/с,
разрешение толщины дисплея = 1 Å

0.1 Å/c от 0.0 до 99.9 Å/с,
1 Å/c от 100 до 999 Å/s,
разрешение толщины дисплея = 1 Å

Выбор пленки через вход

Да

Нет

Языки пользователя

Английский, Китайский

Английский, Китайский

Цепи управления

PID

PID

Программное обеспечение для работы с ПК

Да

Да

Регистрация данных

Да

Да

Функция качества и стабильности

Да

Да

Образец и удержание (RateWatcher™)

Да

Да

Выбор тигля

Да

Да

Вход обратной связи тигля

Да

Да

Выбор полярности управляющего напряжения

Да, +/- 2.5, 5, 10 Вольт; 15-бит разрешение

Да, +/- 2.5, 5, 10 Вольт; 15-бит разрешение

Код блокировки программы

Да

Да

Дисплей с графикой

Да

Да

Процессы, помеченные пользователем (буквенно-цифровой ввод в стиле мобильного телефона)

Нет

Нет

Маркированные пользователем пленки (буквенно-цифровой ввод в стиле мобильного телефона)

Нет

Нет

Контроль датчика переноса

Да

Да

Совместимость с XTC/2 RS232

Да (ограниченно)

Да (ограниченно)

 

Артикул

Артикул

Аксессуары

Название

Описание

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Одиночный датчик с загрузкой спереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Двойной датчик с загрузкой cпереди

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной датчик с охлаждаемым корпусом

Двойной сенсор Easy Rate

Двойной сенсор Easy Rate

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума

ALD (АСО) Сенсор

ALD (АСО) Сенсор

Датчик распыления

Датчик распыления

Датчик Crystal Six

Датчик Crystal Six

Одиночный сенсор Easy Rate

Одиночный сенсор Easy Rate

Датчик Crystal 12

Датчик Crystal 12

Поворотный датчик RSH-600

Поворотный датчик RSH-600

 

Каталожный номер

Описание

780-700-G1

Компьютерный коммуникационный модуль Ethernet

755-262-G1

Портативный контроллер мощности (для ручного контроля мощности)

780-702-G1

Комплект для монтажа в стойку для одного устройства - предоставляет все необходимые материалы для установки одного устройства XTC/3 в стандартную 19-дюймовую стойку.

780-702-G2

Комплект для монтажа в стойку для двух устройств - предоставляет все необходимые материалы для монтажа двух устройств XTC/3 бок о бок в стандартной 19-дюймовой стойке.

779-220-G1

Коммутатор CrystalTwo®, кабели BNC 15,2 см (6 дюймов)

779-220-G2

Коммутатор CrystalTwo®, кабели BNC 50,8 см (20 дюймов)

Комплект осцилляторов

(Включая осцилятор и кабели)

780-611-G15

XIU PKG с кабелем длиной 15 футов (4,6 м) - для использования с XTC/3

780-611-G30

XIU PKG с кабелем 30 футов (9,1 м) - для использования с XTC/3

780-611-G50

XIU PKG с кабелем 50 футов (15,2 м) - для использования с XTC/3

780-611-G100

XIU PKG с кабелем 100 футов (30,5 м) - для использования с XTC/3

780-612-G15

4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15 футов (4,6 м) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3

780-612-G30

4м XIU PKG с кабелем XIU 30 футов (9,1 м) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и кабель BNC (от XIU к коммутатору) 6 дюймов - Для использования с XTC/3

780-612-G50

4м XIU PKG с кабелем XIU 50 футов (15,2 м) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3

780-612-G100

4м XIU PKG с кабелем XIU 100 футов (30,5 м) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3

780-613-G15

4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15 футов (4,6 м) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3

780-613-G30

4м XIU PKG с кабелем XIU 30 футов (9,1 м) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3

780-613-G50

4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 50 футов (15,2 м) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3

780-613-G100

4м XIU PKG с кабелем XIU 100 футов (30,5 м) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3

Только осциллятор

(Кабели в комплект не входят)

780-600-G1

XIU (осциллятор) - Для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 15 до 183 см (от 6 до 72 дюймов) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3

780-600-G2

XIU (осциллятор) - для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 3 до 4 м (от 118 до 157 дюймов) - для использования с Cygnus 2 или IC6

Кабели

755-257-G6

Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), XIU для вакуумного ввода

600-1261-P15

Кабель 4,6 м (15 футов), контроллер Cgynus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

600-1261-P30

Кабель 9,1 м (30 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

600-1261-P50

Кабель длиной 15,2 м (50 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

600-1261-P100

Кабель 30,5 (100 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

WhatsApp