Автоматические зондовые станции SEMISHARE серии A

Зондовая станция серии A производства SEMISHARE — это полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для тестирования 6-, 8- и 12-дюймовых пластин. Диапазон рабочих температур для таких станций варьируется от -45 до +200°C (опционально доступен расширенный диапазон от -55°C/-60°C до +300°C) и поддерживает определение характеристик пластин с диапазоном измерения до 3 кВ (трехосный интерфейс) /10 кВ (коаксиальный интерфейс) по высокому напряжению и до 500 А по току.

Станция может быть укомплектована манипулятором типа «Бернулли» для бережной транспортировки сверхтонких пластин или пластин, обработанных по технологии «Тайко» (с кольцевым торцом). Оборудование отличается простотой управления при высоком уровне механической стабильности.

• Интеграция собственного модуля предварительного выравнивания позволяет осуществлять автоматическую загрузку и выгрузку пластин без повреждений, обеспечивая круглосуточное непрерывное тестирование.
• Максимальная скорость перемещения по осям XY достигает 250 мм/с.
• Автоматизирования система перемещения подложки с микронной точностью
• Оптическая система позиционирования с использованием новейших программных алгоритмов обработки изображений для обеспечения точного автоматического контакта зондов.
• Манипулятор может работать с различными типами пластин: сверхтонкие /деформированные /Тайко и т.п.
• Интегрированная шарнирная конструкция для работы с любыми измерительными приборами.
• Компактный и легкий дизайн, низкий уровень вибраций и шума (модель A8).
• Конструкция подвижной платформы держателя с низким центром тяжести для более стабильной работы.

• Трехосный держатель образца для измерений токов утечки на уровне пикоампер (пA).
• Поддержка манипулятора Бернулли для бережной работы с ультратонкими пластинами.
• Система автоматической замены пробных карт.
• Изолированное пространство в загрузчике с контролируемой чистотой (класс чистоты ISO 3-5), обеспечивающее защиту от частиц пыли, которые могут повредить микроструктуры.
• Система автоматического считывания идентификаторов с контейнеров (FOUP) и самих пластин с помощью радиочастотных меток (RFID) или штрих-кодов обеспечивает точное отслеживание материалов.
• Функция построения и отображения в реальном времени карты измеряемых параметров по всей пластине.
• Автоматический подвод зондов.
• Оптическое распознавание символов для считывания серийных номеров, нанесенных лазером на торец пластины. Резервная или основная система идентификации.
• Автоматический контроль меток от зондов: система автоматически проверяет размер, глубину и расположение меток, оставленных зондами на контактных площадках, что гарантирует качество контакта и предотвращает повреждение пластин.
• Просмотр журналов работы станции. ПО, позволяющее удаленно управлять станцией, мониторить ее статус и выполнять диагностику через сетевое соединение.
• Система удаленного управления.
• Редактор устройств (DUT) и рецептов (Recipe) для настройки тестов:
  •   DUT Editor: инструмент для настройки параметров тестируемого устройства — определение контактов, пределов измерений.
  •   Recipe Editor: программа для создания и управления технологическими рецептами — последовательностей операций тестирования для разных продуктов.