-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
- Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
- Лиофильная сушка
-
Оборудование для микроэлектроники
-
Оборудования для нанесения тонких пленок
-
Определение центра масс
- Ультразвуковые ванны
- Установки диффузионной сварки
- Установки Электронно-лучевой сварки
-
Циркуляционные термостаты
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
LINXON myRGA™
Простой, удобный и доступный анализатор утечки газа для работы с вакуумом и тестирования разработок.
LINXON myRGA™ - это эффективный масс-спектрометрический анализатор, который позволяет проводить качественный и количественный анализ газовых смесей, в том числе устанавливать наличие примесей в чистых газах.
Прибор прост в эксплуатации, отличается высокой чувствительностью, селективностью и воспроизводимостью анализов и имеет повышенное значение среднего времени наработки на отказ.
Уникальные параметры myRGA
Верхний предел диапазона определяемых масс может составлять 100 или 200 а.е.м. в зависимости от модели. myRGA может комплектоваться либо только стандартным детектором (цилиндр Фарадея), либо дополнительно оснащаться электронным умножителем для задач, требующих определения более низких концентраций газа.
Усовершенствованная конструкция ионного источника, используемого для сенсора прибора, включает в себя два филамента в комбинированном узле анода, катода и отражателя. Конструкция с двумя филаментами имеет дополнительную нить накала, которая позволяет масс-спектрометру работать без сбоев в течение долгого времени. Для пользователя есть возможность выбора типа филаментов: двойные из иридия, покрытого оксидом иттрия Y2O3 (для содержащих кислород смесей), либо двойные вольфрамовые (для работы с галогенами), при этом LINXON гарантирует, что во время рабочего цикла срок службы нитей не сокращается. Замена набора филаментов myRGA функционально эквивалента полной замене ионного источника для стандартных анализаторов газа, что значительно экономит средства покупателя.
Другой ключевой опцией датчика является возможность измерять полное давление в системе параллельно с работой масс-спектрометра. Такой контроль давления обеспечивает защиту филамента от избыточного давления.
Новая конструкция датчика обеспечивает дополнительное преимущество в виде заменяемого в полевых условиях электронного умножителя (ЭМ), если он имеется в комплектации масс-спектрометра. Вы можете быстро заменить ЭМ прямо на рабочем месте во время планового технического обслуживания. Новый электронный умножитель также был разработан, чтобы обеспечить наряду с более высокой чувствительностью цилиндра Фарадея (FC) увеличенный коэффициент усиления для продления срока службы прибора.
Преимущества myRGA
- Недорогой анализатор газа для обнаружения течей газов и мониторинга хода технологических процессов;
- Простое управление: быстрая начальная настройка благодаря интуитивно понятному программному обеспечению;
- Минимальные затраты на техническое обслуживание и простые, заменяемые в полевых условиях филаменты, ионный источник и электронный умножитель;
- Простые варианты интеграции, которые каждый может освоить с помощью http-интерфейса и пакета разработки LabVIEW.
Простота в использовании
С myRGA отпадает необходимость в установке программного обеспечения. Устройство управляется через веб-браузер встроенным веб-сервером, полностью автономным от вашей операционной системы. Доступ к myRGA возможен через ПК, планшет и смартфон, веб-сервер будет автоматически адаптироваться к размеру и разрешению экрана.
Если вы хотите использовать LabVIEW для работы с myRGA, то в наборе вы получите комплект разработки программного обеспечения LabVIEW. Чтобы адаптировать программное обеспечение, используйте представленные примеры драйверов LabVIEW.
Области использования
Вакуумное покрытие
Вне зависимости от того, какой тип нанесения покрытия с использованием вакуума вы реализуете (EB/PVD, IB/PVD, стандартный PVD), LINXON myRGA обеспечивает в отличие от других анализаторов газа полный мониторинг процессов вашей системы, будь то мониторинг рабочей камеры на предмет утечки воздуха либо газовых магистралей для обнаружения загрязнений.
Если вам необходимо узнать, почему в камере не происходит откачка до заявленного уровня вакуума, используйте встроенную функцию поиска утечек, которая быстро обнаружит протечку газа.
Термообработка и вакуумные печи
myRGA может использоваться для любых процессов термообработки в условиях пониженного давления. Если есть вероятность, что один из газов в системе будет взаимодействовать с обрабатываемым металлом, анализатор myRGA может отслеживать массу этого газа и отображать его наличие и относительное количество.
LINXON myRGA может быть использован для обнаружения течей в реальном времени или для ручной проверки течей в условиях базового давления, а также для контроля утечек во время отжига.
Характеристики моделей myRGA
LINXON – это новый недорогой бренд вакуумной техники, которая разрабатывается и производится компанией INFICON, являющийся одним из ведущих поставщиков инновационных технологических решений для вакуумной промышленности.
Вместе с качественным оборудованием пользователи LINXON получают поддержку от производителя (доступ к видеоурокам, широкому перечню ответов на часто задаваемые вопросы и прочее). Продукция LINXON идеально подходит для клиентов, которые предпочитают действовать независимо и самостоятельно.
Тип |
LIN100F |
LIN100M |
LIN200F |
LIN200M |
Длина трубки детектора |
14.3 см |
19.3 см |
14.3 см |
19.3 см |
Верхний предел определяемых масс |
100 а.е.м. |
100 а.е.м. |
200 а.е.м. |
200 а.е.м. |
Тип детектора |
FC (цилиндр Фарадея) |
EM (электронный умножитель) |
FC (цилиндр Фарадея) |
EM (электронный умножитель) |
Чувствительность (FC) |
3×10-4 А/Торр |
3×10-4 А/Торр |
3×10-4 А/Торр |
3×10-4 А/Торр |
Чувствительность (EM) |
- |
500 А/Торр |
- |
500 А/Торр |
Минимальное определяемое парциальное давление газа |
2.6×10-12 Торр |
1.5×10-14 Торр |
2.6×10-12 Торр |
1.5×10-14 Торр |
Максимальная рабочая температура датчика |
200 °C |
150 °C |
200 °C |
150 °C |
Доступные типы филаментов |
Двойные из иридия, покрытого оксидом иттрия Y2O3 / двойные вольфрамовые |
|||
Разрешение |
<1 а.е.м. |
|||
Температурный коэффициент |
<1% на °C |
|||
Максимальная скорость передачи данных в расчете на точку |
3 мс |
|||
Прорыв спектра при близких к нулю значениях потенциала |
<100 м.д. |
|||
Максимальное рабочее давление |
5×10-4 Торр |
|||
Максимальная температура прогрева |
300 °C |
|||
Потребляемая мощность |
20-30 В (постоянный ток) |
Фото
Вы можете запросить у инженеров ERSTEVAK фото квадрупольных масс-спектрометров в других проектах компании, различных моделей и модификаций - свяжитесь с нами.