- Водосорбционные скрубберы EBARA Airgard Cyclone XL
- Водосорбционные скрубберы EBARA серии Airgard Cyclone
- Водосорбционные скрубберы EBARA серии Airgard Vortex
Высокоэффективные влажные (водосорбционные) скрубберы серии Airgard. Серия скрубберов Airgard имеют подтвержденную временем высокую эффективность, непревзойденную надежность, и самые низкие эксплуатационные затраты за более чем 20-летнюю историю применения в полупроводниковой промышленности. Оборудование отвечает требованиям стандартов CE, S2, ATEX. Паровые скрубберы данной серии увеличивают период продуктивной эксплуатации основного оборудования за счет сокращения времени технического простоя скруббера практически до нуля.
Предлагаеи высокоэффективные системы нейтрализации газов, принцип работы которых основан на разложении путем высокотемпературного воздействия и влажного скруббирования.
Системы нейтрализации газов EBARA моделей G5 и GDC 250 применяются для утилизации побочных продуктов следующих процессов: PECVD (плазмохимическое осаждение), LPCVD и UHVCVD (химическое осаждение из газовой вазы в вакууме), травление, MOCVD (химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений), любых промышленных технологий, связанных с выделением перфторуглеродов (ПФУ).
Для подбора модели системы нейтрализации газов, получения подробной информации об оборудовании для очищения / утилизации опасных газов или получения коммерческого предложения, пожалуйста, свяжитесь c нашими инженерами.
-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
- Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
- Лиофильная сушка
-
Оборудование для микроэлектроники
-
Оборудования для нанесения тонких пленок
-
Определение центра масс
- Ультразвуковые ванны
- Установки диффузионной сварки
- Установки Электронно-лучевой сварки
-
Циркуляционные термостаты
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Онлайн-каталог «Вакуумные насосы и системы нейтрализации газов EBARA»
Вы можете заказать печатную версию каталога почтой или получить экземпляр в центральном офисе в Москве или - Скачать новый каталог 2019 года
Производство полупроводниковых приборов, солнечных батарей, LCD мониторов связано с образованием опасных твердых и газообразных отходов. В процессах производства выделяются смеси ядовитых, агрессивных, горючих или коррозийных газов. Все более и более ужесточающиеся экологические требования обязывают тщательно обрабатывать и утилизировать такие побочные продукты производства, прежде чем они попадут в окружающую среду.
ERSTEVAK Ltd. - эксклюзивный представитель EBARA в России и СНГ
Являемся эксклюзивным представителем EBARA Corp. в России и странах СНГ. Все сотрудники сервисной службы прошли обучение и официально аттестованы в техническом центре академии Ebara в Шотландии. Специалисты отдела продаж компании приняли участие в тренинге по продажам и ознакомились с продукцией EBARA в Европейском подразделении, в Германии.
Предлагаем комплексные решения
Предлагаем комплексные решения на базе оборудования EBARA для нейтрализации и обработки побочных газов непосредственно в месте их выделения для производителей микроэлектроники, фотовольтаики, дисплеев и исследовательских организаций. Большинство оборудования EBARA для утилизации и обработки газообразных отходов предназначено для компактного монтажа в непосредственной близости от оборудования, производящего эти побочные газы: напылительных установок, установок эпитаксиального роста, плазмохимического травления и др.
Таким образом сводятся к минимуму риски, которые возникали бы при транспортировке и хранении опасных газов. Модельный ряд оборудования для утилизации выбросов включает водособционные скрубберы, установки высокотемпературного разложения со ступенями влажного сруббирования, установки каталитического динамического окисления и термического окисления. Все технологические решения компании EBARA для утилизации вредных выбросов разработаны с учетом минимальной стоимости владения, очень высокой надежности и соответствия самым строгим мировым стандартам в области экологии и защиты окружающей среды.
Подберем решение для Вашего производства
Опыт компании EBARA как одного из ведущих поставщиков оборудования для нейтрализации выбросов в микроэлектронике и смежных отраслях промышленности, говорит о том, что не существует одного универсального и в то же время оптимального решения для любого производства. Ключ к правильному подбору оборудования для утилизации вредных выбросов лежит в четком понимании состава утилизируемых газов и производственных процессов, при которых они выделяются.
Зачастую даже при производстве схожих элементов, например солнечных батарей, но по разным технологиям, требуются различные комплектации оборудования для работы с газообразными выбросами для эффективной их утилизации и защиты окружающей среды и здоровья людей. В то же время в модельном ряду представлены установки, сочетающие в себе различные современные методы обработки опасных побочных продуктов и обладающие высокой эффективностью при работе с целым спектром наиболее применяемых в полупроводниковом производстве газов.