Установки высокотемпературной диссоциации со ступенями влажного скруббирования - Вакуумное оборудование и техника ERSTEVAK

Системы нейтрализации газов EBARA GDC 250

Системы нейтрализации газов EBARA GDC 250, принцип работы которых, основан на разложении путем высокотемпературной обработки с последующей “отмывкой” газа во встроенном водосорбционном скруббере, являются универсальным решением для полупроводниковой промышленности, производства солнечных батарей, технологий нанесения тонких пленок. Тепловое разложение в пламени дополняется влажным очищением продуктов горения в 2-ступенчатом водяном скруббере, чтобы очистить поток от твердых частиц, растворимых в воде и реагирующих с водой газов.

Системы нейтрализации газов EBARA серии G5

Системы нейтрализации газов EBARA G5, принцип работы которых, основан на разложении путем высокотемпературного воздействия и влажного скруббирования, широко применяются в полупроводниковой промышленности, солнечной энергетике и в технологиях нанесения тонких пленок. Основное назначение - это нейтрализация перфторуглеродов (ПФУ) и реакционных газов в процессах травления.

Каталог

Фильтр

По популярности По алфавиту По цене

Предлагаеи высокоэффективные системы нейтрализации газов, принцип работы которых основан на разложении путем высокотемпературного воздействия и влажного скруббирования.

Системы нейтрализации газов EBARA моделей G5 и GDC 250 применяются для утилизации побочных продуктов следующих процессов: PECVD (плазмохимическое осаждение), LPCVD и UHVCVD (химическое осаждение из газовой вазы в вакууме), травление, MOCVD (химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений), любых промышленных технологий, связанных с выделением перфторуглеродов (ПФУ).

Для подбора модели системы нейтрализации газов, получения подробной информации об оборудовании для очищения / утилизации опасных газов или получения коммерческого предложения, пожалуйста, свяжитесь c нашими инженерами.

Лучшие предложения

- СИРИУС А-250-300 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-250-300 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-150-200 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-150-200 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-400-600 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-250-300 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-400-600 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-400-600 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-150-200 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее