Каталог
-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
- Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
- Лиофильная сушка
-
Оборудование для микроэлектроники
-
Определение центра масс
- Ультразвуковые ванны
- Установки диффузионной сварки
-
Установки для производства микроэлектроники
- Установки Электронно-лучевой сварки
-
Циркуляционные термостаты
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Кластерные системы – конструкции, предназначенные для обработки материалов полупроводниковой и FPD-промышленности в условиях вакуумной среды. Установки предусматривают наличие полностью интегрированной транспортной системы и имеют универсальную блочную структуру, поддерживающую адаптацию к широкому кругу задач.
Оборудование обеспечивает выполнение технологических операций напыления, химического и атомно-слоевого осаждения, травления, отжига, термического испарения, охлаждения и плазменной очистки. Область применения установок включает технологии производства солнечных батарей, полупроводников, электронных элементов и плоских дисплеев (FPD).
- Лучшие предложения
