Каталог
-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
- Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
- Лиофильная сушка
-
Оборудование для микроэлектроники
-
Определение центра масс
- Ультразвуковые ванны
- Установки диффузионной сварки
-
Установки для производства микроэлектроники
- Установки Электронно-лучевой сварки
-
Циркуляционные термостаты
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Установка напыления с DC/RF магнетроном – вакуумный агрегат, предназначенный для нанесения тонких пленок и слоев металлов, диэлектриков и полупроводников методом магнетронного напыления. Область применения включает производство солнечных батарей, оптики, разработку нанотехнологий.
В качестве источников напыления применяются: импульсные и катодные источники (ВЧ, СЧ и постоянного тока). Оборудование поддерживает функцию совместного напыления. Равномерность нанесения составляет < 3%. Габаритные размеры используемых подложек – 300 мм. Управление процессом осуществляется в режиме реального времени для обеспечения высоких параметров качества и надежности наносимой пленки.
- Лучшие предложения
