Каталог
-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
- Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
- Лиофильная сушка
-
Оборудование для микроэлектроники
-
Определение центра масс
- Ультразвуковые ванны
- Установки диффузионной сварки
-
Установки для производства микроэлектроники
- Установки Электронно-лучевой сварки
-
Циркуляционные термостаты
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Установка PECVD химического осаждения из газовой фазы (стимулированное плазмой) – вакуумное оборудование, предназначенное для осаждения тонких пленок из рабочей газовой среды путем стимулирования плазмой. Параметры температуры нагрева подложки составляют до 800°С, габаритные размеры подложки варьируются в пределах от 50 до 200 мм.
Равномерность нанесенного слоя обеспечивается на уровне 3%. В качестве рабочих материалов используются SiN, SiOx, TEOS-SiO2, SiON, DLC, Графен. Установки поддерживают несколько газовых линий. Процесс обработки полностью автоматизирован, данные отображаются на сенсорном дисплее.
- Лучшие предложения
