Каталог
-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
- Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
- Лиофильная сушка
-
Оборудование для микроэлектроники
-
Определение центра масс
- Ультразвуковые ванны
- Установки диффузионной сварки
-
Установки для производства микроэлектроники
- Установки Электронно-лучевой сварки
-
Циркуляционные термостаты
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Встраиваемая линия напыления – комплекс оборудования, предназначенный для нанесения тонких пленок на поверхности образцов в условиях вакуумной среды. Установка обеспечивает напыление металлов (Mo, Al, Au, Cu, Ni, Fe) и оксидов (IGZO, ITO, SiO2, AZO). Подача подложек осуществляется вертикальным способом.
Габаритные размеры подложек – 470x370 кв.мм, материал исполнения – стекло. В процессе обработки достигается равномерность покрытия на уровне 5%. Установка предусматривает автоматическое выполнение и регулировку технологических процессов с отображением данных на сенсорном дисплее.
- Лучшие предложения
