Каталог
-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
- Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
- Лиофильная сушка
-
Оборудование для микроэлектроники
-
Оборудования для нанесения тонких пленок
-
Определение центра масс
- Ультразвуковые ванны
- Установки диффузионной сварки
- Установки Электронно-лучевой сварки
-
Циркуляционные термостаты
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Высоковакуумная (UHV) установка напыления – оборудование, предназначенное для нанесения ультратонких пленок металлов, сплавов, диэлектриков, полупроводников, в условиях высоковакуумной среды. Обработка осуществляется методами термовакуумного, магнетронного и электронно-лучевого напыления.
Предельный уровень вакуума, формируемого установкой, составляет <1,33 х 10-7 Па. Конструкция предусматривает наличие шлюзовой системы. Рабочий процесс осуществляется в автоматическом режиме с выводом данных о температуре, давлении и скорости осаждения на сенсорном дисплее.