Ионизационные вакуумные датчики INFICON с горячим катодом

Компания «Эрствак» занимается полным обеспечением работы вакуумных систем любой сложности. Одна из реализуемых нами задач - подбор и поставка измерительной аппаратуры для вакуумных установок. В нашем каталоге представлены товары бренда INFICON – одного из мировых лидеров по производству вакуумных датчиков предельной точности и высокого качества.

От атмосферного давления до сверхвысокого вакуума – возможности датчиков INFICON

Семейство вакуумных датчиков INFICON Hot Ion (ионизационные с горячим катодом) сочетают в одном корпусе продукта преимущества трех различных технологий измерения с диапазоном базового давления от 5*10(-10) до 1500 мбар (3,75 * 10(-10) до 1125 Торр). Объединение нескольких методов в одном приборе снижает сложность монтажа, настройки и внедрения в комплексы для создания разрежения, экономит средства и функциональное рабочее пространство.

Области применения устройств от INFICON:

• измерение давления в производстве полупроводников, передаточных и загрузочных камер;
• измерение и контроль общего разрежения – от низкого вакуума до сверхвысокого;
• PVD – физическое осаждение из паровой фазы при нанесении пленочных покрытий.

Преимущества линейки датчиков:

• опыт многих лет исследований в одном инструменте;
• экономия денег и места для оборудования;
• долгий эксплуатационный срок;
• не требует специального обслуживания;
• легкость установки.

Семейство включает в себя три товара – датчики BPG400 (технологии Байярд–Альперт и Пирани), BPG402 (Пирани и Байярд–Альперт с двойной нитью накала), BCG450 (Пирани, Байярд–Альперт, CDG (мембранный), ATM). Мембранная технология подразумевает прямое измерение давления с помощью диафрагмы. Особенность датчиков INFICON, работающих по типу Байярд–Альперт, – увеличение срока службы элементов благодаря покрытию иридиевых нитей оксидом иттрия. Согласно методу Пирани, наиболее часто применяемого в исследовании параметров вакуума, температура проводится через газовые молекулы, и снижение температуры катода обозначает данные по текущему давлению.

Теплоотдача от нити накала осуществляется за счет молекул газа, и изменение температуры показывает изменение давления.

Датчики могут измерять дифференциальное давление. Стабильность и точность данных гарантируется управляемой напряженностью и фиксированным положением нитей накала. Интеллектуальное управление обеспечивает контроль над подключением и отключением катодов. Приборы имеют стандартный логарифмический аналоговый выходной сигнал, дисплей, программное обеспечение, LED-индикатор состояния, сенсор датчика, функцию ATM SWITCH.

Для решения задач, которые требуют применения автономного измерения ионизационного типа, INFICON предлагает единую технологию, заключенную в продукте Bayard Alpert Hot Ion Gauge BAG402-S. Это долговечный и точный датчик типа Байярд–Альперт с возможностью использования одной или двух нитей накала. Возможна интеграция в прибор широкого перечня дополнительных опций.