Вакуумметр Байярда-Альперта с датчиком Пирани от Inficon

Компания Inficon соединяет в своих приборах сразу две технологии измерения данных давления и представляет вакуумметр Байярда-Альперта с датчиком Пирани. Компактный внешний вид и легкость монтажа делают продукт предпочтительным для большинства типов производств. Прибор имеет высокую износостойкость и способен измерять давление в рамках от 5*10(-10) мбар (3,8 * 10(-10) Торр) до атмосферного.

Использование метода Пирани позволяет защитить систему по Байярд-Альперту от быстрого сгорания катода и загрязнения, особенно при частой работе устройства в условиях высокого давления. Также совместное функционирование двух типов измерителей снижает участие оператора в регулировке рабочего цикла.

Среди заказчиков данного продукта – предприятия, занимающиеся напылением и выпуском полупроводников.