Вакуумные печи для опытно-промышленных производств

Вакуумные печи ERSTEVAK предназначены для проведения процессов термообработки – высокотемпературной пайки, отжигу и спеканию в условиях высокого вакуума (или среде инертного газа) и высоких температур.

Элементы, входящие в состав газовой печи

1. Вакуумная система.
2. Вакуумная камера печи.
3. Зона нагрева (тепловой блок).
4. Система управления.
5. Система водяного охлаждения.
6. Система подачи/отвода газа.
7. Система измерения температуры.
8. Подъёмный механизм колпака или загрузочного пода камеры.

Вакуумная система

Система состоит из:

• Форвакуумного и высокоовакумного насоса.
• Датчиков давления.
• Запорной вакуумной арматуры.
• Соединительной вакуумной арматуры.
• Гибких сильфонных трубопроводов.

Компания «ЭРСТВАК» использует сверхнадежные форвакуумные и турбомолекулярные насосы производства EBARA Corp. (Япония) и Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh (Германия).

В качестве датчиков давления используются собственные цифровые датчики ERSTEVAK серии:

• MTP.
• MTM.
• MTH.

Датчики внесены в реестр средств измерений РФ и при поставке предоставляются свидетельства о первичной поверке.

Вся вакуумная арматура производится на заводе King-Lai (Тайвань). Изготавливаются из нержавеющей стали AISI304 и 316L.

Зона нагрева (тепловой блок)

Тепловой блок состоит из:

• Несущего кожуха.
• Пакета тепловых экранов.
• Крепежных элементов.
• Нагревателя.

Для размещения садки предусмотрен столик на грузоподъемных регулируемых опорах.

Пакет тепловых экранов состоит из комбинации экранов из вольфрама, молибдена и жаропрочной нержавеющей стали в зависимости от максимальной температуры печи Нагреватель изготавливается из молибдена или вольфрама и расположен на внутренней поверхности теплового блока.

Для контроля и поддержания заданной температуры система нагрева оснащается комплектом термопар, сигнал от которых обрабатывается ПЛК контроллером.

Вакуумная камера

Камера состоит из:

• корпуса
• верхней и нижней торцевой крышки.

В зависимости от размера камера может иметь колпаковое конструктивное исполнение (осуществляется подъём колпака камеры вверх) или элеваторное исполнение (опускающаяся вниз нижняя торцевая крышка).

Все элементы камеры имеют водоохлаждаемую рубашку для эффективного отвода тепла от камеры. Камера изготавливается из нержавеющей стали AISI 304, внутренняя поверхность камеры полирована для достижения более чистого и высокого вакуума. Камера печи закреплена на раме с регулируемыми опорами.

Камера печи имеет фланец для подключения вакуумной системы, водоохлаждаемые токоподводы для подключения нагревателя, вакуумные вводы для термопар, штуцера для подключения системы напуска/сброса рабочего газа. Все высокотемпературные соединения имеют фторкаучуковые уплотнительные кольца или защиту от перегрева с водяным охлаждением, что гарантирует безопасность соединений, даже когда печь работает при максимальной температуре.

После изготовления камеры проводится исследование на герметичность с помощью масс-спектрометрического гелиевого течеискателя.

Система водяного охлаждения

Система охлаждения состоит из 6 независимых контуров охлаждения, в которых использованы 6 отдельных датчиков протока и температуры воды.

Система водяного охлаждения имеет распределительные коллекторы на линии подачи и слива воды. Каждый контур водяного охлаждения может быть перекрыт индивидуально.

Система подачи/отвода газа

Система рассчитана на подачу инертного газа в рабочую зону с последующим ее выводом из камеры.

Корпус печи оснащен:

• предохранительным клапаном.
• датчиком избыточного давления.
• трубопроводом подачи
• запорными (нормально открытые/закрытые) электромагнитными клапанами.

Система измерения температуры

Система измерения состоит из 3х термопар:

• Управляющая термопара.
• Резервная управляющая термопара (на случай выхода из строя основной термопара).
• Защитной термопары перегрева (сигнал по независимой линии).
• Печи с температурой выше 1800^о С оснащаются дополнительной пирометром для контроля высоких температур.