• Оплата
  • Доставка
  • Офисы и склады
  • Производители
  • Каталоги
  • info@erstvak.com
    показать
+7 (499) 703-06-36
показать
Заказать звонок
Вход Регистрация
Вакуумное оборудование и техника ERSTEVAK Вакуумное оборудование и техника ERSTEVAK
  • Меню
  • Каталог оборудования - 2020 -
    • Вакуумные системы и установки
    • Имитаторы космоса
    • Нестандартные вакуумные системы по Вашему техническому заданию
    • Системы вакуумной пайки ERSTEVAK
    • Системы центрального вакуума
    • Установки вакуумной инфузии
    • Установки дегазации
    • Системы вакуумного прессования
    • Высоковакуумные откачные системы
    • Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
    • Вакуумные откачные посты
    • Cистемы для получения высокого и сверхвысокого вакуума
    • ... Показать все
    • Вакуумные насосы
    • Пластинчато-роторные насосы
    • Водокольцевые насосы
    • Когтевые насосы
    • Мембранные насосы
    • Турбомолекулярные насосы
    • Спиральные насосы
    • Насосы Рутса
    • Диффузионные насосы
    • Винтовые насосы
    • Золотниковые насосы
    • Криогенные насосы
    • Магниторазрядные насосы
    • ... Показать все
    • Воздуходувки
    • Вихревые воздуходувки
    • Роторные воздуходувки
    • Турбовоздуходувки
    • Центробежные высоконапорные вентиляторы
    • Вакуумметры
    • Ионизационные вакуумные датчики INFICON с горячим катодом
    • Стрелочные вакуумметры
    • Вакуумметры Пирани
    • Вакуумметры с холодным катодом
    • Вакуумметры с горячим катодом
    • Микропроцессорные контроллеры
    • Программное обеспечение MultiTorrGraph™
    • ... Показать все
    • Вакуумная арматура
    • Высоковакуумная арматура, клапаны, комплектующие MDC Vacuum
    • Вакуумная арматура King Lai
    • Вакуумные затворы ERSTEVAK
    • Вакуумные затворы King Lai
    • Вакуумные клапаны ERSTEVAK
    • Вакуумные клапаны King Lai
    • Элементы вакуумных систем в наличии
    • ... Показать все
    • Течеискатели
    • Гелиевые течеискатели
    • Обнаружение утечек. Биполярные пластины для топливных элементов.
    • Пузырьковые течеискатели
    • Течеискатели Inficon
    • Течеискатели LINXON
    • Масс-спектрометры
    • Квадрупольные масс-спектрометры Extorr серии RGA
    • Квадрупольные масс-спектрометры Linxon серии myRGA
    • Компрессоры
    • Винтовые компрессоры
    • Бустерные станции
    • Когтевые компрессоры
    • Пластинчато-роторные компрессоры
    • Турбокомпрессоры
    • Испытательные камеры
    • Климатические камеры тепла-холода-влаги
    • Камеры тепла-холода-влаги специальной серии
    • Камеры тепла и холода глубокой заморозки
    • Камеры тепла-холода-влаги «Walk-In»
    • Камеры солевого тумана
    • Сушильные шкафы
    • Камеры термоудара
    • Безэховые камеры
    • Испытательные комплексы
    • Камеры дождя
    • Камеры светового старения
    • Термобарокамеры
    • ... Показать все
    • Вакуумные камеры
    • Элементы вакуумных систем
    • Элементы вакуумных систем в наличии
    • Высоковакуумная арматура King Lai
    • Высоковакуумные затворы ERSTEVAK
    • Автоматические системы управления
    • Вакуумные клапаны ERSTEVAK
    • Вакуумные клапаны King Lai
    • Вакуумные мешки
    • Вакуумные ресиверы
    • Вакуумные фильтры
    • Вакуумные шланги
    • Высоковакуумные затворы King Lai
    • Элементы вакуумных систем MDC Vacuum
    • ... Показать все
    • Вакуумные печи
    • Печи для термообработки металлов и сплавов
    • Печи для порошковой металлургии
    • Печи химико-термической обработки
    • Печи для металлургии
    • Печи для композитных материалов
    • Вспомогательное оборудование
    • Вакуумно-водородные печи ERSTEVAK
    • Вакуумные печи для опытно-промышленных производств
    • ... Показать все
    • Испытательные вибрационные системы
    • Вибростенды
    • Настольные вибростенды
    • Системы контроля и управления вибрацией
    • Скользящие столы для вибростендов
    • Криогенное оборудование
    • Гелиевые компрессоры
    • Криогенные машины
    • Лабораторные криостаты
    • Лиофильная сушка
    • Оборудование для микроэлектроники
    • Обработка поверхности пластика, армированного углеродным волокном или стекловолокном
    • Системы ультразвуковой очистки
    • Плазменные атмосферные системы
    • Системы автоматизированного оптического контроля
    • Системы обработки плазменным факелом
    • Устройства для нанесения покрытий методом центрифугирования
    • Чиллеры с воздушным охлаждением
    • Атмосферные плазменные системы для электронных устройств и частей
    • Продукция компании Ferrotec для полупроводниковой и электронной отраслей
    • Скрубберы и установки нейтрализации газообразных отходов
    • ... Показать все
    • Определение центра масс
    • Resonic-F
    • Resonic-G
    • Resonic-K
    • Resonic-S
    • Resonic-T
    • Измерительные комплексы
    • ... Показать все
    • Ультразвуковые ванны
    • Установки диффузионной сварки
    • Установки для производства микроэлектроники
    • Встраиваемая линия напыления
    • Высоковакуумная (UHV) установка напыления
    • Изготовление оборудования под заказ
    • Кластерные системы
    • Оборудование для производства OLED/OPV-дисплеев
    • Система для производства солнечных батарей (CIGS)
    • Установка LPCVD химического осаждения из газовой фазы
    • Установка PECVD химического осаждения из газовой фазы (стимулированное плазмой)
    • Установка атомно-слоевого осаждения (ALD)
    • Установка напыления с DC/RF магнетроном
    • Установка сухого травления (Dry Etch)
    • Установка термического испарения
    • Установка электронно-лучевого напыления
    • ... Показать все
    • Установки Электронно-лучевой сварки
    • Циркуляционные термостаты
    • Циркуляционные термостаты ERSTEVAK
    • Циркуляционные термостаты HUBER
    • Гексаподы - кинематические платформы
    • Гелиевые компрессоры
    • Криорефрижераторы
  • Наши проекты
  • Статьи
  • Услуги
  • О компании
    О компании Новости Вакансии
  • Контакты
+7 (499) 703-06-36
показать
Заказать звонок
0
  • Акции
  • Вакуумные системы и установки
    Имитаторы космоса Нестандартные вакуумные системы по Вашему техническому заданию Системы вакуумной пайки ERSTEVAK
    Системы центрального вакуума Вакуумные станции DVP Вакуумные станции ERSTEVAK
    Установки вакуумной инфузии
    Установки дегазации Вакуумные камеры E-CAM
    Системы вакуумного прессования Высоковакуумные откачные системы Установки молекулярно-лучевой эпитаксии Вакуумные откачные посты Cистемы для получения высокого и сверхвысокого вакуума ... Показать все
  • Вакуумные насосы
    Пластинчато-роторные насосы Маслозаполненные насосы Маслосмазываемые насосы Сухие пластинчато-роторные насосы Безмасляные насос-компрессоры
    Водокольцевые насосы Водокольцевые системы Моноблочные насосы Насосы с ременным и прямым приводом
    Когтевые насосы Когтевой компрессор DVP серии VA Когтевые насосы DVP серии PA
    Мембранные насосы Аспирация Лабораторные вакуумные системы Chemvac Лабораторные вакуумные системы на основе мембранных насосов Мембранные насосы в стандартном исполнении Мембранные насосы во взрывозащите Мембранные насосы устойчивые к агрессивным средам Поршневые насосы (насос-компрессор) ... Показать все
    Турбомолекулярные насосы Откачные системы ERSTEVAK MT-Turbo Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT с керамическими подшипниками Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT с магнитным подвесом Турбомолекулярные насосы KYKY
    Спиральные насосы
    Насосы Рутса Многоступенчатые насосы Рутса EBARA серии EV-A с постоянной скоростью откачки
    Диффузионные насосы
    Винтовые насосы Винтовые насосы EBARA серии EV-S для «чистых» производств Винтовые насосы серии EBARA серии ESA для откачки незагрязнённых сред Винтовые насосы серии EBARA серии EST для откачки химически активных продуктов Насосы ERSTEVAK серии EDP Насосы GEV серии Saturno Универсальные винтовые насосы EBARA серии PDV Энергоэффективные винтовые насосы EBARA серии ESR Энергоэффективные винтовые насосы серии EV-M для откачки крайне агрессивных сред Насосы Atlas Copco серии GHS VSD+ ... Показать все
    Золотниковые насосы Золотниковые насосы ERSTEVAK серии АВЗК
    Криогенные насосы Криогенные насосы GVT Криогенные насосы SHI Cryogenics
    Магниторазрядные насосы ... Показать все
  • Воздуходувки
    Вихревые воздуходувки Вихревые воздуходувки ERSTEVAK Вихревые воздуходувки FPZ
    Роторные воздуходувки Роторные воздуходувки ERSTEVAK Роторные воздуходувки ROBUSCHI
    Турбовоздуходувки Центробежные высоконапорные вентиляторы
  • Вакуумметры
    Ионизационные вакуумные датчики INFICON с горячим катодом Вакуумметр Байярда-Альперта с датчиком Пирани от Inficon Вакуумметр Пеннинга бренда Inficon Вакуумметр Пирани от Inficon Вакуумные датчики ITER Вакуумные ионнизационные датчики Inficon нового поколения Измерительный блок вакуумметра Пирани от Inficon Инверсно-магнетронный вакуумметр Inficon с датчиком Пирани Ионизационный вакуумметр Inficon с горячим катодом и датчиком Пирани высокого давления Контроллеры Inficon для вакуумметров Линейный датчик вакуума Мембранно-емкостный вакуумметр Inficon Porter CDG020D Мембранно-емкостный вакуумметр Inficon SKY CDG025D Мембранно-емкостный вакуумметр Inficon с датчиками Байярда-Альперта и Пирани Мембранно-емкостный вакуумметр Inficon с датчиком Пирани ... Показать все
    Стрелочные вакуумметры Вакуумметры Пирани Вакуумметры с холодным катодом Вакуумметры с горячим катодом Микропроцессорные контроллеры Программное обеспечение MultiTorrGraph™ ... Показать все
  • Вакуумная арматура
    Высоковакуумная арматура, клапаны, комплектующие MDC Vacuum Вакуумная арматура King Lai Вакуумные затворы ERSTEVAK Вакуумные затворы King Lai Вакуумные клапаны ERSTEVAK Вакуумные клапаны King Lai Элементы вакуумных систем в наличии ... Показать все
  • Течеискатели
    Гелиевые течеискатели Обнаружение утечек. Биполярные пластины для топливных элементов. Пузырьковые течеискатели Течеискатели Inficon Течеискатели LINXON
  • Масс-спектрометры
    Квадрупольные масс-спектрометры Extorr серии RGA Квадрупольные масс-спектрометры Linxon серии myRGA
  • Компрессоры
    Винтовые компрессоры Компрессоры винтовые ERSTEVAK серии ESC: виды, особенности использования
    Бустерные станции
    Когтевые компрессоры Когтевые компрессоры DVP серии VA
    Пластинчато-роторные компрессоры Безмасляные компрессоры ERSTEVAK PP Безмасляные насос-компрессоры ERSTEVAK PVP
    Турбокомпрессоры
  • Испытательные камеры
    Климатические камеры тепла-холода-влаги Камеры тепла-холода-влаги специальной серии Камеры тепла и холода глубокой заморозки Камеры тепла-холода-влаги «Walk-In» Камеры солевого тумана Сушильные шкафы Камеры термоудара Безэховые камеры
    Испытательные комплексы Комплекс для испытаний в широком температурном диапазоне Комплекс испытаний на воздействие изменяемого давления Комплекс испытаний с высоким давлением Комплекс испытательный для обнаружения посторонних частиц Комплекс испытательный для электротермотренировки Комплекс испытательный для электротермотренировки (долговечность) Комплекс испытательный для электротермотренировки (СВЧ) Пост для опрессовки электронных компонентов Стенд для термотренировки микросхем Стенд электротермотренировки для силовых модулей Температурная камера ... Показать все
    Камеры дождя Камеры светового старения Термобарокамеры ... Показать все
  • Вакуумные камеры
  • Элементы вакуумных систем
    Элементы вакуумных систем в наличии Высоковакуумная арматура King Lai Высоковакуумные затворы ERSTEVAK Автоматические системы управления Вакуумные клапаны ERSTEVAK Вакуумные клапаны King Lai Вакуумные мешки Вакуумные ресиверы
    Вакуумные фильтры Впускные вакуумные фильтры Сепараторы жидкости
    Вакуумные шланги Высоковакуумные затворы King Lai
    Элементы вакуумных систем MDC Vacuum Алюминиевые затворы MDC Vacuum Вакуумные клапаны и затворы MDC Vacuum Вакуумные ловушки, криосорбционные насосы, комплектующие MDC Vacuum Вакуумные окна и компоненты из стекла MDC Vacuum Вводы движения и манипуляторы MDC Vacuum Напыление тонких пленок MDC Vacuum Регулирующие затворы MDC Vacuum Средства измерения вакуума MDC Vacuum Стандартные вакуумные камеры MDC Vacuum Фланцы и фитинги MDC Vacuum Электрические и оптические вакуумные вводы MDC Vacuum ... Показать все
    ... Показать все
  • Вакуумные печи
    Печи для термообработки металлов и сплавов Колпаковые печи для отжига Печи азотирования/карбонитрации Печи высокотемпературной пайки Печи для закалки в воду Печи для отжига Печи для отпуска Печи закалки в среде инертного газа Печи закалки в среде масла Печи низкотемпературной пайки Печи ускоренной закалки и быстрой кристаллизации Печи цементации/карбонитрации с последующей закалкой ... Показать все
    Печи для порошковой металлургии Вакуумно-компрессионные печи спекания Изостатические прессы для лабораторного или опытно-промышленного применения Изостатические прессы для малых и средних объемов производства Изостатические прессы для небольших объемов производства Изостатические прессы для средних и больших объемов производства Индукционные печи спекания Конвейерные и толкательные печи спекания Конвейерные печи восстановления металлических порошков Печи каталитического удаления связующего Печи прокалки солей металлов и восстановления оксидов металлов Печи спекания изделий, полученных инжекционным формованием металла Печи спекания металлических сплавов Печи удаления связующего Трубчатые печи для восстановления металлических порошков ... Показать все
    Печи химико-термической обработки Конвейерные печи восстановления металлических порошков Печи азотирования/карбонитрации Печи цементации/карбонитрации с последующей закалкой
    Печи для металлургии Индукционные плавильные печи непрерывного действия Индукционные плавильные печи периодического действия Печи для выращивания монокристаллов и направленной кристаллизации Печи для гарнисажной плавки
    Печи для композитных материалов Вакуумно-компрессионные печи спекания Печи горячего прессования и диффузионной сварки
    Вспомогательное оборудование Изостатические прессы для лабораторного или опытно-промышленного применения Изостатические прессы для малых и средних объемов производства Изостатические прессы для небольших объемов производства Изостатические прессы для средних и больших объемов производства
    Вакуумно-водородные печи ERSTEVAK Вакуумные печи для опытно-промышленных производств ... Показать все
  • Испытательные вибрационные системы
    Вибростенды Настольные вибростенды Системы контроля и управления вибрацией Скользящие столы для вибростендов
  • Криогенное оборудование
    Гелиевые компрессоры Криогенные машины Лабораторные криостаты
  • Лиофильная сушка
  • Оборудование для микроэлектроники
    Обработка поверхности пластика, армированного углеродным волокном или стекловолокном Системы ультразвуковой очистки Плазменные атмосферные системы Системы автоматизированного оптического контроля Системы обработки плазменным факелом Устройства для нанесения покрытий методом центрифугирования Чиллеры с воздушным охлаждением Атмосферные плазменные системы для электронных устройств и частей
    Продукция компании Ferrotec для полупроводниковой и электронной отраслей Вакуумные уплотнения Ferrotec Детали из карбида кремния, полученного высокотемпературным методом CVD Кварцевая продукция Ferrotec Компоненты для электронно-лучевого испарения (EB) Кремниевые пластины Кремниевые элементы Ferrotec Продукция Ferrotec из керамики Сильфоны KSM Системы вакуумного напыления ... Показать все
    Скрубберы и установки нейтрализации газообразных отходов Водосорбционные скрубберы EBARA Airgard Установки высокотемпературной диссоциации со ступенями влажного скруббирования
    ... Показать все
  • Определение центра масс
    Resonic-F Resonic-G Resonic-K Resonic-S Resonic-T
    Измерительные комплексы Комплекс для измерения данных электронных компонентов Комплекс для измерения кварцевых резонаторов и генераторов Комплекс для измерения параметров аналоговых микросхем Комплекс для измерения параметров аппаратов с сверхвысокочастотным излучением Комплекс для измерения параметров микросхем Комплекс для измерения параметров устройств и различных микросхем Комплекс для исследования вторичного электропитания Комплекс измерения цифровых данных Комплекс измерительный для матричных и линейных фотоприемников Самостоятельный комплекс для контроля магазинов сопротивлений ... Показать все
    ... Показать все
  • Ультразвуковые ванны
  • Установки диффузионной сварки
  • Установки для производства микроэлектроники
    Встраиваемая линия напыления Высоковакуумная (UHV) установка напыления Изготовление оборудования под заказ Кластерные системы Оборудование для производства OLED/OPV-дисплеев Система для производства солнечных батарей (CIGS) Установка LPCVD химического осаждения из газовой фазы Установка PECVD химического осаждения из газовой фазы (стимулированное плазмой) Установка атомно-слоевого осаждения (ALD) Установка напыления с DC/RF магнетроном Установка сухого травления (Dry Etch) Установка термического испарения Установка электронно-лучевого напыления ... Показать все
  • Установки Электронно-лучевой сварки
  • Циркуляционные термостаты
    Циркуляционные термостаты ERSTEVAK Циркуляционные термостаты HUBER
  • Гексаподы - кинематические платформы
  • Гелиевые компрессоры
  • Криорефрижераторы
  • Еще
Главная
-
Каталог
-
Вакуумные системы и установки
Вакуумные системы и установкиВакуумные насосыВоздуходувкиВакуумметрыВакуумная арматураТечеискателиМасс-спектрометрыКомпрессорыИспытательные камерыВакуумные камерыЭлементы вакуумных системУльтразвуковые ванныОпределение центра массУстановки Электронно-лучевой сваркиУстановки диффузионной сваркиЛиофильная сушкаЦиркуляционные термостатыОборудование для микроэлектроникиВакуумные печиИспытательные вибрационные системыУстановки для производства микроэлектроникиКриогенное оборудованиеГексаподы - кинематические платформыГелиевые компрессорыКриорефрижераторы
-
Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
Имитаторы космосаУстановки вакуумной инфузииНестандартные вакуумные системы по Вашему техническому заданиюСистемы центрального вакуумаСистемы вакуумной пайки ERSTEVAKУстановки дегазацииСистемы вакуумного прессованияВысоковакуумные откачные системыВакуумные откачные постыCистемы для получения высокого и сверхвысокого вакуума

Установки молекулярно-лучевой эпитаксии

Каталог
  • Вакуумные системы и установки
    • Имитаторы космоса
    • Нестандартные вакуумные системы по Вашему техническому заданию
    • Системы вакуумной пайки ERSTEVAK
    • Системы центрального вакуума
    • Установки вакуумной инфузии
    • Установки дегазации
    • Системы вакуумного прессования
    • Высоковакуумные откачные системы
    • Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
    • Вакуумные откачные посты
    • Cистемы для получения высокого и сверхвысокого вакуума
  • Вакуумные насосы
    • Пластинчато-роторные насосы
    • Водокольцевые насосы
    • Когтевые насосы
    • Мембранные насосы
    • Турбомолекулярные насосы
    • Спиральные насосы
    • Насосы Рутса
    • Диффузионные насосы
    • Винтовые насосы
    • Золотниковые насосы
    • Криогенные насосы
    • Магниторазрядные насосы
  • Воздуходувки
    • Вихревые воздуходувки
    • Роторные воздуходувки
    • Турбовоздуходувки
    • Центробежные высоконапорные вентиляторы
  • Вакуумметры
    • Ионизационные вакуумные датчики INFICON с горячим катодом
    • Стрелочные вакуумметры
    • Вакуумметры Пирани
    • Вакуумметры с холодным катодом
    • Вакуумметры с горячим катодом
    • Микропроцессорные контроллеры
    • Программное обеспечение MultiTorrGraph™
  • Вакуумная арматура
    • Высоковакуумная арматура, клапаны, комплектующие MDC Vacuum
    • Вакуумная арматура King Lai
    • Вакуумные затворы ERSTEVAK
    • Вакуумные затворы King Lai
    • Вакуумные клапаны ERSTEVAK
    • Вакуумные клапаны King Lai
    • Элементы вакуумных систем в наличии
  • Течеискатели
    • Гелиевые течеискатели
    • Обнаружение утечек. Биполярные пластины для топливных элементов.
    • Пузырьковые течеискатели
    • Течеискатели Inficon
    • Течеискатели LINXON
  • Масс-спектрометры
    • Квадрупольные масс-спектрометры Extorr серии RGA
    • Квадрупольные масс-спектрометры Linxon серии myRGA
  • Компрессоры
    • Винтовые компрессоры
    • Бустерные станции
    • Когтевые компрессоры
    • Пластинчато-роторные компрессоры
    • Турбокомпрессоры
  • Испытательные камеры
    • Климатические камеры тепла-холода-влаги
    • Камеры тепла-холода-влаги специальной серии
    • Камеры тепла и холода глубокой заморозки
    • Камеры тепла-холода-влаги «Walk-In»
    • Камеры солевого тумана
    • Сушильные шкафы
    • Камеры термоудара
    • Безэховые камеры
    • Испытательные комплексы
    • Камеры дождя
    • Камеры светового старения
    • Термобарокамеры
  • Вакуумные камеры
  • Элементы вакуумных систем
    • Элементы вакуумных систем в наличии
    • Высоковакуумная арматура King Lai
    • Высоковакуумные затворы ERSTEVAK
    • Автоматические системы управления
    • Вакуумные клапаны ERSTEVAK
    • Вакуумные клапаны King Lai
    • Вакуумные мешки
    • Вакуумные ресиверы
    • Вакуумные фильтры
    • Вакуумные шланги
    • Высоковакуумные затворы King Lai
    • Элементы вакуумных систем MDC Vacuum
  • Вакуумные печи
    • Печи для термообработки металлов и сплавов
    • Печи для порошковой металлургии
    • Печи химико-термической обработки
    • Печи для металлургии
    • Печи для композитных материалов
    • Вспомогательное оборудование
    • Вакуумно-водородные печи ERSTEVAK
    • Вакуумные печи для опытно-промышленных производств
  • Испытательные вибрационные системы
    • Вибростенды
    • Настольные вибростенды
    • Системы контроля и управления вибрацией
    • Скользящие столы для вибростендов
  • Криогенное оборудование
    • Гелиевые компрессоры
    • Криогенные машины
    • Лабораторные криостаты
  • Лиофильная сушка
  • Оборудование для микроэлектроники
    • Обработка поверхности пластика, армированного углеродным волокном или стекловолокном
    • Системы ультразвуковой очистки
    • Плазменные атмосферные системы
    • Системы автоматизированного оптического контроля
    • Системы обработки плазменным факелом
    • Устройства для нанесения покрытий методом центрифугирования
    • Чиллеры с воздушным охлаждением
    • Атмосферные плазменные системы для электронных устройств и частей
    • Продукция компании Ferrotec для полупроводниковой и электронной отраслей
    • Скрубберы и установки нейтрализации газообразных отходов
  • Определение центра масс
    • Resonic-F
    • Resonic-G
    • Resonic-K
    • Resonic-S
    • Resonic-T
    • Измерительные комплексы
  • Ультразвуковые ванны
  • Установки диффузионной сварки
  • Установки для производства микроэлектроники
    • Встраиваемая линия напыления
    • Высоковакуумная (UHV) установка напыления
    • Изготовление оборудования под заказ
    • Кластерные системы
    • Оборудование для производства OLED/OPV-дисплеев
    • Система для производства солнечных батарей (CIGS)
    • Установка LPCVD химического осаждения из газовой фазы
    • Установка PECVD химического осаждения из газовой фазы (стимулированное плазмой)
    • Установка атомно-слоевого осаждения (ALD)
    • Установка напыления с DC/RF магнетроном
    • Установка сухого травления (Dry Etch)
    • Установка термического испарения
    • Установка электронно-лучевого напыления
  • Установки Электронно-лучевой сварки
  • Циркуляционные термостаты
    • Циркуляционные термостаты ERSTEVAK
    • Циркуляционные термостаты HUBER
  • Гексаподы - кинематические платформы
  • Гелиевые компрессоры
  • Криорефрижераторы
Фильтр
По популярности По алфавиту По цене

Установки ИЛО (PLD) / МЛЭ (MBE) ERSTEVAK производятся на производственных площадках в США и Германии, Тайваня уже более 30 лет. За это время компании удалось заслужить доверие со стороны научно-исследовательский институтов и производств по всему миру. Основным преимуществом установок ERSTEVAK является использование запатентованных решений по применению ИЛО (PLD) технологии.

Наши установки представляют собой полностью готовое решение для проведения процесса импульсно-лазерного осаждения материалов, а также МЛЭ технологии. Установки позволяют проводить напыление, как прецизионных однослойных покрытий, комбинированных так и многослойных.

Толщина и свойства напыляемого покрытия контролируются с помощью RHEED технологии (дифракция быстрых электронов на отражение).

Система совместима с другими методами осаждения тонких пленок в вакууме, такими как:

  1. Магнетронное распыление.
  2. Эффузионные ячейки Кнудсена.
  3. Ионное и атомное осаждение.

Система позволяет работать с образцами от 0,5" до 12" в диаметре.

В качестве опций доступны различные конфигурации эксимерных лазеров.

Содержание

  1. Видео
  2. Стандартные характеристики для установок ИЛО (PLD)
  3. Общие характеристики вакуумной камеры
  4. Особенности вакуумной системы
  5. Особенности системы напуска газа
  6. Особенности вращающегося нагревателя подложек
  7. Особенности оптического тракта
  8. Описание системы управления
  9. Упаковка установки
  10. Возможные опции

Возможные опции

  1. Двухпозиционная шлюзовая камера
  2. XHV модернизация
  3. Лазерная система Lambda Physik COMPex PRO 50
  4. Лазерная система Lambda Physik COMPex PRO 110
  5. Лазерная система Lambda Physik COMPex PRO 201
  6. Лазерная система Lambda Physik COMPex PRO 205
  7. Дополнительный регулятор расхода газа с пневматическим клапаном
  8. Система анализа STAIB High pressure TORR RHEED
  9. k-Space Lite модуль обработки
  10. Ионный источник Veeco
  11. Сверхвысоковакуумные магнетронные источники с блоками питания
  12. Стандартные эффузионные МЛЭ ячейки Кнудсена
  13. Высокочастотный атомный источник - атомарного азота ALD-N2
  14. Высокочастотный атомный источник - атомарного кислорода ALD-O2
  15. Оптический пирометр

Видео

Стандартные характеристики для установок ИЛО (PLD)

  1. Максимальный размер образов: от 0,5" до 12" в диаметре.
  2. Максимальная температура подложки: 950 °С (в среде кислорода) для Кремния, 850 °С - для других материалов, таких как сапфир и пр.
  3. Равномерность температуры по поверхности подложки +/- 8 °С.
  4. Рабочее давление: 5х10-7 Торр в стандартной комплектации. До 5х10-9 Торр при использовании шлюзовой камеры и системы прогрева вакуумных элементов.
  5. Количество мишеней: до 6 шт (возможно увеличение) .
  6. Расстояние от подложки до мишени: 50-100 мм - регулируемое.
  7. Номинальный угол падения лазерного луча на мишень: 60.
  8. Характеристики лазера: Возможен выбор различных источников включая FS b Nd:YAG. Стандартная рабочая длина волны лазера 248-nm (KrF).

Рисунок 1. Стандартный вид системы.

Рисунок 2. Пример напыленного комбинаторного покрытия, на базе SrTiO3, BaTiO3 и Nb. Толщина покрытий 200 нм.

Общие характеристики вакуумной камеры

  1. Размеры - по спецификации заказчика.
  2. Материал - нержавеющая сталь AISI 304 в базовой комплектации или 321, 316L для сверхответственных применений.
  3. Внутри камеры установлены специальные съемные экраны для защиты внутреннего пространства камеры от напыляемого материала.
  4. Верхний фланец камеры, имеет электропривод, для удобства обслуживания внутреннего пространства - уплотняется на Витон, опционально на Медь - при использовании шлюзовой камеры.
  5. Камера снабжена смотровыми окнами для отслеживания процессов напыления и перемещения образца. Также камера снабжена внутреннем освещением. Остальные фланцы камеры имеют стандарт Conflat (CF) и уплотняются на медь с серебряным покрытием. Все установленные источники напыления имеют защитные заслонки.
  6. Вакуумная камера установлена на стальной раме, которая имеет все необходимые приспособления для установки блоков питания, контроллеров и прочих аналатических приборов с возможностью масштабрования системы.

Рисунок 3. Внутреннее пространство камеры.

Особенности вакуумной системы

Система снабжена вакуумной электропневматической арматурой производства VAT (Швейцария). В качестве высоковакуумного насоса используется турбомолекулярные насос Oerlikon Leybold Vacuum (Германия), Pfeiffer Vacuum (Австрия) с производительностью до 3000 л/с. Форвакуумный сухой насос Hanbell(Тайвань), EBARA (Япония), производительностью 3000 м3/ч, ионные и магнито-разрядные насосы Gamma Vacuum (США). Также возможно оснащение систем вакуумными крионасосами ERSTEVAK (Ю. Корея).

Шиберный затвор VAT оснащается шаговым электродвигателем, что в купе с регулятором расхода газа и мембранно-емкостным вакуумметром MKS (США), позволяет регулировать давление в диапазоне 1-500 мТорр. Основными средствами измерения вакуума являются: конвекционный низковакуумный датчик и ионизационный вакуумметр с горячим катодом производства Oerlikon Leybold Vacuum (Германия).

Особенности системы напуска газа

Система снабжена цифровыми регуляторами расхода газа работающим в диапазоне 1-50 sccm. Bronkhorst (Нидерланды).

Особенности вращающегося нагревателя подложек

Нагреватель имеет запатентованную технологию для идеального использования в таких совместимых процессах с PLD как: магнетронное распыление, МЛЭ.

Возможность прогрева подложки до температуры 950 °С при использовании непрозрачных материалов и 850 С в прочих случаях. В качестве нагревателей ялвяются 4 коротковолновые лампы с рефлекотором имеющим золотое напыление. Лампы имеют водяное охлаждение. Источники имеют быстроразъемные соединения и могут быть легко заменены самостоятельно. Температура контрлируется с помощью термопара типа K, а регулировка осущестляется с помощью контроллера Eurotherm.

На нагревателе монтируется держатель подложек, который изготовлен из жаропрочного сплава Inconel. Данный модуль приводится во вращение с помощью вакуумного ввода на базе ферромагнитной жидкости. Максимальная частота вращения до 40 об/мин. Также данный модуль может перемещаться по вертикали, регулирая тем самым расстояние до мишени с напыляемыми материалами. Регулируемый диапазон 50-100 мм.

В комплекте поставки поставляется стандартный комлпект рамок под подложек: для различных типоразмеров образцов.

В комплекте с установками в базовой конфигурации поставляется 6-и позиционная карусель для мишеней с напыляемыми материалами. Максимальная скорость вращения 50 об/мин. Программное обеспечение позволяет проводить процесс напыления полностью в автоматическом режиме, как однослойных, так и комбинированных, а также многослойных покрытий. Все 6 посадочных мест под мишени снабжены заслонками, для защиты материалов в процессе напыления. Карусель имеет сверхвысоковакуумное уплотнение на базе ферромагнитной жидкости.

Рисунок 4. Подложкодержатель в комбинации с нагревателем.

Рисунок 5.Пример рамок для установки в держатель образцов.

Особенности оптического тракта

Оптический тракт построен на базе комплектующих необходимых для работы с лазерами на 248 нм длины волны (KrF). Оптика может быть настроена и скомплектована под другие длины волн, по запросу. В стандартный комплект включены зеркала на кинематических опорах с микрометрами. На вторичном зеркале установлен программируемый линейный ввод перемещения, для обеспечения равномерного расходования мишений в процессе напыления.

Все значимые части оптической системы внутри вакуумной камеры снабжены задвижками для защиты компонентов в процессе напыления.

Ввод лазерного излучения осуществляется через 2" окно с просветляющим покрытием.

Описание системы управления

Управление системы осуществляется с помощью персонального компьютера c предустановленным программным обеспечением на базе LabView.

Система позволяет контролировать и управлять следующими элементами системы:

  1. Скорость вращения подложки и дистанции до мишеней.
  2. Выбирать нужную мишень и выбирать скорость вращения мишеней.
  3. Позиционировать лазерный пучок и выбирать требуемую частоту импульсов, выбирать требуемую мощность.
  4. Управление регулятором расхода газов.
  5. Устанавливать требуемое парциальное давление.
  6. Управление вакуумной системой.
  7. PID регулирование температуры подложки.

Программы напыления могут быть легко написаны и сохранены в память компьютера.

В дополнение к стандартному программному обеспечению поставляется пакет расширения, для напыления комбинаторных покрытий, например, на базе BaTiO3или SrTiO3 и пр.

Комплектация установки

Оборудование проходит полный контроль и тестирование перед упаковкой и транспортировкой. Упаковка соответствует нормам и правилам перевозки любым видом транспорта.

Возможные опции

1. Двухпозиционная шлюзовая камера

Данная опция предназначена для улучшения показателей вакуумной системы, увеличения производительности системы в целом.

Состав системы:

  • Вакуумная шлюзовая камера с манипулятором.
  • Высоковакуумный турбомолекулярный насос или крионасос.
  • Вакуумные датчики.
  • Сухой форвакуумный насос.
  • Сверхвысоковакуумный шиберный затвор.

Импользование данной вакуумной системы позвляет гарантировано получать вакуум в системе лучше чем 5x10-8 Торр.

2. XHV модернизация

Данная опция предназначена для получения гарантированного вакуума в системе лучше, чем 2х10-9 Торр.

В комбинации с шлюзовой камерой и при использовании витоновых уплотнений с дифференциальной откачкой данная опция позволяет достигнуть лучших характеристик.

Также в дополнительную комплектацию данной опции поставляются нагреватели для прогрева вакуумной системы.

На 95% вакуумные соединения имеют соединения Conflat.

3. Лазерная система Lambda Physik COMPex PRO 50

ДЛЯ КОМПЛЕКТАЦИИ УСТАНОВКИ PLD ТРЕБУЕТСЯ ВЫБРАТЬ ПОДХОДЯЩИЙ ВАРИАНТ.

Lambda Physik COMPex PRO 50 - это эксимерная лазерная система, настроенная на работу с установками PLD. Электронная часть смонтирована в стойке.

Харатеристики:

  • Повторяемость: 50 Гц при 150 mJ/импульс (248-нм, KrF).
  • Максимальная мощность 7 Вт.
  • Параметры пучка - 14х5 мм с шириной импульса 15 нсек.

Система включает в себя систему подготовки газовой смеси Spectra-Gas. Два регулятора давления, установленные в системе, предназначены для подготовки газовой смеси и продувки системы гелием.

4. Лазерная система Lambda Physik COMPex PRO 110

ОПЦИЯ. ДЛЯ КОМПЛЕКТАЦИИ УСТАНОВКИ PLD ТРЕБУЕТСЯ ВЫБРАТЬ ПОДХОДЯЩИЙ ВАРИАНТ.

Lambda Physik COMPex PRO 110 - это эксимерная лазерная система, настроенная на работу с установками PLD. Электронная часть смонтирована в стойке.

Харатеристики:

  • Повторяемость: 100 Гц при 400 mJ/импульс (248-нм, KrF).
  • Максимальная мощность 30 Вт.
  • Параметры пучка - 14х5 мм с шириной импульса 15 нсек.

Система включает в себя систему подготовки газовой смеси Spectra-Gas. Два регулятора давления установленные в системе, предназначены для подготовки газовой смеси и продувки системы гелием.

5. Лазерная система Lambda Physik COMPex PRO 201

ОПЦИЯ. ДЛЯ КОМПЛЕКТАЦИИ УСТАНОВКИ PLD ТРЕБУЕТСЯ ВЫБРАТЬ ПОДХОДЯЩИЙ ВАРИАНТ.

Lambda Physik COMPex PRO 201 - это эксимерная лазерная система, настроенная на работу с установками PLD. Электронная часть смонтирована в стойке.

Харатеристики:

  • 1. Повторяемость: 10 Гц при 700 mJ/импульс (248-нм, KrF).
  • 2. Максимальная мощность 7 Вт.
  • 3. Параметры пучка - 14х5 мм с шириной импульса 15 нсек.

Система включает в себя систему подготовки газовой смеси Spectra-Gas. Два регулятора давления установленные в системе, предназначены для подготовки газовой смеси и продувки системы гелием.

6. Лазерная система Lambda Physik COMPex PRO 205

ОПЦИЯ. ДЛЯ КОМПЛЕКТАЦИИ УСТАНОВКИ PLD ТРЕБУЕТСЯ ВЫБРАТЬ ПОДХОДЯЩИЙ ВАРИАНТ.

Lambda Physik COMPex PRO 205 - это эксимерная лазерная система, настроенная на работу с установками PLD. Электронная часть смонтирована в стойке.

Харатеристики:

  • Повторяемость: 50 Гц при 700 mJ / импульс (248-нм, KrF).
  • Максимальная мощность 30 Вт.
  • Параметры пучка - 14х5 мм с шириной импульса 15 нсек.

Система включает в себя систему подготовки газовой смеси Spectra-Gas. Два регулятора давления установленные в системе, предназначены для подготовки газовой смеси и продувки системы гелием.

7. Дополнительный регулятор расхода газа с пневматическим клапаном

Предназначена для использования дополнительных газов в процессе напыления за исключением Кислорода (например, Азота).

8. Система анализа STAIB High pressure TORR RHEED

Данная опция предназначена для RHEED анализа поверхности подложки.

Состав системы:

  • Staib 35 кэВ - электронная пушка с регулировкой мощности в диапазоне 0,5-35 кэВ.
  • Ручной согласователь пучка RHEED системы, +/- 2 градуса и фокусировка пятна в диапазоне 100 мкм до 1 мм. Пучок фокусируется на центр подложки.
  • Турбомолекулярная станция.
  • Вакуумные датчики.
  • Сверхвысоковакуумный клапан.

Соединительный фланц 6". Система включает в себя специальные вставки для защиты от рентгеновского излучения.

9. k-Space Lite модуль обработки

K-Space 400 Lite 12 bit модуль, предназначен для анализа данных полученных с RHEED системы.

Включает в себя 12 битную CCD камеру, систему захвата изображения, видеомонитор, модуль увеличения изображения, ПО.

Система также включает в себя дополнительный ноутбук для работы ПО.

10. Ионный источник Veeco

Приобретается в случае необходимости наличия ионного источника в системе. Комплект, включает в себя источник питания, кабели, ПО и пр.

Энергия пучка 50-1200 эВ и ионный ток 100 мА.

Необходима подача Аргона через регулятор расхода газа - приобретается отдельно.

11. Сверхвысоковакуумные магнетронные источники с блоками питания

Необходимо, в случае использования в качестве дополнительного источника напыления к PLD/MBE системе. Магнетрон имеет диаметр от 2". Прогреваемая версия до 200 С. Для работы необходим RF или DC источник питания.

Рабочее давление 5х10-9 Торр. Диаметр мишени от 1/4".

12. Стандартные эффузионные МЛЭ ячейки Кнудсена

Приобретается в случае необходимости наличия МЛЭ источников в системе. Комплект, включает в себя источник питания, кабели, ПО и пр.

Встроенный PBN тигель. Стандартный объем тигля до 120 см3. Стандартная рабочая температура до 2200 С.

Источник может работать только при парциальном давлении кислорода не хуже 5х10-5 Торр.

13. Высокочастотный атомный источник - атомарного азота ALD-N2

Приобретается в случае необходимости наличия атомного источника в системе. Комплект, включает в себя источник питания, кабели, ПО, специальный регулятор расхода газа и пр.

Тигель из нитрида бора. Мощность источника питания 600 Вт. Настройка источника ручная.

14. Высокочастотный атомный источник - атомарного кислорода ALD-O2

Приобретается в случае необходимости наличия атомного источника в системе. Комплект, включает в себя источник питания, кабели, ПО, специальный регулятор расхода газа и пр.

Встроенный кварцевый тигель. Мощность источника питания 600 Вт. Настройка источника ручная.

15. Оптический пирометр

Пирометр предназначен для конроля температуры подложки бесконтактным методом. Данная опция не подходит для контроля температуры прозрачных подложек, таких как сапфировые.

Диапазон измеряемой температуры 300-2500 °С.

  • Лучшие предложения
    • СИРИУС B-250-300 до 1300 °C
      СИРИУС B-250-300 до 1300 °C
      По запросу
      Подробнее
    • СИРИУС А-150-200 до 1600 °C
      СИРИУС А-150-200 до 1600 °C
      По запросу
      Подробнее
    • СИРИУС А-250-300 до 1600 °C
      СИРИУС А-250-300 до 1600 °C
      По запросу
      Подробнее
    • СИРИУС B-150-200 до 1300 °C
      СИРИУС B-150-200 до 1300 °C
      По запросу
      Подробнее
    • СИРИУС А-400-600 до 1600 °C
      СИРИУС А-400-600 до 1600 °C
      По запросу
      Подробнее
    • СИРИУС B-400-600 до 1300 °C
      СИРИУС B-400-600 до 1300 °C
      По запросу
      Подробнее
    • СИРИУС А1-250-300 до 2200 °C
      СИРИУС А1-250-300 до 2200 °C
      По запросу
      Подробнее
    • СИРИУС А1-400-600 до 2200 °C
      СИРИУС А1-400-600 до 2200 °C
      По запросу
      Подробнее
    • СИРИУС А1-150-200 до 2200 °C
      СИРИУС А1-150-200 до 2200 °C
      По запросу
      Подробнее
Отправьте письмо
на
info@erstvak.com
показать
+7 (499) 703-06-36
показать
Заказать звонок
2021 © Группа компаний «ЭРСТВАК»
О компании
  • Новости
  • Вакансии
  • Офисы и склады
  • Условия оплаты
  • Доставка
  • Гарантия на оборудование
  • Производители и бренды
Instagram YOUTUBE