Диффузионные насосы - Вакуумное оборудование и техника ERSTEVAK

Диффузионные насосы

Каталог

Диффузионные насосы успешно используют в вакуумных системах с невысокими требованиями к чистоте получаемого вакуума, так как обратный отток паров масла из всех диффузионных насосов в откачиваемую систему составляет примерно 10^-2мбар.

Диффузионные насосы ERSTEVAK серии EVD

Насосы широко применяются в различных отраслях - в полупроводниковой, химической, авиационной и атомной промышленностях.

Достоинства серии:

Высокая скорость откачки.
Надёжность.
Долгий срок службы без техобслуживания.

Технические характеристики

Таблица 1. Диффузионные насосы ERSTEVAK EVD производительностью 550 - 12 000 л/с.

Модель		EVD-100	EVD-160	EVD-200	EVD-250	EVD-300	EVD-320	EVD-400	EVD-500
Предельное остаточное давление, Па		5x10^-5
Быстрота действия, л/с		550	1800	2800	3500	4600	5000	8500	12000
Максимальное форвакуумное давление, Па		40
Время нагрева, мин		≤30	≤35		≤40				≤45
Мощность нагрева, кВт		0,8-1	1,4-1,6	1,6-1,8	2,2-2,4	2,4-3	4-5	4-5	6-8
Напряжение питания, В		220					380
Объём масла KS-3, л		0,15	0,45	0,55	1-1,4	1-1,6	1,4-1,8	3-4	4
Потребление охлаждающей жидкости, л/час		180	250	300	350	400	420	500	600
Всасывающий патрубок, мм		100	160	200	250	300	320	400	500
Фланец на выходе, мм		32	50	65	65	80	80	100	100
Рекомендованная производительность форвакуумного насоса, л/с		4	8	15	15	30	30	70	150
Габаритные размеры, мм	Длина	320	420	530	473	695	725	885	1010
	Ширина	260	315	390	450	505	525	665	815
	Высота	365	505	575	650	726	830	925	1165
Вес, кг		14	31	39	48	89	100	175	185

Таблица 2. Диффузионные насосы ERSTEVAK EVD производительностью 17 500 - 130 000 л/с.

Модель		EVD-600	EVD-630	EVD-800	EVD-900	EVD-1000	EVD-1200	EVD-1400	EVD-1600
Предельное остаточное давление, Па		5x10^-5
Быстрота действия, л/с		17 500	20 000	30 000	40 000	50 000	60 000	90 000	130 000
Максимальное форвакуумное давление, Па		40
Время нагрева, мин		≤50	≤60	≤65	≤70	≤80		≤90
Мощность нагрева, кВт		8-9	9-11	13-13,5	14-16	17-20	29-30	38-40	48-50
Напряжение питания, В		380
Объём масла KS-3, л		6-7	7-8	12-14	14-15	15-16	22	38	50
Потребление охлаждающей жидкости, л/час		800	850	1200	1350	1500	2600	3400	4300
Всасывающий патрубок, мм		600	630	800	900	1000	1200	1400	1600
Фланец на выходе, мм		150	160	200	200	300	300	320	320
Рекомендованная производительность форвакуумного насоса, л/с		300	600	600	600	1200	1200	1200	2500
Габаритные размеры, мм	Длина	1145	1170	1520	1843	1990	2235	2556	2900
	Ширина	975	1010	1275	1283	1290	1750	1950	2100
	Высота	1444	1275	1870	1950	2220	2465	2950	3355
Вес, кг		375	420	670	830	990	1500	2150	2500

Онлайн-каталог «Путеводитель по высокому вакууму»

Вы можете заказать каталог почтой - или получить экземпляр в центральном офисе в Москве, либо скачать по ссылке.

Лучшие предложения

- СИРИУС А-150-200 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-250-300 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-150-200 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-250-300 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-400-600 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-400-600 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-250-300 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-400-600 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-150-200 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее