-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
-
Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
-
Оборудование для микроэлектроники
- Ультразвуковые ванны
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Компания HyunMin GVT, Inc. основана в 1995 году. Девизом компании является “Творчество, страсть и вызов”. Компания специализируется на производстве оборудования для полупроводниковой промышленности. Применение современных технологий в производстве оборудования и взаимодействие с национальной лабораторией Республики Корея позволяет компании занимать одно из лидирующих мест в мире по производству выоковакуумной криогенной техники.
ERSTEVAK Ltd. - официальный поставщик крионасосов GVT
Являемся эксклюзивным дилером продукции GVT на территории России и СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию GVT с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания.
Насосы серии HPM – это высокопроизводительные криогенные насосы, которые применяются в полупроводниковой промышленности и для научных исследований. Насосы серий HPM предлагаются в двух различных исполнениях – стандартном и с быстрой регенерацией («Q»), а также выполняются с фланцем по спецификации заказчика.
Насосы с опцией «Q» поставляются с датчиком Пирани, продувочным клапаном, клапаном предварительной откачки и предохранительным клапаном, двухступенчатыми нагревателями и датчиками температуры.
Технические характеристики криогенных насосов GVT моделей HPM20-30.
Таблица 1. Криогенные насосы GVT моделей HPM20-30 - технические характеристики.
| Характеристики |
|
HPM20 | HPM20Q | HPM20L | HPM20LQ |
HPM25 |
HPM25Q |
HPM25L |
HPM25LQ |
HPM30 |
HPM30Q |
HPM30L |
HPM30LQ |
||
| Вес, кг |
|
25 | 25 | 21 | 21 | 30 | 30 | 25 | 25 | 33 | 33 | 28 | 28 | ||
| Габаритные размеры, мм | Длина | 380 | 380 | 390 | 390 | 402 | 402 | 415 | 415 | 430 | 430 | 440 | 440 | ||
| Диаметр | 300 | 300 | 220 | 225 | 350 | 350 | 225 | 225 | 400 | 400 | 225 | 225 | |||
| Высота | 608 | 608 | 580 | 580 | 615 | 615 | 635 | 635 | 615 | 615 | 656 | 656 | |||
| Скорость откачки, л/с | Азот | 1.700 | 1.700 | 1.700 | 1.700 | 2,500 | 2,500 | 2,500 | 2,500 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | 4,000 | ||
| Водород | 3.500 | 3.500 | 3.500 | 3.500 | 7,000 | 7,000 | 7,000 | 7,000 | 10000 | 10000 | 10000 | 10000 | |||
| Аргон | 1.400 | 1.400 | 1.400 | 1.400 | 2.000 | 2.000 | 2.000 | 2.000 | 3,500 | 3,500 | 3,500 | 3,500 | |||
| Пары воды | 6.000 | 6.000 | 6.000 | 6.000 | 6.000 | 6.000 | 6.000 | 6.000 | 10,000 | 10,000 | 10,000 | 10,000 | |||
| Номинальное давление, Торр |
|
<10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | ||
| Максимальный газовый поток для аргона, Торр*л/с |
|
16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | 16 | ||
| Ёмкость, нл | Аргон | 2.500 | 2.50 | 1.500 | 1.500 | 2.500 | 2.500 | 2.500 | 2.500 | 4,500 | 4,500 | 3,000 | 3,000 | ||
| Водород | 30 | 30 | 20 | 20 | 30 | 30 | 30 | 30 | 34 | 34 | 34 | 34 | |||
| Параметр включения, Торр*л |
|
300 | 300 | 300 | 300 | 400 | 400 | 400 | 400 | 580 | 580 | 580 | 580 | ||
| Время охлаждения, мин |
|
55 | 55 | 45 | 45 | 60 | 60 | 60 | 60 | 75 | 75 | 75 | |||
| Стандартное время регенерации - включая 30 мин продувки для полной регенерации, мин | Полная регенерация |
|
110 |
|
110 | 110 | 110 | 130 | 130 | ||||||
| Быстрая регенерация |
|
60 |
|
60 |
|
60 |
|
60 |
|
80 |
|
80 | |||
Технические характеристики крионасосов GVT моделей HPM32-50
Таблица 2. Криогенные насосы GVT моделей HPM32-50 - технические характеристики.
| Характеристики | HPM32L | HPM32LQ | HPM40 | HPM40Q | HPM40L | HPM40LQ | HPM45 | HPM45Q | HPM50 | HPM50Q | ||||||
| Вес, кг | 30 | 30 | 52 | 52 | 42 | 42 | 65 | 65 | 72 | 72 | ||||||
| Габаритные размеры, мм | Длина | 424 | 424 | 520 | 520 | 520 | 520 | 575 | 575 | 756 | 756 | |||||
| Диаметр | 225 | 225 | 520 | 520 | 225 | 225 | 575 | 575 | 625 | 625 | ||||||
|
Высота |
642 | 642 | 625 | 625 | 733 | 733 | 670 | 670 | 670 | 670 | ||||||
| Скорость откачки, л/с | Азот | 4,000 | 4,000 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | 5,000 | 10000 | 10000 | 8,000 | 8,000 | |||||
| Водород | 13,000 | 13,000 | 15000 | 15000 | 15000 | 15000 | 25000 | 25000 | 18000 | 18000 | ||||||
| Аргон | 3,300 | 3,300 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 4,500 | 9,000 | 9,000 | 7,000 | 7,000 | ||||||
| Пары воды | 11,000 | 11,000 | 16,000 | 16,000 |
16,000 |
16,000 |
30,000 |
30,000 | 22,000 | 22,000 | ||||||
| Номинальное давление, Торр | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | <10-9 | ||||||
| Максимальный газовый поток для аргона, Торр*л/с | 16 | 16 | 13 | 13 | 13 | 13 | 18 | 18 | 18 | 18 | ||||||
| Ёмкость, нл | Аргон | 3,000 | 3,000 | 5,000 | 5,000 | 3,500 | 3,500 | 6,000 | 6,000 | 6,000 | 6,000 | |||||
| Водород | 38 | 38 | 44 | 44 | 42 | 42 | 75 | 75 | 75 | 75 | ||||||
| Параметр включения, Торр*л | 400 | 400 | 550 | 550 | 550 | 550 | 550 | 550 | 750 | 750 | ||||||
| Время охлаждения, мин | 65 | 65 | 110 | 110 | 80 | 80 | 95 | 95 | 90 | 90 | ||||||
| Стандартное время регенерации (включая 30 мин продувки для полной регенерации), мин | Полная регенерация | 130 | 160 | 160 | 130 | 130 | ||||||||||
| Быстрая регенерация | 45 | 70 | 70 | 80 | 80 | |||||||||||
Аксессуары
Таблица 3. Аксессуары для криогенных насосов GVT серии HPM - артикулы.
| Аксессуар | Артикул | Примечание |
| Гелиевый компрессор 2.1 | 631-1200/1300 | Для одного насоса |
| Гелиевый компрессор HC80Plus | 741-2100 (3P-220V) | Для систем с несколькими насосами |
| 741-3100 (3P-380V) | ||
| Контроллер Gen3 | 650-2050 | 5-ти модульный контроллер |
| 650-2030 | 3-х модульный контроллер | |
| 650-1210 | 1 модуль, исполнение «Half Rack» | |
| Сетевой контроллер Kryoboss | 645-3000 | |
| Кабель компрессора I/0, DB9, M/F, 15 м | 142-003050 | |
| Кабель компрессора I/0, Dual, 15 м | 142-004150 | Используется в случае подключения к Gen3 более 2-х компрессоров |
| Кабель подключения насоса к сети питания, 6 м | 131-000920 | Если необходима другая длина, свяжитесь с нами |
| Кабель подключения насоса к контроллеру, 6 м | 131-006420 | Если необходима другая длина, свяжитесь с нами |
| Распределительная коробка мощности нагревателя - переменный ток | 130-001200 | 220V |
| Кабель нагревателя - переменный ток | 142-003925 | Если необходима другая длина, свяжитесь с нами |
| Кабель подключения распределительной коробки, 3 м | 142-004010 | Если необходима другая длина, свяжитесь с нами |
| Шнур питания компрессора, 4,5 м | 121-0066XX/0115XX | Если необходима другая длина, свяжитесь с нами |
| Ручной сервисный терминал | 140-000700 | |
| Набор шлангов для гелия | Свяжитесь с нами | Для нескольких насосов, подсоединенных к одному компрессору, добавьте переходник |
| Переходник: один компрессор – несколько насосов | 565-003 | 1:2, ¾” для 2-х насосов |
| 565-004 |
1:4, ¾” для 4-х насосов |
|
| Переходник -подключение нескольких компрессоров | 141-005200 | 2:1, с 3/4’’ на 2х3/4’’ |
| 141-005400 | 2:1, с 1’’ на 2х3/4’’ | |
| 141-005600 | 3:1, с 3/4’’ на 3х3/4" | |
| 141-005800 | 3:1, с 1’’ на 3х3/4" |
Являемся эксклюзивным дилером продукции GVT на территории России и СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию GVT с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания.
- Лучшие предложения
