Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT с керамическими подшипниками - Вакуумное оборудование и техника ERSTEVAK

Каталог

Серия EBT представлена турбомолекулярными насосами с керамическими подшипниками с консистентной смазкой.

ERSTEVAK Ltd. - официальный представитель компании EBARA

Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.

Насос Ebara серии EBT

Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и могут быть использованы в условиях частого напуска атмосферы (шлюзовые камеры). В конструкции применена интегрированная молекулярная ступень.

Особенности и преимущества

Любая ориентация при установке.
Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
Непревзойдённая надежность.
Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
Низкое энергопотребление.
Опционально коррозионностойкое исполнение.
Водяное или воздушное охлаждение.
Компактные размеры.
Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Области применения

Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
Плазмохимическое травление.
Производство оптических элементов
Вакуумные печи.
Производство композитных материалов.
Научно-исследовательские установки.

Технические характеристики

Таблица 1. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT - технические характеристики.

Характеристики моделей	EBT70F	EBT220F	EBT240F	EBT350F	EBT450F
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с	75 (45)	220 (100)	240 (160)	330 (210)	450 (240)
Предельное остаточное давление, Па	10^-7	10^-6	5x10^-7	10^-6	10^-6
Максимальная степень сжатия по азоту	10⁸	10⁸	10⁸	10⁸	10⁸
Размер фланцев (вход/выход)	NW63/KF16	NW100/KF25	NW100/KF25	NW100/KF25	NW160/KF25
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин	25	80	80	80	80
Время запуска, мин	2-2,5	1-1,2	5,5-7,5	2-2,5	2-2,5
Время остановки, мин	20-25	2,5-3,5	45-50	5-6,5	5-6,5
Масса, кг	5	8	10,5	6	10

Характеристики моделей	EBT800F	EBT1100F	EBT1400F	EBT2400F
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с	820 (650)	1100 (720)	1400 (750)	2400 (1100)
Предельное остаточное давление, Па	10^-6	10^-6	10^-6	10^-6
Максимальная степень сжатия по азоту	10⁸	10⁸	10⁸	10⁸
Размер фланцев (вход/выход)	NW160/KF40	NW200/KF40	NW200/KF40	NW250/KF40
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин	250	250	250	500
Время запуска, мин	7-9	7-9	5,5-7	5-7
Время остановки, мин	27-32	27-32	15-18	15-18
Масса, кг	27	27	29	47

О компании EBRARA

Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.

Онлайн-каталог «Вакуумные насосы и системы нейтрализации газов EBARA»

Вы можете заказать печатную версию каталога почтой или получить экземпляр в центральном офисе в Москве или - Скачать новый каталог 2019 года

Лучшие предложения

- СИРИУС B-250-300 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-150-200 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-250-300 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-150-200 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-400-600 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-400-600 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-250-300 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-400-600 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-150-200 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее