-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
-
Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
-
Оборудование для микроэлектроники
- Ультразвуковые ванны
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Онлайн-каталог «Вакуумные насосы и системы нейтрализации газов EBARA»
Вы можете заказать печатную версию каталога почтой или получить экземпляр в центральном офисе в Москве или - Скачать новый каталог 2018 года
Серия EBT представлена турбомолекулярными насосами с керамическими подшипниками с консистентной смазкой.
ERSTEVAK Ltd. - официальный представитель компании EBARA
Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.
Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и могут быть использованы в условиях частого напуска атмосферы (шлюзовые камеры). В конструкции применена интегрированная молекулярная ступень.
Особенности и преимущества
- Любая ориентация при установке.
- Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
- Непревзойдённая надежность.
- Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
- Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
- Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
- Низкое энергопотребление.
- Опционально коррозионностойкое исполнение.
- Водяное или воздушное охлаждение.
- Компактные размеры.
- Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.
Области применения
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
- Плазмохимическое травление.
- Производство оптических элементов
- Вакуумные печи.
- Производство композитных материалов.
- Научно-исследовательские установки.
Технические характеристики
Таблица 1. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT - технические характеристики.
| Характеристики моделей | EBT70F | EBT220F | EBT240F | EBT350F | EBT450F |
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 75 (45) | 220 (100) | 240 (160) | 330 (210) | 450 (240) |
| Предельное остаточное давление, Па | 10-7 | 10-6 | 5x10-7 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 |
| Размер фланцев (вход/выход) | NW63/KF16 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW160/KF25 |
| Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин | 25 | 80 | 80 | 80 | 80 |
| Время запуска, мин | 2-2,5 | 1-1,2 | 5,5-7,5 | 2-2,5 | 2-2,5 |
| Время остановки, мин | 20-25 | 2,5-3,5 | 45-50 | 5-6,5 | 5-6,5 |
| Масса, кг | 5 | 8 | 10,5 | 6 | 10 |
| Характеристики моделей | EBT800F | EBT1100F | EBT1400F | EBT2400F | |||
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 820 (650) | 1100 (720) | 1400 (750) | 2400 (1100) | |||
| Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | |||
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | |||
| Размер фланцев (вход/выход) | NW160/KF40 | NW200/KF40 | NW200/KF40 | NW250/KF40 | |||
| Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин | 250 | 250 | 250 | 500 | |||
| Время запуска, мин | 7-9 | 7-9 |
5,5-7 |
5-7 |
|||
| Время остановки, мин | 27-32 | 27-32 | 15-18 |
15-18 |
|||
| Масса, кг | 27 | 27 |
29 |
47 | |||
О компании EBRARA
Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.
- Лучшие предложения
