Энергоэффективные винтовые насосы серии EV-M для откачки крайне агрессивных сред

Онлайн-каталог «Вакуумные насосы и системы нейтрализации газов EBARA»

Вы можете заказать печатную версию каталога почтой или получить экземпляр в центральном офисе в Москве или - Скачать новый каталог 2019 года

Серия сухих вакуумных насосов EV-M служит для откачки агрессивных сред NF₃, HF, Cl₂ SiH₂Cl₂ и других.

ERSTEVAK Ltd. - официальный представитель компании EBARA

В данных насосах применяется высокомоментный двигатель постоянного тока с инвертором, чтобы значительно снизить потребление электроэнергии по сравнению с предыдущими сериями. Имеют высокую скорость откачки.

Преимущества и особенности

1. Более высокая скорость откачки по сравнению с насосами винтового типа.
2. Интеллектуальная система управления.
3. Низкое потребление электроэнергии.
4. Сниженные габаритные размеры.
5. Датчик протечки воды.

Применение

• Травление металлов.
• CVD-технологии.

Технические характеристики