Каталог
-
Вакуумные системы и установки
-
Вакуумные насосы
-
Воздуходувки
-
Вакуумметры
-
Вакуумная арматура
-
Течеискатели
-
Масс-спектрометры
-
Компрессоры
-
Испытательные камеры
- Вакуумные камеры
-
Элементы вакуумных систем
-
Вакуумные печи
-
Испытательные вибрационные системы
-
Криогенное оборудование
-
Оборудование для микроэлектроники
- Ультразвуковые ванны
-
Циркуляционные термостаты
- Гексаподы - кинематические платформы
- Гелиевые компрессоры
- Криорефрижераторы
Онлайн-каталог «Вакуумные насосы и системы нейтрализации газов EBARA»
Вы можете заказать печатную версию каталога почтой или получить экземпляр в центральном офисе в Москве или - Скачать новый каталог 2018 года
Серия сухих вакуумных насосов EV-M служит для откачки агрессивных сред NF3, HF, Cl2 SiH2Cl2 и других.
ERSTEVAK Ltd. - официальный представитель компании EBARA
В данных насосах применяется высокомоментный двигатель постоянного тока с инвертором, чтобы значительно снизить потребление электроэнергии по сравнению с предыдущими сериями. Имеют высокую скорость откачки.
Преимущества и особенности
- Более высокая скорость откачки по сравнению с насосами винтового типа.
- Интеллектуальная система управления.
- Низкое потребление электроэнергии.
- Сниженные габаритные размеры.
- Датчик протечки воды.
Применение
- Травление металлов.
- CVD-технологии.
Технические характеристики
| Характеристики моделей | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | |
| Быстрота действия, м3/ч | 108 | 600 | 1200 | 1620 | 3000 | |
| Предельное остаточное давление, Па | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | |
| Размер фланцев (вход/выход) | NW40/NW40 | ISO100/NW40 | ISO100/NW40 | ISO100/NW40 | ISO160/NW40 | |
| Потребляемая мощность (максимальная/при предельном остаточном давл.), кВт | 2,2/1,2 | 3,8/1,8 | 4,4/1,9 | 4,7/2,5 | 5,7/2,1 | |
| Водяное охлаждение, л/мин | 3-8 | 3-8 | 3,5-8 | 4-8 | 5-8 | |
| Расход азота на продувку, л/мин | 15-18 | 15-18 | 15-18 | 15-18 | 16-20 | |
| Габаритные размеры, мм | Длина | 820 | 810 | 870 | 961 | |
| Ширина | 370 | 380 | 380 | 380 | ||
| Высота | 620 | 922 | 922 | 1000 | ||
| Масса, кг | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | |
- Лучшие предложения
