Энергоэффективные винтовые насосы серии EV-M для откачки крайне агрессивных сред

Каталог

Онлайн-каталог «Вакуумные насосы и системы нейтрализации газов EBARA»

Вы можете заказать печатную версию каталога почтой или получить экземпляр в центральном офисе в Москве или - Скачать новый каталог 2019 года

Серия сухих вакуумных насосов EV-M служит для откачки агрессивных сред NF₃, HF, Cl₂ SiH₂Cl₂ и других.

ERSTEVAK Ltd. - официальный представитель компании EBARA

Насос Ebara серии EV-M

В данных насосах применяется высокомоментный двигатель постоянного тока с инвертором, чтобы значительно снизить потребление электроэнергии по сравнению с предыдущими сериями. Имеют высокую скорость откачки.

Преимущества и особенности

Более высокая скорость откачки по сравнению с насосами винтового типа.
Интеллектуальная система управления.
Низкое потребление электроэнергии.
Сниженные габаритные размеры.
Датчик протечки воды.

Применение

Травление металлов.
CVD-технологии.

Технические характеристики

Характеристики моделей		EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N
Быстрота действия, м³/ч		108	600	1200	1620	3000
Предельное остаточное давление, Па		5	5	5	5	5
Размер фланцев (вход/выход)		NW40/NW40	ISO100/NW40	ISO100/NW40	ISO100/NW40	ISO160/NW40
Потребляемая мощность (максимальная/при предельном остаточном давл.), кВт		2,2/1,2	3,8/1,8	4,4/1,9	4,7/2,5	5,7/2,1
Водяное охлаждение, л/мин		3-8	3-8	3,5-8	4-8	5-8
Расход азота на продувку, л/мин		15-18	15-18	15-18	15-18	16-20
Габаритные размеры, мм	Длина	820	810	870	961
	Ширина	370	380	380	380
	Высота	620	922	922	1000
Масса, кг		170	320	360	400	500

Лучшие предложения

- СИРИУС B-250-300 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-150-200 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-250-300 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-150-200 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС B-400-600 до 1300 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А-400-600 до 1600 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-250-300 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-400-600 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее
- СИРИУС А1-150-200 до 2200 °C
  
  По запросу
  
  Подробнее