Top.Mail.Ru
Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8 купить по цене производителя
+7 (499) 703-06-36
Оборудование
Промышленное
Вакуумное
Испытательное
Термическое
Лабораторное
Оборудование

Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8

Каталог оборудования ERSTEVAK
В наличии
Запросить КП

Характеристики

  • Тип обработки
    Вакуумный
  • Тип управления
    Ручное и автоматическое
  • Химия
    фторная
  • Генератор
    13,56 МГц (макс. 300 Вт)
  • Тип установки
    Вертикальная камера вакуумной плазмы (Реактивное ионное травление)
  • Газовые линии
    Макс. 4 линии (200 см3)
  • Материал камеры
    алюминий
  • Радиус электрода
    9,2 дюйма
  • Измерение вакуума
    Датчик Баратрон / Атм. ~ 5 х 10-4 торр
  • Геометрия, автономный размер
    680x1030x1200

Информация о серии

Применение: для использования в НИОКР для реализации процессов сухого плазменного травления. В базовой конфигурации (без вакуумного загрузочного шлюза - фторная химия) системы успешно применяются для широкого спектра процессов, таких как травление диэлектриков (SiO2,Si3N4), полупроводников (Si), полимеров и металлов (Au, Pt, Ti, Ni).

Области применения:
  • Микроэлектроника
  • Нанотехнологии
  • Мелкосерийное производство
  • Медицина
  • Исследования
  • Обработка текстиля
  • Полупроводники
  • Обработка пластиков

Другие товары из серии VITA

Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 12
Тип: Вертикальная

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 600 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8
Тип: Вертикальная

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)

Условия оплаты и доставки

Оплата

Юридические лица

  • Безналичный расчет

Физические лица

  • Безналичный расчет
  • Наличный расчет в офисе продаж

Доставка

  • Самовывоз со склада ЭРСТВАК
  • Доставка транспортной компанией
Подробнее об условиях

Смотрите также

Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 12
Тип: Вертикальная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 600 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Вертикальная камера реактивно-ионного травления ERSTEVAK VITA 8
Тип: Вертикальная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Атмосферно-плазменная система ERSTEVAK WIDE-FLUX 150
Тип: Атмосферно-плазменная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Настольная плазменная система очистки поверхности ERSTEVAK CUTE
Тип: Настольная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 100 Вт)
Газовые линии: Макс. 3 линии (100 см3/мин)
Вакуумная плазменная система для обработки поверхности ERSTEVAK COWIN 40
Тип: Вакуумная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 300 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (500 см3)
Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 4
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 100 Вт)
Газовые линии: Макс. 3 линии (100 см3/мин)
Настольная плазменная система очистки поверхности ERSTEVAK COVANCE
Тип: Настольная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 200 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 8
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 300 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (500 см3)
Портативная атмосферно-плазменная система очистки ERSTEVAK PLASMA PIPPETTE
Тип: Портативная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Газовые линии: 4 мм трубка
Настольная плазменная система очистки поверхности ERSTEVAK COGRADE
Тип: Настольная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 300 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (500 см3)
Система плазменного и реактивно-ионного травления ERSTEVAK CIONE 6
Тип: Система
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 20~100 кГц (макс. 200 Вт)/ 13,56 МГц (макс. 300 Вт)
Газовые линии: Макс. 4 линии (200 см3)
Атмосферно-плазменная система ERSTEVAK WIDE-FLUX 400
Тип: Атмосферно-плазменная
Производитель: ERSTEVAK Ltd.

Тип управления: Ручное и автоматическое
Генератор: 13,56 МГц (макс. 600 Вт)

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp