В стандартных вакуумметрах Пирани PSG500, PSG502-S,
PSG510-S и PSG512-S компании INFICON используется
наиболее совершенная цифровая технология датчика
Пирани из предлагаемых на рынке. Прочная ячейка
датчика из нержавеющей стали и компактная конструкция
делают этот вакуумметр пригодным для использования
в системах производства полупроводников и стандартных
приложениях, например в форвакуумных линиях
Преимуществ
Легкая настройка уровней атмосферного давления
и высокого вакуума нажатием кнопки
■ Надёжная компактная конструкция
■ Алюминиевый корпус
■ Установка в любом положении
■ Измерительная ячейка полностью из нержавеющей
стали
■ Выходной логарифмический сигнал для облегчения
интеграции
■ Модель с резьбовым соединением допускает
избыточное давление 10 бар (абс.)
■ Возможно исполнение, допускающее прогрев до 250 °C
■ Возможно исполнение с катодом из никеля для
приложений с агрессивной технологической средой
■ Керамический вакуумный ввод для приложений
с очень агрессивной технологической средой (PSG510
и PSG512
■ Исполнение с функцией задания уставок по запросу
■ Соответствует положениям директивы (RoHS),
ограничивающей содержание вредных веществ
Диапазон измерения, Торр: 5*10(-3)… 1000
Повторяемость, %: 2
Точность:
10(-3) - 100 мбар - 15%
5*10(-4) - 10(-3) мбар - 50%
100 - 1000 мбар - 50%
Время отклика, мс: 80
Установочные точки - 2
Допустимая температура
- Эксплуатация (окружающая среда), °C +5 … +60
- Хранение, °C -20 … +65
Прогрев (фланец), °C ≤110
Напряжение питания, В/А, пост. ток +14 … +30
Потребляемая мощность: до 1 Вт
Масса, кг: 0,08
Степень защиты IP 40