Успеть или "как получится"?

Оборудование
Производители
Вакуумные печи
Вакуумные печи
Вакуумная печь – это промышленная термоустановка, которая позволяет проводить обработку различных материалов (преимущественно металлов и их сплавов) в условиях повышенной температуры и низкого давления

Оборудование для нанесения тонких пленок

Получить
Фильтры

Установки для производства микроэлектроники – вакуумное оборудование, обеспечивающее высокоточное нанесение тонкопленочных покрытий на образцы методами напыления и осаждения с использованием мишеней из различных металлов в рамках выполнения технологических задач для лабораторий, промышленных предприятий и наукоемких производств. В категорию оборудования входят установки:

  • Термического испарения;
  • Электронно-лучевого напыления;
  • Сухого травления (Dry Etch);
  • Напыления с DC/RF магнетроном;
  • Атомно-слоевого осаждения (ALD);
  • Высоковакуумные агрегаты (UHV);
  • CVD и PVD кластеры.

Агрегаты также обеспечивают выполнение процессов химического осаждения, отжига, плазменной очистки и охлаждения образцов. Оборудование включает как автономные установки узконаправленного действия, так и кластерные системы с универсальной блочной структурой, обеспечивающие реализацию широко спектра задач. Установки задействованы в технологических циклах производства электронных компонентов, полупроводников, оптических изделий, плоских дисплеев, солнечных батарей, при обработке деталей из металлов и сплавов.

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp