Оборудование
Производители
Вакуумные печи
Вакуумные печи
Вакуумная печь – это промышленная термоустановка, которая позволяет проводить обработку различных материалов (преимущественно металлов и их сплавов) в условиях повышенной температуры и низкого давления

Вакуумные манипуляторы

Получить

Компания ООО «ЭРСТВАК» готова предложить к поставке следующую продукцию:

  • Вводы вращательного движения
  • Вводы линейного перемещения
  • Системы перемещения образца
  • Манипуляторы для перемещения образца Y, XY, XYZ и XYZT
  • Вакуумные пинцеты
  • Заслонки на смотровые окна
  • Системы нагрева образца, включая блоки питания систем нагрева
  • Системы управления (контроллеры, шаговые двигатели)
  • Устройства для точной регулировки положения фланцев
  • Системы точного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта

Вводы вращательного движения

Производства вакуумных вводов вращательного движения позволяет передавать вращение в вакуумную систему с помощью жесткого магнитного уплотнения. Без сильфонов, жидкостей или динамических уплотнений. Обеспечивает надежную и герметичную работу в сверхвысоком вакууме.

Особенности:

  • Надежная конструкция с магнитным уплотнением
  • Корпус ввода сделан для работ в высоковакуумных системах
  • Ввод может использоваться в магниточувствительных средах за счет магнитного экранирования
  • Отсутствие скользящих уплотнений
  • Рабочая температура до 250ºC
  • Высокое отношение крутящего момента к размеру манипулятора
  • Полые валы позволяют размещать концентрические приводы друг на друга
Вводы вращательного движения
Вводы вращательного движения

Вводы линейного перемещения

Мы предлагаем вводы линейного перемещения как с сильфонным уплотнением, так и с магнитной связью для решения широкого спектра задач как производственных, так и лабораторных. Мы можем предложить различные варианты вводов линейного перемещения: моторизированные; с пневматическим приводом; нестандартные валы; широкий выбор энкодеров; высокоскоростные вводы, использующие шарико-винтовую передачу для достижения скорости до 100 м/с.

Особенности:

  • Конфигурации с сильфонным и магнитным уплотнениями
  • Возможность создания ввода конкретно под задачу
  • Широкий диапазон рабочих давлений
Вводы линейного перемещения
Вводы линейного перемещения

Системы перемещения образца

Системы для перемещения образцов позволяют надежно переносить образцы в сверхвысоком вакууме. Системы включают в себя подъемный и двухосевой PowerProbe, предназначенные для переноса специальных стандартных держателей образцов с использованием различных методов приведения в действие.

Особенности:

  • Надежная передача образцов
  • Прочное магнитное уплотнение
  • Высокая жесткость при радиальном перемещении
  • Рабочая температура до 250 °C
Системы перемещения образца
Системы перемещения образца
Системы перемещения образца

Манипуляторы для перемещения образца Y, XY, XYZ и XYZT

Мы предлагаем проверенный на практике ассортимент точных манипуляторов, которые могут использоваться отдельно или в сочетании с механизмами линейного сдвига и поворотными приводами для создания сложных манипуляторов с шестью осями независимого движения.

Особенности:

  • Доступно множество вариантов для удовлетворения требований к перемещению по осям X, Y и Z.
  • Гарантированный минимальный расчетный срок службы сильфона 10 000 рабочих циклов
  • Монтаж в любой положении
  • Многие устройства могут быть переоборудованы под уже имеющиеся установки в зависимости от необходимости
Манипуляторы для перемещения образца
Манипуляторы для перемещения образца
Манипуляторы для перемещения образца
Манипуляторы для перемещения образца

Вакуумные пинцеты

Вакуумные пинцеты представляет собой модульную концепцию для взаимодействия с образцом в вакуумной среде. Магнитное уплотнение устраняет необходимость в длинных сварных сильфонных элементах, обычно используемых в традиционных конструкциях.

Это снижает риск утечек, особенно в таких областях применения, как MBE, где твердые частицы или осаждение между витками сильфона могут сократить срок службы или привести к немедленному отказу.

У нас есть ряд вакуумных пинцетов, специально разработанных для распространенных систем Омикрон.

Особенности:

  • Различные версии исполнения манипулятора с наклоном +/-22°
  • Нагрев до 250°C без необходимости демонтажа внешнего магнита.
  • Большой выбор держателей образцов.
Вакуумные пинцеты
Вакуумные пинцеты
Вакуумные пинцеты
Вакуумные

Заслонки на смотровые окна

Наш ассортимент заслонок на смотровые окна основан на серии MagiDrive с магнитным уплотнением. Включает в себя различные опции: широкий выбор фланцев подключения, а также различные значения крутящего момента.

Особенности:

  • Использование поворотных приводов с магнитным уплотнением
  • Широкий диапазон размеров фланцев и значений крутящего момента
  • Рабочая температура до 250°C
Заслонки на смотровые окна
Заслонки на смотровые окна
Заслонки на смотровые окна
Заслонки на смотровые окна

Системы нагрева образца, включая блоки питания систем нагрева

Отличное решение для нагрева образцов с использованием проверенной передовой технологии нагрева. Система состоит из нагревательных элементов, обработанных методом CVD, упакованных в корпуса из огнеупорного металла.

В дополнение к комплексным решениям по нагреву образцов, мы также предлагаем ряд отдельных нагревательных модулей, которые могут быть включены в уже рабочие системы нагрева.

Непосредственно горячая зона, удерживающая элемент, изготовлена из тугоплавких металлов и не включает никаких других материалов, которые могут ухудшить характеристики системы при высокой температуре. Поэтому эти модули особенно хорошо подходят для применения в сверхвысоком вакууме.

Особенности:

  • Высокая точность нагрева, а также поддержание заданного значения при температуре до 1200 °С
  • Возможность работы при более низких температурах, чем у обычных металлических нагревателей
  • Горячая зона сделана из тугоплавкого металла, что в свою очередь дает огромную производительность при высоких температурах
Системы нагрева образца
Системы нагрева образца
Системы нагрева образца

Устройства для точной регулировки положения фланцев

Устройства для точной регулировки положения фланца позволяют регулировать расстояние и угловое соотношение между двумя фланцами, где неподвижный фланец поддерживает три равноудаленных резьбовых вала, а параллельно подвижный фланец имеет регулируемые плавающие крепления. Типичное применение - окончательное выравнивание кронштейнов для переноса образцов.

Особенности:

  • Монтаж в любом положении
  • Осевая регулировка в пределах +/- 5 мм
  • Угловое смещение +/- 3°
  • Сильфонное уплотнение обеспечивает сохранение сверхвысокого вакуума
  • Рабочая температура до 250 °С
Устройства для точной регулировки положения фланцев

Системы точного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта.

Система высокоточного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта используется для сверхточного перемещения образца по осям, движущимся независимо, друг относительно друга. Точность позиционирование в таких системах достигает нескольких микрометров. Системы бывают различного конструктивного исполнения, все зависит от задачи и рабочей среды.

Системы точного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта
Системы точного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта
Системы точного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта

Поворотные оси

На основе технологии пьезопривода мы предлагаем поворотные оси и платформы. Их можно легко комбинировать друг с другом для создания более сложных систем. Поворотные оси обеспечивают непрерывное и механически неограниченное вращение. Они отличаются силой блокировки, рабочей скоростью и внешними размерами, а также доступными опциями, когда речь идет о встроенных датчиках положения и совместимости с вакуумом.

Поворотные оси
Поворотные оси
Поворотные оси

Манипуляторы линейного позиционирования

Портфель продукции нашей компании включает в себя широкую линейку манипуляторов линейного позиционирования. Данные манипуляторы идеально подойдут под задачи, где важна точность линейного позиционирования, т. к. точность перемещения достигает нескольких микрометров. Манипуляторы могут быть выполнены в различных вариантах по степеням свободы, все зависит от поставленной задачи.

Манипуляторы линейного позиционирования
Манипуляторы линейного позиционирования

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp