Производитель: INFICON
Производитель: INFICON
Производитель: INFICON
Описание
Линейка высокоточных емкостных (диафрагменных) датчиков INFICON SKY CDG025D разработана для стабильной работы в суровых производственных условиях.
Передовая цифровая электроника улучшает характеристики измерительного прибора и предлагает простые функции управления, такие как функция обнуления одной кнопкой и настройка уставок. Устойчивый к коррозии керамический датчик обеспечивает превосходную стабильность около нуля с длительным сроком службы в несколько миллионов циклов, включая прорыв атмосферы.
Уникальная защита предохраняет датчик от технологического загрязнения. Прочная механическая конструкция и цифровая электроника обеспечивают совместимость с требованиями EMC, долговременную стабильность и температурную компенсацию.
Особенности
-
Рабочий диапазон – 4 порядка. Варианты исполнения от 1000 Торр до 0.1 Торр
-
Быстрая стабильность после включения
-
Быстрое восстановление после прорыва атмосферы
-
Коррозионная стойкость - керамический датчик
-
Превосходная долговременная стабильность сигнала
-
Температурная компенсация
-
Защита датчика от загрязнения
-
Установка нуля нажатием одной кнопки
-
Широкий диапазон источников питания
Применение
-
Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение
-
Промышленное вакуумное оборудование
-
Общее высокоточное измерение давления
|
Модель/Параметры |
SKY CDG025D 1000 Торр /1100 мбар |
SKY CDG025D 500 … 10 Торр |
SKY CDG025D 1 Торр |
SKY CDG025D 0.25 Торр |
SKY CDG025D 0.1 Торр |
|
Точность |
% от показаний 0.2 |
% от показаний 0.2 |
% от показаний 0.2 |
% от показаний 0.25 |
% от показаний 0.5 |
|
Температурный эффект на нуле, % F.S./°С |
0.005 |
0.005 |
0.015 |
0.02 |
0.02 |
|
Температурный эффект в диапазоне, % F.S./°С |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.03 |
0.03 |
|
Разрешение, % F.S. |
0.003 |
||||
|
Давление, макс., кПа (абс.) |
400 |
260 |
260 |
130 |
130 |
|
Время отклика, мс |
30 |
30 |
30 |
130 |
130 |
|
Нижняя граница чтения, % F.S. |
0.01 |
||||
|
Нижняя рекомендуемая граница считывания, % F.S. |
0.05 |
||||
|
Нижнее рекомендуемое контрольное давление, % F.S. |
0.5 |
||||
|
Рабочая температура (окр. среды), °C |
+5 … +50 |
||||
|
Макс. температура прогрева, °C |
≤110 |
||||
|
Температура хранения, °C |
-40 … +65 |
||||
|
Потребляемое напряжение, В |
+14 ... +30 постоянного тока |
||||
|
Потребляемая мощность, Вт |
≤1 |
||||
|
Выходной аналоговый сигнал, В |
0 … +10 |
||||
|
Степень защиты |
IP30 |
||||
|
Стандарты (соответствие CE) |
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, RoHS |
||||
|
Стандарты (сертификация ETL) |
EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 |
||||
|
Электрическое подключение |
D-sub, 15-контакт, папа |
||||
|
Количество уставок |
2 (SP1, SP2) |
||||
|
Релейные контакты, В/А |
30/≤0.5 постоянного тока |
||||
|
Гистерезис, % F.S. |
1 |
||||
|
Материал, контактирующий с вакуумом |
Керамика (Al2O3), Vacon 70, нержавеющая сталь (AISI 316L), AgCuTi тугоплавкий припой, стеклоприпой |
||||
|
Внутренний объем, см3 (дюйм3) |
≤4.0 |
||||
|
Масса, г |
285 … 342 |
||||